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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】特開2016-162818(P2016-162818A)
(43)【公開日】2016年9月5日
(54)【発明の名称】搬送室
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20160808BHJP
B65G 49/07 20060101ALI20160808BHJP
F24F 7/06 20060101ALI20160808BHJP
F24F 13/28 20060101ALI20160808BHJP
F24F 7/00 20060101ALI20160808BHJP
B01D 53/04 20060101ALI20160808BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 A
B65G49/07 C
F24F7/06 C
F24F13/28
F24F7/00 A
B01D53/04
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
【全頁数】19
(21)【出願番号】特願2015-38388(P2015-38388)
(22)【出願日】2015年2月27日
(71)【出願人】
【識別番号】000002059
【氏名又は名称】シンフォニアテクノロジー株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100137486
【弁理士】
【氏名又は名称】大西 雅直
(72)【発明者】
【氏名】河合 俊宏
(72)【発明者】
【氏名】重田 貴司
(72)【発明者】
【氏名】小宮 宗一
(72)【発明者】
【氏名】谷山 育志
【テーマコード（参考）】
3L058
4D012
5F131
【Ｆターム（参考）】
3L058BE02
3L058BF08
3L058BG03
4D012BA01
4D012CA10
4D012CG01
4D012CH01
5F131AA02
5F131BB04
5F131CA12
5F131CA17
5F131CA32
5F131CA45
5F131DA32
5F131DA33
5F131DA36
5F131DA42
5F131DB02
5F131DB52
5F131DB72
5F131DB76
5F131GA14
5F131JA08
5F131JA12
5F131JA13
5F131JA14
5F131JA16
5F131JA20
5F131JA25
5F131JA27
5F131JA28
5F131JA32
5F131JA34
5F131JA35
5F131KA06
5F131KA22
5F131KA24
5F131KA25
5F131KA72
5F131KB44
(57)【要約】 （修正有）
【課題】内部の雰囲気に影響を与えることなくケミカルフィルタの交換を行うことができ、ケミカルフィルタ交換に伴うウエハの搬送作業の停止時間を短縮、あるいは無くすことのできる搬送室を提供する。【解決手段】内部に設けられる搬送ロボット２を用いて処理装置側との間でウエハの受け渡しを行う。ガスを循環させるために内部に形成された循環路ＣＬ１と、循環路ＣＬ１の途中に設けられたケミカルフィルタユニット７と、ケミカルフィルタユニット７の循環路ＣＬ１からの切り離しと接続とを切り替える切離手段８（８１、８２、８３）とを備える。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
内部に設けられる搬送ロボットを用いて処理装置側との間で被搬送物の受け渡しを行うための搬送室であって、
ガスを循環させるために内部に形成された循環路と、
当該循環路の途中に設けられたガス処理装置と、
当該ガス処理装置の前記循環路からの切り離しと接続とを切り替える接離手段と、を備えることを特徴とする搬送室。
ガスを循環させるために内部に形成された循環路と、
当該循環路の途中に設けられたガス処理装置と、
当該ガス処理装置の前記循環路からの切り離しと接続とを切り替える接離手段と、を備えることを特徴とする搬送室。
【請求項2】
前記接離手段によって前記ガス処理装置を前記循環路より切り離した際に、前記ガス処理装置を通過せずにガスが循環する短縮循環路が形成されることを特徴とする請求項１記載の搬送室。
【請求項3】
前記接離手段が、前記ガス処理装置にガスを流入させるガス流入口と、ガス処理装置よりガスを吐出させるガス吐出口とをそれぞれ開閉する開閉蓋により構成されていることを特徴とする請求項１又は２記載の搬送室。
【請求項4】
前記搬送ロボットが内部に設けられる搬送室本体と、前記ガス処理装置を収容するガス処理ボックスとを備え、当該ガス処理ボックスを前記搬送室本体に対して接続及び分離可能に構成し、接続した場合にこれらガス処理ボックスと搬送室本体との間で前記循環路が形成されるように構成していることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の搬送室。
【請求項5】
前記接離手段によって前記ガス処理装置を前記循環路より切り離した際に、当該ガス処理装置を収容するガス処理ボックス内の雰囲気を置換するガスパージ手段を備えることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の搬送室。
【請求項6】
前記ガス処理装置がケミカルフィルタであって、前記ガス処理ボックス内に供給するガスに水分を含ませる水分供給手段と、ガス処理ボックス内の湿度に応じて前記水分供給手段の制御を行う制御手段と、を備えることを特徴とする請求項５記載の搬送室。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、外気に晒すことなくクリーンな状態で被搬送物の搬送を行うことのできる搬送室に関するものである。
【背景技術】
【0002】
従来、半導体分野においては、ウエハに種々の処理工程が施されることにより半導体デバイスの製造が行われてきている。
【0003】
半導体デバイス製造工程では、パーティクルレス・ケミカル成分レスによるウエハの搬送環境が求められており、ＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）と呼ばれる密閉式の収容容器と、処理装置との間でウエハの受け渡しを行う一般にＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）と称される搬送室が用いられている（下記特許文献１参照）。搬送室では、通常、上部に設置されたＦＦＵ（Fun Filter Unit）にてクリーンルーム内のフレッシュな外気を吸込み、内部をダウンフローさせて床面より外部に排出する事で、一定のクリーンな雰囲気を安定的に得ることができる。
