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特開2016-172927(P2016-172927A)
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日新電機株式会社
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特開
2016-172927
プラズマ装置、それを用いたカーボン薄膜の製造方法およびコーティング方法
書誌
要約
請求の範囲
詳細な説明
課題
実施例
実施するための形態
図面の説明
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