【0004】
さらに近年、半導体デバイス構造の微細化が進むにつれて、水分、酸素、ケミカル成分などより受ける影響がより問題視されるようになってきており、これらに対しては、搬送室内部を不活性ガスであるＮ２（窒素）ガスにより置換して、Ｎ２雰囲気下においてウエハの搬送を行うことが提案されている。その場合、Ｎ２ガスの消費量を少なくしてランニングコストの抑制を図るためには、フレッシュなＮ２ガスの供給量を少なくしながら内部での清浄を保つ必要性から、フィルタを通過させつつＮ２ガスを循環させることが考えられる。
【0005】
さらに、循環するＮ２ガス内よりケミカル成分を効率的に除去するためにケミカルフィルタを設けることも考えられる。搬送室内には、処理装置によってプロセス処理されたウエハによってケミカル成分が持ち込まれる場合があることから、ガス処理装置としてのケミカルフィルタを用いてこうしたケミカル成分を効率的に除去し、一層清浄な雰囲気に保つことが可能となる。
【0006】
一方、上記と同様の技術は、下記特許文献２に記載されるような細胞培養関連分野でも用いられている。この場合における搬送室は、滅菌処理等により内部を清浄に維持されるとともに、内部に設けられた搬送ロボットを用いて、シャーレ等の培養容器を隣接する処理装置としての培養装置との間で受け渡しを行うように構成されている。このような細胞培養関連分野における搬送室においても、内部のガスをフィルタを介して循環させることで清浄な雰囲気を保たせるとともに、ケミカルフィルタによりケミカル成分を除去してより清浄な雰囲気を得ることが考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0007】
【特許文献1】特開２０１２−４９３８２号公報
【特許文献2】特許第４５５０１０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
上述のように搬送室内部でガスを循環させる場合には、処理装置側より持ち込まれたケミカル成分を外部に排出することがほとんど見込めなくなることから、ケミカルフィルタによる除去をより効率的に行うことが必要となってくる。
【0009】
そこで、ケミカル成分の除去効率が落ちないように、適切な時期にケミカルフィルタを交換することがより重要になる。
【0010】
しかしながら、ケミカルフィルタを交換する場合には搬送室全体を開放することが必要になるため、搬送室内部での被搬送物の搬送作業を停止することが必要となる。また、ケミカルフィルタの交換によって空気等の外部ガスが入り込んだ搬送室内の雰囲気を置換するため、搬送作業を再開するまでの停止時間が長くなる上に、ガスの消費量が増えてコストが増加することになる。また、ケミカルフィルタの交換に際して搬送室内にパーティクル等が入り込むおそれもあり、その場合には、再び搬送室の内部を清浄にするための時間も要することになる。
【0011】
また、細胞培養関連分野にて用いられる搬送室では、ガスによる滅菌を行った後にそのガスの無害化を行うガス処理装置としての無害化装置が設けられていることがあり、こうした無害化装置の交換においても同様の問題が生ずるおそれがある。
【0012】
本発明は、このような課題を有効に解決することを目的としており、具体的には、内部の雰囲気に影響を与えることなくガス処理装置の交換を行うことができ、ガス処理装置の交換に伴う被搬送物の搬送作業の停止時間を短縮、あるいは無くすことのできる搬送室を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0013】
本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。
【0014】
すなわち、本発明の搬送室は、内部に設けられる搬送ロボットを用いて処理装置側との間で被搬送物の受け渡しを行うための搬送室であって、ガスを循環させるために内部に形成された循環路と、当該循環路の途中に設けられたガス処理装置と、当該ガス処理装置の前記循環路からの切り離しと接続とを切り替える接離手段と、を備えることを特徴とする。
【0015】
このように構成すると、接離手段によってガス処理装置を循環路より切り離すことで内部の雰囲気に影響を及ぼすことなくガス処理装置の交換を行うことができ、搬送室内を清浄な状態を保つことが可能となる。また、ガス処理装置の交換時に搬送室内全体を外気に晒す必要がなくなるため、ガス処理装置を循環路に再接続させた後に雰囲気を調整するための時間を無くす、あるいは短縮することができる。従って、ガス処理装置の交換に伴う被搬送物の搬送作業の停止時間を無くす、あるいは短縮することが可能となる。
【0016】
接離手段によってガス処理装置を切り離している際にも、内部を清浄な状態で維持させるためには、前記接離手段によって前記ガス処理装置を前記循環路より切り離した際に、前記ガス処理装置を通過せずにガスが循環する短縮循環路が形成されるように構成することが好適である。
【0017】
ガス処理装置の循環路からの切り離しと接続とを簡単に行うことを可能とするためには、前記接離手段が、前記ガス処理装置にガスを流入させるガス流入口と、ガス処理装置よりガスを吐出させるガス吐出口とをそれぞれ開閉する開閉蓋により構成されるようにすることが好適である。
【0018】
ガス処理装置の交換の作業効率を向上するとともに、被搬送物の種類や処理装置側で行う処理の内容によってガス処理装置の有無を選択することを可能とするためには、前記搬送ロボットが内部に設けられる搬送室本体と、前記ガス処理装置を収容するガス処理ボックスとを備え、当該ガス処理ボックスを前記搬送室本体に対して接続及び分離可能に構成し、接続した場合にこれらガス処理ボックスと搬送室本体との間で前記循環路が形成されるように構成することが好適である。
【0019】
ガス処理装置を交換する際に外気に晒したとしても、接離手段によって循環路に接続する前にガス処理装置周辺の雰囲気を適切に調整し、内部の雰囲気に影響を及ぼさないようにするためには、前記接離手段によって前記ガス処理装置を前記循環路より切り離した際に、当該ガス処理装置を収容するガス処理ボックス内の雰囲気を置換するガスパージ手段を備えるように構成することが好適である。
【0020】
さらに、ガス処理装置の交換後でも十分な除去能力を持たせた上で循環路に接続させることを可能とするためには、前記ガス処理装置がケミカルフィルタであって、前記ガス処理ボックス内に供給するガスに水分を含ませる水分供給手段と、ガス処理ボックス内の湿度に応じて前記水分供給手段の制御を行う制御手段と、を備えるように構成することが好適である。
【発明の効果】
【0021】
以上説明した本発明によれば、内部の雰囲気に影響を与えることなくガス処理装置の交換を行うことができ、ガス処理装置の交換に伴う被搬送物の搬送作業の停止時間を短縮あるいは無くすことのできる搬送室を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【0022】
【図1】本発明の実施形態に係る搬送室と処理装置との関係を模式的に示す平面図。
【図2】同搬送室を模式的に示す斜視図。
【図5】同搬送室の内部雰囲気を制御するための構成を模式的に示すブロック図。
【図6】同搬送室よりケミカルフィルタユニットを取り外す際の状態を示す断面図。
【図7】同搬送室のケミカルフィルタユニットの近傍を拡大して示す断面図。
【図9】同搬送室の変形例を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【0023】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。
【0024】
図１は、本発明の実施形態に係る搬送室１と、これに接続する処理装置６との関係を模式的に示した平面図である。この図に示すように、搬送室１は一般にＥＦＥＭと称されるモジュール機器として構成されている。具体的には、この搬送室１は、所定の受け渡し位置の間で被搬送物であるウエハＷの搬送を行う搬送ロボット２と、この搬送ロボット２を囲むように設けられた箱型の筐体３と、筐体３の前面側の壁（前面壁３１）の外側に接続される複数（図中では３つ）のロードポート４〜４とから構成されている。
【0025】
ここで、本願においては筐体３より見てロードポート４〜４が接続される側の向きを前方、前面壁３１に対向する背面壁３２側の向きを後方と定義し、さらに、前後方向及び垂直方向に直交する方向を側方と定義する。すなわち、３つのロードポート４〜４は側方に並んで配置されている。
【0026】
また、搬送室１は、図１に示すように、背面壁３２の外側に隣接して、処理装置６の一部を構成するロードロック室６１が接続できるようになっており、搬送室１とロードロック室６１との間に設けられた扉１ａを開放することで、搬送室１内とロードロック室６１とを連通した状態にすることが可能となっている。処理装置６としては種々様々なものを使用できるが、一般には、ロードロック室６１と隣接して中継室６２が設けられ、さらに中継室６２と隣接して、ウエハＷに処理を行う複数（図中では３つ）の処理ユニット６３〜６３が設けられる構成となっている。中継室６２と、ロードロック室６１や処理ユニット６３〜６３との間には、それぞれ扉６２ａ，６３ａ〜６３ａが設けられており、これらを開放することで各々の間を連通させることができ、中継室６２内に設けられた搬送ロボット６４を用いてロードロック室６１及び処理ユニット６３〜６３の間でウエハＷを移動させることが可能となっている。
【0028】
図２，３に示すように、搬送室１を構成する筐体３は、本体ボックス３Ａと、ガス処理ボックスとしてのケミカルフィルタボックス３Ｂと、制御ボックス３Ｃとから構成されており、そして本体ボックス３Ａは、内部の搬送ロボット２（図１参照）と前面壁３１に設けられたロードポート４〜４とともに搬送室本体１Ａを構成している。また、本体ボックス３Ａと、ケミカルフィルタボックス３Ｂと、制御ボックス３Ｃとは互いに分離可能とされている。
【0029】
筐体３の前面壁３１、後面壁３２、左側面壁３３，右側面壁３４は、本体ボックス３Ａ、ケミカルフィルタボックス３Ｂ、制御ボックス３Ｃの前面壁３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ、後面壁３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃ、左側面壁３３Ａ，３３Ｂ，３３Ｃ，右側面壁３４Ａ，３４Ｂ，３４Ｃによってそれぞれ構成されている。そして、筐体３の上面壁３５は制御ボックス３Ｃの上面壁３５Ｃによって構成され、筐体３の底面壁３６は本体ボックス３Ａの底面壁３６Ａによって構成されている。また、本体ボックス３Ａの上面壁３５Ａにケミカルフィルタボックス３Ｂの底面壁３６Ｂが当接し、ケミカルフィルタボックス３Ｂの上面壁３５Ｂに制御ボックス３Ｃの底面壁３６Ｃが当接した状態で相互に固定されている。
【0030】
本体ボックス３Ａの前面壁３１Ａに設けられた開口３１ａにはロードポート４が接続され、背面壁３２Ａに設けられた矩形状の開口３２ａ（図１参照）は一般にゲートバルブと称される扉１ａによって閉止されている。さらに、本体ボックス３Ａの上面壁３５Ａには２つの開口３５Ａ１，３５Ａ２が設けられ、これらに対応する位置にケミカルフィルタボックス３Ｂの底面壁３６Ｂにも開口３６Ｂ１，３６Ｂ２が設けられることで、本体ボックス３Ａ内の空間Ｓ１と、ケミカルフィルタボックス３Ｂ内の空間Ｓ２とが連通し、一つの略密閉空間ＣＳが形成されている。
【0031】
本体ボックス３Ａ内の空間Ｓ１に設けられた搬送ロボット２は、ウエハＷを載置して搬送するピックを備えたアーム部２ａとこのアーム部２ａを下方より支持し、アーム部２ａを動作させるための駆動機構及び昇降機構を有するベース部２ｂとから構成されており、ベース部２ｂは、本体ボックス３Ａの前面壁３１Ａに支持部２１及びガイドレール２２を介して支持されている。そして、搬送ロボット２は本体ボックス３Ａ内の幅方向に延在するガイドレール２２に沿って移動できるようになっており、後述する制御手段５が搬送ロボット２の動作を制御することによって、各ロードポート４〜４に載置されたＦＯＵＰ４１に収容されるウエハＷのロードロック室６１への搬送、及び、各処理ユニット６３〜６３における処理後のウエハＷをＦＯＵＰ４１内へ再び搬送することが可能となっている。
【0032】
ケミカルフィルタボックス３Ｂ内には、ガス処理装置として機能する、一般にいうケミカルフィルタとしてのケミカルフィルタユニット７が設けられている。ケミカルフィルタユニット７は、これを通過するガスに含まれるケミカル成分のうち有機物成分を除去するための有機物除去フィルタ７１と、酸成分を除去するための酸除去フィルタ７２と、アルカリ成分を除去するためのアルカリ除去フィルタ７３より構成されており、各フィルタ７１〜７３はそれぞれ独立して交換可能となっている。ケミカルフィルタボックス３Ｂの前面壁３１Ｂ及び右側面壁３４Ｂ（図２参照）は、上部に設けられた軸を中心として上方に向かって回転可能とされており、これらを開くことで内部の空間Ｓ２を開放して、各フィルタ７１〜７３を交換可能となっている。なお、前面壁３１Ｂ及び右側面壁３４Ｂを垂直に下ろすことで、空間Ｓ２を再び密閉することも可能となっている。
【0033】
制御ボックス３Ｃの内部には、搬送室本体１Ａ全体の制御を行うためのコントロールユニットである制御手段５が設けられている。制御手段５は、ＣＰＵ、メモリ及びインターフェースを備えた通常のマイクロプロセッサ等により構成されるもので、メモリには予め処理に必要なプログラムが格納してあり、ＣＰＵは逐次必要なプログラムを取り出して実行し、周辺ハードリソースと協働して所期の機能を実現するものとなっている。制御手段５は、後述するように本体ボックス３Ａ内の搬送ロボット２やロードポート４の動作、各扉１ａ，４ａの開閉、及び、本体ボックス３Ａやケミカルフィルタボックス３Ｂ内へのガスの供給などの制御を行う。
【0034】
本体ボックス３Ａ内の空間Ｓ１は、図３に示すように、底面壁３６Ａより上面壁３５Ａまで延びる内部壁３７Ａによって搬送ロボット２が動作する空間である搬送空間Ｓ１１と、ガス帰還空間Ｓ１２とに仕切られている。そして、内部壁３７Ａの下部には開口３７Ａ１が設けられ、この開口３７Ａ１を介して搬送空間Ｓ１１とガス帰還空間Ｓ１２とは下側で連通している。さらに、開口３７Ａ１と連続してガス帰還空間Ｓ１２の下部にファン７７が設けられており、このファン７７を駆動させることで搬送空間Ｓ１１内のガスをガス帰還空間Ｓ１２に取込み、ガス帰還空間Ｓ１２内で上向き気流を作り出すことができるようになっている。
【0035】
ここで、図４は、図３のＢ−Ｂ位置における断面図である。この図から分かるように、ガス帰還空間Ｓ１２の中央部には、ロードロック室６１（図１参照）との間の扉１ａを囲む壁部３８Ａが形成されており、扉１ａ周りの空間は搬送空間Ｓ１１（図３参照）と連続している。そのため、ガス帰還空間Ｓ１２は下方から扉１ａを避けるように二手に分かれ、上方で再び合流するように構成されている。
【0036】
図３に戻って、搬送空間Ｓ１１及びガス帰還空間Ｓ１２は、上述した上面壁３５Ａの開口３５Ａ１，３５Ａ２を介してそれぞれケミカルフィルタボックス３Ｂ内の空間Ｓ２と連通している。そのため、搬送空間Ｓ１１とガス帰還空間Ｓ１２とは、上側においてもケミカルフィルタボックス３Ｂ内の空間Ｓ２を介して連通している。
【0037】
搬送空間Ｓ１１の上部、具体的には、上面壁３５Ａよりやや下方に離間した位置にはＦＦＵ７６が設けられており、ケミカルフィルタボックス３Ｂ内の空間Ｓ２より取り込んだガスをＦＦＵ７６によって下方に送り出し、搬送空間Ｓ１１内でダウンフローを形成することができる。さらに、ＦＦＵ７６には、ＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air）フィルタや、ＵＬＰＡ（Ultra Low Penetration Air）フィルタなどの高性能なフィルタが組み込まれており、通過するガスの内部に含まれる微小なパーティクルの捕集を行うことが可能となっている。
【0038】
一方、ケミカルフィルタボックス３Ｂには、上述した底面壁３６Ｂの開口３６Ｂ１とケミカルフィルタユニット７との間に吐出用ファン７５が設けられ、開口３６Ｂ２の上方に吸引用ファン７６が設けられている。開口３６Ｂ２及びこれと連続する開口３５Ａ２はケミカルフィルタユニット７に向けてガスを流入させるガス流入口として機能し、これら開口３６Ｂ２，３５Ａ２を介して、吸引用ファン７６はガス帰還空間Ｓ１２よりケミカルフィルタボックス３Ｂ内にガスを流入させる。そして、開口３６Ｂ１及びこれと連続する開口３５Ａ１はケミカルフィルタユニット７よりガスを吐出させるガス吐出口として機能し、吐出用ファン７５はケミカルフィルタユニット７を通過したガスを、これら開口３５Ｂ１，３５Ａ１を介して搬送空間Ｓ１１に送り込むことができる。従って、２つのファン７５，７６によってケミカルフィルタユニット７による圧力損失分を補償して、ガスの流れを作り出すことが可能となっている。
【0039】
上記のように、本体ボックス３Ａ及びケミカルフィルタボックス３Ｂ内で形成される略密閉空間ＣＳでは、内部雰囲気を構成するガスが次のような循環路ＣＬ１に沿って循環する。すなわち、循環路ＣＬ１は、搬送空間Ｓ１１の上部に設けられたＦＦＵ７６より下方に向かって進み、そして内部壁３７Ａの下部に設けられた開口３７Ａ１及びファン７７を通ってガス帰還空間Ｓ１２を上方に進み、開口３５Ａ２，３６Ｂ２通ってから吸引用ファン７４を介してケミカルフィルタボックス３Ｂ内の空間Ｓ２に入り、ケミカルフィルタユニット７を通過して、吐出用ファン７５及び開口３６Ｂ１，３５Ａ１を通り搬送空間Ｓ１１に戻るように形成される。従って、ケミカルフィルタユニット７は、循環路ＣＬ１の途中に設けられているということができる。
【0040】
このように循環路ＣＬ１が形成される略密閉空間ＣＳにＮ２ガスを供給してパージするため、本体ボックス３Ａの後面壁３２Ａにはガス供給口９１Ａとガス排出口９２Ａが設けられ、さらにケミカルフィルタボックス３Ｂにもガス供給口９１Ｂとガス排出口９２Ｂが設けられている。
【0041】
図５は、これらのガス供給口９１Ａ，９１Ｂ、ガス排出口９２Ａ，９２Ｂに接続する配管ラインと、これに供給するガスの制御を行う制御手段５の構成を模式的に記載したものである。ガス供給口９１Ａ，９１ＢにはＮ２供給源からＮ２ガスを導くためのガス供給ラインＧＳ１，ＧＳ２が接続されており、ガス排出口９２Ａ，９２ＢにはＮ２排出先にＮ２ガスを導出するためのガス排出ラインＧＥ１，ＧＥ２が接続されている。制御手段５による動作については、後に詳述する。
【0042】
図６は、略密閉空間ＣＳを、本体ボックス３Ａ内の空間Ｓ１と、ケミカルフィルタボックス３Ｂ内の空間Ｓ２とに分断して、さらにケミカルフィルタボックス３Ｂの前面壁３１Ｂを開いた状態を示すものである。
【0043】
上述した開口３５Ａ１の下方には、開閉扉としての２つのダンパ８１，８２が回動可能に設けられており、図３に示すように、ダンパ８１，８２が下方に向かって回動して、さらに先端同士が離間するように開くことで開口３５Ａ１を開放し、この開口３５Ａ１を介して搬送空間Ｓ１１とケミカルフィルタボックス３Ｂ内の空間Ｓ２とを連通させた状態にすることができる。さらには、図６に示すように、ダンパ８１，８２を水平にして上面壁３５Ａの内側に密着させることで開口３５Ａ１を閉じることができる。
【0044】
同様に、開口３５Ａ２の下方にも、開閉扉としてのダンパ８３が回動可能に設けられており、図３に示すように、ダンパ８３を下方に向かって回動させることで開口３５Ａ２を開放し、この開口３５Ａ２を介してガス帰還空間Ｓ１２とケミカルフィルタボックス３Ｂ内の空間Ｓ２とを連通させた状態にすることができる。さらには、図６に示すように、ダンパ８３を水平として上面壁３５Ａの内側に密着させることで開口３５Ａ２を閉じることができる。
【0045】
上記のダンパ８１〜８３の回動は、本体ボックス３Ａに設けるレバー等の操作によって行わせても、モータ等の駆動機構を利用して行わせるように構成しても良い。
【0046】
また、本体ボックス３Ａ内に設けられた内部壁３７Ａの上部には開口３７Ａ２が設けられており、この開口３７Ａ２を介して搬送空間Ｓ１１とガス帰還空間Ｓ１２とを直接的に連通させることができるようになっている。ただし、開口３５Ａ１，３５Ａ２を開放させるようにダンパ８２，８３を下方に向かって回動させた通常の状態では、これらのダンパ８２，８３が内部壁３７Ａに密着して開口３７Ａ２を閉止するようにしていることから、開口３５Ａ１，３５Ａ２が開放された状態では開口３７Ａ２は閉止されることになり、ガスの流れる循環路ＣＬ１に影響は生じない。これとは逆に、ダンパ８１〜８３によって開口３５Ａ１，３５Ａ２が閉止された状態では、開口３７Ａ２は開放される。この場合、本体ボックス３Ａの内部では、次のように一部が短絡された短縮循環路としての新たな循環路ＣＬ２が形成される。すなわち、新たな循環路ＣＬ２は、搬送空間Ｓ１１の上部に設けられたＦＦＵ７６より下方に向かって進み、そして内部壁３７Ａの下部に設けられた開口３７Ａ１及びファン７７を通ってガス帰還空間Ｓ１２を上方に進み、内部壁３７Ａの上部に設けられた開口３７Ａ２を通過してＦＦＵ７６に戻るように形成される。この際、ケミカルフィルタユニット７は循環路ＣＬ１より切り離され、残る部分で循環路ＣＬ２が形成されることになる。
【0047】
すなわち、上述したダンパ８１〜８３は、循環路ＣＬ１の途中にあるケミカルフィルタユニット７を循環路ＣＬ１より切り離したり、循環路ＣＬ１に接続させたりするための切離手段８として機能している。
【0048】
上記のように、切離手段８によってケミカルフィルタユニット７を循環路ＣＬ１より切り離した状態とした上で、前面壁３１Ｂ又は側面壁３４Ｂ（図２参照）を開いて空間Ｓ２を開放し、ケミカルフィルタユニット７の交換を行うことができる。この際、ケミカルフィルタユニット７が本体ボックス３Ａ内の空間Ｓ１とは切り離されていることから、空間Ｓ１は外気にさらされることなく清浄な状態を保つことができる。そのため、ケミカルフィルタユニット７の交換をしながら、搬送室本体１Ａの内部でウエハＷの搬送を継続して行うことができる。
【0049】
図７は、ケミカルフィルタボックス３Ｂ周辺を拡大して示す断面図である。ケミカルフィルタボックス３Ｂは、前方側より遮蔽板８４を挿入可能なスリットＳＬが設けられている。遮蔽板８４は板金折り曲げによって形成された側面視Ｌ字型の部材であり、平面視矩形状で、ケミカルフィルタボックス３Ｂよりも僅かに小さくなっている。
【0050】
図８（ａ）は、遮蔽板８４をスリットＳＬ（図７参照）より後方に向かって挿入した状態を示すものである。遮蔽板８４は、ケミカルフィルタボックス３Ｂの底面壁３６Ｂと平行となり、開口３６Ｂ１，３６Ｂ２と内部の空間Ｓ２との間を遮蔽する。そのため、この遮蔽板８４を挿入するのみで、本体ボックス３Ａ内の空間Ｓ１とケミカルフィルタボックス３Ｂ内の空間Ｓ２とを切り離すことができる。なお、遮蔽板８４を抜き去った際には、スリットＳＬを介してケミカルフィルタボックス３Ｂ内の空間Ｓ２が外部に開放されることになるが、これを避けるため遮蔽板８４の代わりにダミーの板部材を挿入して外部との連通を防ぐとともに、そのダミーの板部材に開口３６Ｂ１，３６Ｂ２に対応する孔を形成することで循環路ＣＬ１（図３参照）形成の障害にならないようにすれば良い。
【0051】
また、遮蔽板８４を挿入するとともに、上述したダンパ８１〜８３を閉止することによって、ケミカルフィルタボックス３Ｂを循環路ＣＬ１より切り離し、循環路ＣＬ１を短絡させた新たな循環路ＣＬ２（図６参照）を形成することができる。
【0052】
図８（ｂ）は、さらに、本体ボックス３Ａよりケミカルフィルタボックス３Ｂ及び制御ボックス３Ｃを分離させた状態を示すものである。このように、ケミカルフィルタボックス３Ｂは、遮蔽板８４を挿入した状態では、本体ボックス３Ａ及び制御ボックス３Ｃより分離させても内部の空間Ｓ２を密閉状態に保つことができ、本体ボックス３Ａ内の空間Ｓ１もダンパ８１〜８３によって密閉状態に保つことができる。そのため、内部を外気にさらすことなく分離を行うことができ、ケミカルフィルタボックス３Ｂごと交換したり、ケミカルフィルタボックス３Ｂを別の場所に移動させてから前面壁３１Ｂ又は側面壁３４Ｂ（図２参照）を開いてケミカルフィルタユニット７を交換したりすることもできる。さらに、ウエハＷに行う処理の内容からケミカルフィルタユニット７が不要と判断される場合には、ケミカルフィルタボックス３Ｂを無くして、本体ボックス３Ａと制御ボックス３Ｃとを直接接続させることもできる。
【0053】
上記のように筐体３を構成する本体ボックス３Ａ、ケミカルフィルタボックス３Ｂ及び制御ボックス３Ｃのうち、本体ボックス３Ａとケミカルフィルタボックス３Ｂの内部には、被搬送物であるウエハＷの表面を清浄に保ち、酸化等の化学反応が生じることがないようにするために不活性ガスであるＮ２ガスによるパージが行われ、雰囲気が置換される。
【0054】
具体的には、初期の立ち上げ時において、図５に示すケミカルフィルタボックス３Ｂ側のガス供給口９１Ｂよりガス供給ラインＧＳ２を通じてＮ２ガスを供給し、内部の空気をガス排出口９２Ａよりガス排出ラインＧＥ１を通じて排出する。
【0055】
ガス供給ラインＧＳ２には、Ｎ２ガス供給源から導かれる配管に、レギュレータ９３、バルブ９４、ＭＦＣ（気体流量コントローラ）９５、バルブ９４が順に設けられ、ガス供給口９１Ｂに接続されている。ガス排出ラインＧＥ１には、ガス排出口９２Ａに接続された配管に流量調整バルブ９８、バルブ９４が順に設けられ、その先にガスの排出先が接続されている。そのため、これらによってガス排出口９２Ａからの排出量をコントロールしながら、ガス供給口９１ＢからのＮ２ガスの供給量をコントロールすることで、本体ボックス３Ａ内の空間Ｓ１とケミカルフィルタボックス３Ｂ内の空間Ｓ２とをＮ２ガスで満たして空気を排除することができる。
【0056】
そして、一定以上にＮ２ガスの濃度が高まったところで、ガス供給口９１ＢからのＮ２ガスの供給量を少なくしながら、ガス排出口９２Ａからの排出量を僅かにして、内部を陽圧に保つようにしている。この状態で、内部のガスを循環路ＣＬ１に従って循環させることで、ガスに含まれるパーティクルやケミカル成分をＦＦＵ７６やケミカルフィルタユニット７によって除去して、内部を清浄な状態に保つことが可能となっている。また、Ｎ２ガスはほとんど水分を含まない乾燥ガスであることから、内部の水分を少なくしてウエハＷ表面の腐食を防ぐこともできる。
【0057】
さらに、本実施形態では、本体ボックス３Ａに対してガス供給ラインＧＳ１を通じてＮ２ガスを供給することができ、ケミカルフィルタボックス３Ｂからガス排出ラインＧＥ２を通じてガスを排出することができるようになっている。ガス供給ラインＧＳ１には、Ｎ２ガス供給源から導かれる配管にバルブ９４、流量調整バルブ９８が順に設けられてガス供給ラインＧＳ１に接続されており、ガス排出ラインＧＥ２には、ガス排出口９２Ｂに接続された配管に流量調整バルブ９８、バルブ９４が順に設けられ、その先にガスの排出先が接続されている。
【0058】
そのため、ダンパ８１〜８３を閉じて本体ボックス３Ａ内の空間Ｓ１と、ケミカルフィルタボックス３Ｂ内の空間Ｓ２とを切り離して独立させた場合には、本体ボックス３Ａ側はガス供給ラインＧＳ１とガス排出ラインＧＥ１とを用いて、内部にフレッシュなＮ２ガスを僅かに供給させつつ排出を行うことができる。また、ケミカルフィルタボックス３Ｂ側でも、ガス供給ラインＧＳ２とガス排出ラインＧＥ２とを用いて、フレッシュなＮ２ガスの供給と、内部のガスの排出とを行うことができ、ケミカルフィルタユニット７の交換後に、内部をＮ２ガスによってパージすることができる。すなわち、ガス供給ラインＧＳ２とガス排出ラインＧＥ２とは、ケミカルフィルタボックス３Ｂ内をガスパージするためのガスパージ手段ＰＭを構成している。従って、ケミカルフィルタユニット７を交換する場合であっても、ケミカルフィルタボックス３Ｂ内の僅かな空間Ｓ２分のＮ２ガスを置換するのみで足り、Ｎ２消費量を削減することができる。
【0059】
ところで、上記のように内部の雰囲気の置換に用いられるＮ２ガスを供給し続けることによって内部の水分が少なくなりすぎ、ケミカルフィルタユニット７によるケミカル成分の除去性能が低下する場合がある。
【0060】
図３に示すようにケミカルフィルタユニット７を構成する有機物除去フィルタ７１、酸除去フィルタ７２、アルカリ除去フィルタ７３のうち、有機物除去フィルタ７１は吸着により有機物成分を除去するのに対して、酸除去フィルタ７２及びアルカリ除去フィルタ７３は加水分解反応により酸成分やアルカリ成分を除去する。従って、酸成分やアルカリ成分の除去のためには一定以上の水分が必要であり、ガス中の湿度が低くなりすぎると除去性能が著しく低下する。
【0061】
そこで、本実施形態では、内部の湿度を一定に保つために、ガス供給口９１Ｂから供給されるＮ２ガスに水分を含ませることができるように下記の水分供給手段ＨＳを備えている。
【0062】
水分供給手段ＨＳは、水供給源に接続された配管に接続されるバルブ９４、ＬＦＣ（液体流量コントローラ）９９、バルブ９４、一般にインジェクションと称される噴霧器９６、気化器９７、及び、気化器９７に含まれるヒータ９７ａを動作させるヒータコントローラ９７ｂとから構成されている。
【0063】
具体的には水供給源に接続された配管にバルブ９４、ＬＦＣ９９、バルブ９４が順に接続され、さらに、ガス供給ラインＧＳ２の途中に設けられた噴霧器９６に接続されている。そのため、ＬＦＣ９９によって水の流量を調整することで与える水分量を決定することができ、噴霧器９６によって水を微小な霧状にしてＮ２ガスに含ませることができる。そして噴霧器９６の下流側には、コイル状に形成された配管と、この配管を加熱するためのヒータ９７ａとから構成される気化器９７が設けられている。ヒータ９７ａはヒータコントローラ９７ｂにより電力を供給されることで、配管を流れるガスを加熱して、内部に含まれる水粒子を気化させることができる。さらに、噴霧器９６より、気化器９７を介してガス供給口９１Ｂに至るまでの配管には、保温材と保温用ヒータからなる保温手段ＨＩが設けられており、一旦気化した水分が結露し、水滴となってケミカルフィルタボックス３Ｂ内に流入することがないようにしている。
【0064】
また、上記のように水分供給手段ＨＳを付加されたガス供給ラインＧＳ２は、水分供給手段ＨＳとともに、水分を含むＮ２ガスを供給するガス供給手段ＮＳを構成している。
【0065】
こうしたガス供給手段ＮＳの制御を行うために、本体ボックス３Ａ内の空間Ｓ１及びケミカルフィルタボックス３Ｂ内の空間Ｓ２の湿度をそれぞれ検出する湿度検出器ＨＧ１，ＨＧ２が設けられている。そしてさらに、本体ボックス３Ａ内の空間Ｓ１と外部との圧力差を検出する圧力検出器ＰＧが設けられている。
【0066】
そして、これらからの検出値を基にしてガス供給手段ＮＳの制御を行うため、上述した制御手段５は次のように構成されている。
【0067】
制御手段５は、ガス（Ｎ２）流量決定部５１と、水（Ｈ２Ｏ）流量決定部５２と、ヒータ動作指令部５３と、圧力取得部５４と、湿度取得部５５と、記憶部５６とを備えている。
【0068】
記憶部５６には、あらかじめ定められた所定値である圧力目標値及び湿度目標値とが記憶されている。圧力取得部５４は圧力検出器ＰＧからの出力を取得し、圧力検出値として出力することができる。湿度取得部５５は湿度検出器ＨＧ１，ＨＧ２からの出力を取得し、湿度検出値としてそれぞれ出力することができる。
【0069】
ガス流量決定部５１は、圧力取得部５４により得られる圧力検出値を基にして、ガス供給ラインＧＳ２より供給されるＮ２ガスの流量を決定し、対応するガス流量指令値をＭＦＣ９５に出力するように構成されている。より具体的には、圧力検出値が圧力目標値を中心とする所定範囲内にある場合にはガス流量指令値をそのまま維持させ、圧力検出値が上記の所定範囲よりも小さい場合にはＮ２ガスの供給量を増やし、圧力検出値が上記の所定範囲よりも大きい場合にはＮ２ガスの供給量を減らすようにガス流量指令値を変化させる。
【0070】
水流量決定部５２は、湿度取得部５５を介して得られる湿度検出器ＨＧ２による湿度検出値を基にして、水供給手段ＨＳより供給される水の流量を決定し、対応する水流量指令値をＬＦＣ９９に出力するように構成されている。より具体的には、湿度検出値が湿度目標値を中心とする所定範囲内にある場合には水流量指令値をそのまま維持させ、湿度検出値が上記の所定範囲よりも小さい場合には水の供給量を増やし、湿度検出値が上記の所定範囲よりも大きい場合には水の供給量を減らすように水流量指令値を変化させる。なお、湿度検出値が湿度目標値よりも大きい場合には、水の供給量をゼロにしてＮ２ガスのみを供給させても良い。こうした湿度の制御について、ＰＩＤ制御を利用して、オーバシュートやハンチングを抑制することも好適である。なお、上記の制御を行う場合、湿度検出器ＨＧ１による湿度検出値はモニタ用に用いるが、湿度検出器ＨＧ２による湿度検出値をモニタ用にして湿度検出器ＨＧ１による湿度検出値を制御用に用いることもできる。
【0071】
ヒータ動作指令部５３は、水流量決定部５２により決定された水流量指令値に対応してヒータ９７ａを動作させるべく、ヒータコントローラ９７ｂに命令を与えるように構成されている。
【0072】
上記のように搬送室１が構成されることによって、以下のように動作を行わせることができる。
【0073】
まず、搬送室１の動作を開始させる場合には、図３に示すように切離手段８であるダンパ８１〜８３により本体ボックス３Ａとケミカルフィルタボックス３Ｂの間で連続する開口３５Ａ１，３６Ｂ１及び開口３５Ａ２，３６Ｂ２を開放させる。これにより、本体ボックス３Ａ内の空間Ｓ１とケミカルフィルタボックス３Ｂ内の空間Ｓ２とが接続され、１つの密閉空間ＣＳが形成されるとともに、その内部で搬送空間Ｓ１１、ガス帰還空間Ｓ１２、及びケミカルフィルタボックス３Ｂ内の空間Ｓ２の間でガスを循環させるための循環路ＣＬ１が形成される。
【0074】
そして、内部の略密閉空間ＣＳには、図５に示すようにガス供給口９１Ｂよりガス供給ラインＧＳ２を介してＮ２ガスを供給しながら、ガス排気口９２Ａよりガス排出ラインＧＥ１を介して空気を排除し、Ｎ２ガスによるパージを行う。この際、圧力検出器ＰＧから得られる出力より圧力取得部５４が圧力検出値を取得し、この圧力検出値を基にガス流量決定部５１がガス流量指令値を決定してＭＦＣ９５に出力する。そして、ＭＦＣ９５がガス流量指令値に合わせてガス流量を調整することで、略密閉空間ＣＳに供給されるＮ２ガスの流量が変更される。こうすることで略密閉空間ＣＳの内部を外部よりも圧力の高い陽圧に保ち、外部からのパーティクルの侵入を防止することができる。
【0075】
さらに、制御手段５によって、ＦＦＵ７６及びファン７４，７５，７７の動作を行わせることで、循環路ＣＬ１に沿って内部でガスを循環させることができ、ケミカルフィルタユニット７及びＦＦＵ７６によって、ガス中に含まれるパーティクルやケミカル成分を除去して清浄な状態にすることができる。
【0076】
そしてさらに、制御手段５を構成する湿度取得部５５が、湿度検出器ＨＧ２から得られる出力より湿度検出値を取得し、この湿度検出値を基に水流量決定部５２が水流量指令値を決定してＬＦＣ９９に出力する。ＬＦＣ９９は水流量指令値に合わせて水流量を調整することで、略密閉空間ＣＳに供給されるＮ２ガスに含ませる水分量が調整される。また、水分は噴霧器９６により微小粒子として与えられた後に、下流側の気化器９７を用いて気化された状態でケミカルフィルタボックス３Ｂ内に与えられる。こうすることで、略密閉空間ＣＳ内では、ケミカルフィルタユニット７による加水分解反応を損なわない程度の僅かな湿度を保つことができ、ケミカル成分を効果的に除去するとともに、過度の湿度によるウエハＷの腐食を防ぐこともできる。
【0077】
上記のように内部の雰囲気が清浄となって安定することで、制御手段５によって搬送ロボット２や、図１に示すロードポート４〜４及び各ドア１ａ，４ａ〜４ａを動作させることで、被搬送物であるウエハＷの搬送を行うことができる。
【0078】
さらには、ケミカルフィルタユニット７の交換が必要となった場合には、図６に示すように、切離手段８を構成するダンパ８１〜８３を動作させ、開口３５Ａ１及び開口３５Ａ２を閉じるとともに、内部壁３７Ａの上部に形成された開口３７Ａ２を開放する。こうすることで、本体ボックス３Ａ内の空間Ｓ１とケミカルフィルタボックス３Ｂ内の空間Ｓ２とを切り離すとともに、本体ボックス３Ａの内部で短絡された循環路ＣＬ２を形成することができる。この場合、本体ボックス３Ａ内ではＦＦＵ７６及びファン７７により循環路ＣＬ２に沿ったガスの循環を継続し、ガス供給口９１Ａよりガス供給ラインＧＳ１（図５参照）を介してフレッシュなＮ２ガスの供給を行うことで、内部を清浄な状態に保つことができる。そのため、ケミカルフィルタユニット７の交換を行いながら搬送室本体１Ａのみを動作させて、ウエハＷの搬送を継続して行うことができる。
【0079】
また、ケミカルフィルタボックス３Ｂ側では、切離手段８によってケミカルフィルタユニット７が循環路ＣＬ１（ＣＬ２）より切り離されていることから、前面壁３１Ｂ又は側面壁３４Ｂ（図２参照）を開放しても搬送室本体１Ａ側に影響を与えることなく、自由にケミカルフィルタユニット７の交換を行うことができる。
【0080】
そして、ケミカルフィルタユニット７の交換後に、前面壁３１Ｂ及び側面壁３４Ｂ（図２参照）を閉止して内部の空間Ｓ２を略密閉状態とした後には、図５に示すガス供給口９１Ｂよりガス供給ラインＧＳ２を介してＮ２ガスの供給を行いつつ、ガス排出口９２Ｂよりガス排出ラインＧＥ２を介して空気の排出を行い、Ｎ２ガスによってパージする。このように、ケミカルフィルタユニット７の交換に際して、外気にさらされる部分がケミカルフィルボックス３Ｂ内の空間Ｓ２に限られることから、再びガスパージする際にＮ２ガスの消費量を削減するとともに、作業時間を短縮することができる。
【0081】
そしてさらに、ケミカルフィルタユニット７交換後にＮ２ガスを供給する際に、湿度検出器ＨＧ２から得られる出力より湿度検出値を取得し、この湿度検出値が湿度目標値を中心とする所定の範囲内になるように、水分供給手段ＨＳからＮ２ガスに水分が供給されるようにしている。そのため、ケミカルフィルタボックス３Ｂ内をＮ２ガスによってパージする段階で、ケミカルフィルタユニット７が適正にケミカル成分を除去し得る状態にすることができる。
【0082】
上記のように、ケミカルフィルタユニット７を交換した後に、ケミカルフィルタボックス３Ｂ内の空間Ｓ２内をＮ２ガスによってパージし、湿度制御を行った上で切離手段８を再び動作させて、本体ボックス３Ａ内の空間Ｓ１とケミカルフィルタボックス３Ｂ内の空間Ｓ２とを連続させ、搬送空間Ｓ１１、ガス帰還空間Ｓ１２、及びケミカルフィルタボックス３Ｂ内の空間Ｓ２の間で循環路ＣＬ１を形成させる。これによりケミカルフィルタユニット７は循環路ＣＬ１に接続される。そして、ガス供給ライン９１ＡからＮ２ガスの供給及びガス排出口９２Ｂからのガスの排出を停止し、ガス供給ライン９１Ｂより僅かにＮ２ガスを供給させながら、ガス排出ライン９２Ａより僅かにＮ２ガスを排出させる通常の制御に移行させる。
【0083】
こうすることで、ケミカルフィルタユニット７の交換を行ってもウエハＷの搬送にはほとんど影響が生じることなく、交換に要する搬送作業の停止時間を短縮、あるいは無くすことが可能となっている。
【0084】
また、本実施形態では、図７、図８に示すように、ケミカルフィルタボックス３Ｂに遮蔽板８４を挿入することで、ケミカルフィルタボックス３Ｂを本体ボックス３Ａより分離させた場合でも、ケミカルフィルタボックス３Ｂ内の空間Ｓ２の閉止状態を保つことができるようになっている。そのため、ケミカルフィルタボックス３Ｂ内を過度に外気にさらすことなく交換したり、別の場所に移動させてメンテナンスを行ったりすることもできる。もちろん、ケミカルフィルタボックス３Ｂが不要な場合には、制御ボックス３Ｃを本体ボックス３Ａに直接接続させて、ケミカルフィルタユニット７を有さない搬送室１として構成することもできる。
【0085】
以上のように本実施形態における搬送室１は、内部に設けられる搬送ロボット２を用いて処理装置６側との間で被搬送物であるウエハＷの受け渡しを行うためのものであって、ガスを循環させるために内部に形成された循環路ＣＬ１と、循環路ＣＬ１の途中に設けられたガス処理装置としてのケミカルフィルタユニット７と、ケミカルフィルタユニット７の循環路ＣＬ１からの切り離しと接続とを切り替える接離手段８と、を備えるように構成したものである。
【0086】
このように構成しているため、接離手段８によってケミカルフィルタユニット７を循環路ＣＬ１より切り離すことで、内部の雰囲気に影響を及ぼすことなくケミカルフィルタユニット７の交換を行うことができ、内部の空間Ｓ１を清浄な状態に保つことが可能となる。また、ケミカルフィルタユニット７の交換時に搬送室１内全体を外気に晒す必要がなくなるため、ケミカルフィルタユニット７を循環路ＣＬ１に再接続させた後に雰囲気を調整するための時間を無くす、あるいは短縮することができる。従って、ケミカルフィルタユニット７の交換に伴うウエハＷの搬送作業の停止時間を無くす、あるいは短縮することが可能となっている。
【0087】
さらに、接離手段８によってケミカルフィルタユニット７を循環路ＣＬ１より切り離した際に、ケミカルフィルタユニット７を通過せずにガスが循環する短縮循環路ＣＬ２が形成されるように構成していることから、接離手段８によってケミカルフィルタユニット７を切り離している際にも内部でガスが循環を続けることができ、清浄な状態を維持することが可能となっている。
【0088】
また、接離手段８が、ケミカルフィルタユニット７にガスを流入させるガス流入口３６Ｂ２と、ケミカルフィルタユニット７よりガスを吐出させるガス吐出口３６Ｂ１とをそれぞれ開閉する開閉蓋としてのダンパ８１〜８３により構成されていることから、ケミカルフィルタユニット７の循環路ＣＬ１からの切り離しと接続とを簡単に行うことが可能となっている。
【0089】
そして、搬送ロボット２が内部に設けられる搬送室本体１Ａと、ケミカルフィルタユニット７を収容するガス処理ボックスとしてのケミカルフィルタボックス３Ｂとを備え、ケミカルフィルタボックス３Ｂを搬送室本体１Ａに対して接続及び分離可能に構成し、接続した場合にこれらケミカルフィルタボックス３Ｂと搬送室本体１Ａとの間で循環路ＣＬ１が形成されるように構成していることから、ケミカルフィルタユニット７交換の作業効率を向上するとともに、ウエハＷの種類や処理の内容によってケミカルフィルタボックス３Ｂの有無を選択することが可能となっている。
【0090】
さらに、接離手段８によってケミカルフィルタユニット７を循環路ＣＬ１より切り離した際に、ケミカルフィルタユニット７を収容するケミカルフィルタボックス３Ｂ内の雰囲気を置換するガスパージ手段ＰＭを備えるように構成していることから、ケミカルフィルタユニット７を交換する際に外気に晒したとしても、接離手段８によって循環路ＣＬ１に接続する前にケミカルフィルタユニット７周辺の雰囲気を適切に調整しておくことができるため、ウエハ７の搬送への影響を抑えることが可能となっている。
【0091】
加えて、ガス処理装置がケミカルフィルタユニット７であって、ケミカルフィルタボックス３Ｂ内に供給するガスに水分を含ませる水分供給手段ＨＳと、ケミカルフィルタボックス３Ｂ内の湿度に応じて水分供給手段ＨＳの制御を行う制御手段５と、を備えるように構成していることから、ケミカルフィルタユニット７の交換後でも、ケミカルフィルタユニット７周辺の湿度を適正に調整して十分な除去能力を持たせた上で循環路ＣＬ１に接続させることができることから、交換直後より高い除去能力を発揮させ、停止時間を短縮あるいは無くすことを可能としている。
【0092】
なお、各部の具体的な構成は、上述した実施形態のみに限定されるものではない。
【0093】
例えば、上述の実施形態では、切離手段８を構成するダンパ８１〜８３を本体ボックス３Ａ側に設け、遮蔽板８４をケミカルフィルタボックス３Ｂ側に取り付け可能に構成していたが、図９に示すようにダンパ１８１，１８２，１８５をケミカルフィルタボックス１０３Ｂに設け、遮蔽板１８４を本体ボックス１０３Ａ側に取り付け可能に構成することもできる。図９では上述の実施形態と同じ部分には同じ符号を付し、説明を省略する。図９（ａ）に示すようにケミカルフィルタボックス１０３Ｂの開口３６Ｂ１にはダンパ１８１，１８２が設けられており、開口３６Ｂ２にはダンパ１８５が設けられている。他方、本体ボックス１０３Ａ側にも、上面壁３５Ａに設けられた開口３５Ａ２と、内部壁３７Ａに設けられた開口３７Ａ２とを選択的に閉止するダンパ８３が設けられている。そして、ダンパ１８１，１８２，１８５により開口３６Ｂ１，３６Ｂ２を開放し、ダンパ８３により開口３５Ａ２を開放して開口３７Ａ２を閉止することで、本体ボックス１０３Ａとケミカルフィルタ１０３Ｂとを連通状態にすることができる。さらに、図９（ｂ）に示すように、ダンパ１８１，１８２，１８５により開口３６Ｂ１，３６Ｂ２を閉止し、ダンパ８３により開口３５Ａ２を閉止して開口３７Ａ２を開放することで、本体ボックス１０３Ａとケミカルフィルタ１０３Ｂとを切り離した状態にして、本体ボックス１０３Ａのみの内部でガスの循環を行うことができる。さらには、開口３５Ａのやや下方に形成されたスリットＳＬに遮蔽板１８４を挿入することで開口３５Ａを閉止することができ、こうすることによって、ケミカルフィルタボックス１０３Ｂを本体ボックス１０３Ａより分離させても互いに密閉状態を保つことが可能となる。
【0094】
さらに、図９の構成をさらに変形して、ダンパ１８１，１８２、１８５とファン７４，７５とが一体的に構成されたダンパ付きファンを利用することもできる。
【0095】
また、上述の実施形態では、内部を満たすガスとしてＮ２ガスを用いていたが、同じく不活性ガスであるＡｒ（アルゴン）ガスなど、これ以外のガスを用いることもでき、被搬送物であるウエハＷに対する処理の内容に応じて適宜変更する事ができる。
【0096】
ガス処理装置には、ケミカルフィルタユニット７だけでなく、滅菌フィルタやパーティクル除去フィルタを用いることもでき、これらによって循環するガスより特定成分を取り除いたり、弱めたりすることも考えられる。こうした場合においても、上記と同様の効果を得ることが可能である。
【0097】
さらには、上述の実施形態では半導体製造に用いられるウエハＷを被搬送物とする搬送室１として構成していたが、この構造は特許文献２で挙げたような細胞培養関連分野においても用いることができる。すなわち、シャーレ等の培養容器を被搬送物として清浄な密閉空間内で搬送するための搬送室としても構成することができ、この場合においても上記に準じた効果を得ることが可能である。
【0098】
細胞培養関連分野における搬送室として構成した場合、内部を循環させるガスとして、過酸化水素等の滅菌ガスを用いてもよい。その場合、所定期間のみ滅菌ガスを循環させて滅菌の目的を達した後に滅菌ガスを無害化するための無害化装置を、上述のケミカルフィルタユニット７とともに、あるいはこのケミカルフィルタユニット７に代え、ガス処理装置として利用しても良く、これを上記と同様にガス処理ボックス３Ｂ内に収容する構成にすることで、上記に準じた効果を得ることが可能である。なお、この無害化装置の例としては、過酸化水素を水及び酸素に分解させる触媒を含む分解装置などがある。
【0099】
その他の構成も、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【符号の説明】
【0100】
１…搬送室１Ａ…搬送室本体
２…搬送ロボット
３Ｂ…ケミカルフィルタボックス（ガス処理ボックス）
５…制御手段
６…処理装置
７…ケミカルフィルタユニット（ケミカルフィルタ、ガス処理装置）
８…切離手段
３６Ｂ１…開口（ガス吐出口）
３６Ｂ２…開口（ガス流入口）
８１〜８３…ダンパ（開閉蓋）
ＣＬ１…循環路
ＣＬ２…循環路（短縮循環路）
ＨＳ…水分供給手段
ＰＭ…ガスパージ手段
Ｗ…ウエハ（被搬送物）