特開 2016-177414 不具合要因特定支援装置および不具合要因特定支援方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2016-177414(P2016-177414A)

(43)【公開日】2016年10月6日

(54)【発明の名称】不具合要因特定支援装置および不具合要因特定支援方法

(51)【国際特許分類】

   G05B 23/02 20060101AFI20160909BHJP

【ＦＩ】

   G05B23/02 302Y

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】21

(21)【出願番号】特願2015-55709(P2015-55709)

(22)【出願日】2015年3月19日

(71)【出願人】

【識別番号】000006666

【氏名又は名称】アズビル株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100064621

【弁理士】

【氏名又は名称】山川 政樹

(74)【代理人】

【識別番号】100098394

【弁理士】

【氏名又は名称】山川 茂樹

(72)【発明者】

【氏名】田中 雅人

(72)【発明者】

【氏名】山崎 史明

(72)【発明者】

【氏名】小山 晋一

(72)【発明者】

【氏名】木幡 真望

【テーマコード（参考）】

3C223

【Ｆターム（参考）】

3C223AA01

3C223BA03

3C223CC02

3C223DD03

3C223EA06

3C223EB01

3C223EB02

3C223EB05

3C223FF04

3C223FF31

3C223FF45

3C223GG01

3C223HH05

3C223HH08

(57)【要約】

【課題】不具合の要因を効率良く特定する支援を行うため、機器の不具合の要因となる可能性の高いと考えられる候補を提供するようにする。
【解決手段】フィールドに設置されたフィールド機器（Ｖ１）に不具合が発生した不具合発生時点に関する情報を取得する不具合時点情報取得部（２１）と、前記フィールド内で発生したイベントのうち、前記不具合発生時点よりも前の所定の時間範囲内で発生したイベントおよび前記イベントの発生したイベント発生時点に関するイベント情報を取得するイベント情報取得部（２２）と、前記イベント情報取得部（２２）が取得したイベント情報を不具合要因候補として出力する不具合要因候補出力部（２３）とを備えるようにする。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

フィールドに設置されたフィールド機器に不具合が発生した不具合発生時点に関する情報を取得する不具合時点情報取得部と、
前記フィールド内で発生したイベントのうち、前記不具合発生時点よりも前の所定の時間範囲内で発生したイベントおよび前記イベントの発生したイベント発生時点に関するイベント情報を取得するイベント情報取得部と、
前記イベント情報取得部が取得したイベント情報を不具合要因候補として出力する不具合要因候補出力部と
を備えることを特徴とする不具合要因特定支援装置。

【請求項2】

前記不具合要因候補出力部は、前記イベント情報取得部が複数の前記イベント情報を取得した場合、前記不具合発生時点と前記イベント発生時点との時間的な近さに基づいて前記不具合要因候補の優先順位を決定する候補順位決定部と、
前記優先順位を表す情報を付加した前記不具合要因候補を出力する出力部と
を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の不具合要因特定支援装置。

【請求項3】

前記不具合が発生した前記フィールド機器の位置を示す不具合機器位置情報を取得する不具合機器位置情報取得部と、
前記イベントが発生した位置を示すイベント発生位置情報を取得するイベント発生位置情報取得部と
を更に備え、
前記候補順位決定部は、前記不具合発生時点と前記イベント発生時点との時間的な近さ、および、前記不具合が発生した前記フィールド機器の位置と前記イベント発生位置との位置的な近さに応じて、前記不具合要因候補の優先順位を決定する
ことを特徴とする請求項１に記載の不具合要因特定支援装置。

【請求項4】

前記候補順位決定部は、
前記時間的な近さ、および、前記位置的な近さに対して重み付けすることにより前記イベント毎の評価値を算出し、
前記評価値に基づいて前記不具合要因候補の優先順位を決定する
ことを特徴とする請求項３に記載の不具合要因特定支援装置。

【請求項5】

前記候補順位決定部は、
前記時間的な近さを予め規定された正規化指標に基づいて定量化する第１定量化部と、
前記位置的な近さを予め規定された正規化指標に基づいて定量化する第２定量化部と
前記時間的な近さの定量化値と前記位置的な近さの定量化値を加算することにより前記イベント毎の評価値を算出する評価値算出部と
を備えることを特徴とする請求項４に記載の不具合要因特定支援装置。

【請求項6】

前記フィールド機器は、流体の流れる流路系の何れかの位置に設置され、
前記イベントは、前記流路系における前記フィールド機器とは異なる任意の位置で発生し、
前記不具合機器位置は、前記流路系の任意の起点からの距離により規定され、
前記イベント発生位置は、前記任意の起点からの距離により規定される
ことを特徴とする請求項３乃至５に記載の不具合要因特定支援装置。

【請求項7】

前記フィールド機器は、温度を制御する温度制御系の何れかの位置に設置され、
前記イベントは、前記温度制御系の近傍に存在する他の温度制御系の何れかの位置で発生し、
前記不具合機器位置は、前記温度制御系における任意の基準位置からの距離により規定され、
前記イベント発生位置は、前記温度制御系の前記基準位置から前記他の温度制御系までの空間的な距離により規定される
ことを特徴とする請求項２乃至４に記載の不具合要因特定支援装置。

【請求項8】

フィールドに設置されたフィールド機器に不具合が発生した不具合発生時点に関する情報を不具合時点情報取得部により取得する不具合時点情報取得ステップと、
前記フィールド内で発生したイベントのうち、前記不具合発生時点よりも前の所定の時間範囲内で発生したイベントおよび前記イベントの発生したイベント発生時点に関するイベント情報をイベント情報取得部により取得するイベント情報取得ステップと、
前記イベント情報取得ステップにおいて取得したイベント情報を不具合要因候補として不具合要因候補出力部により出力する候補出力ステップと
を有することを特徴とする不具合要因特定支援方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、不具合要因特定支援装置および不具合要因特定支援方法に関し、特に、フィールドに設置されたフィールド機器に発生した不具合の要因を特定するための支援を行う不具合要因特定支援装置および不具合要因特定支援方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、石油、化学系のプラントや工場等（以下、これを「フィールド」と呼ぶ。）においては、流体の流量を計測し制御する多数のセンサやコントロールバルブ（以下、これを「バルブ」と呼ぶ。）等の機器（以下、これを「フィールド機器」と呼ぶ。）が使用されている。

【0003】

これらのフィールド機器を定期的にメンテナンスする際には、効率およびコストの面から、多数のフィールド機器の中から実際に整備対象とすべきフィールド機器を選択することが望ましい。なお、定期的なメンテナンスは、バルブの老朽化のような避け得ない不具合を未然に防止するために必要な作業である。

【0004】

そこで、フィールド機器のメンテナンスの必要性を判断するための支援技術として、例えば特許文献１には、最近の整備実施日から経過した日数が予め設定された基準日数を超えたフィールド機器をメンテナンスの必要性があるものと判断する技術が提案されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１３−１９１００２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ところで、フィールド機器の不具合には、例えば、フィールド機器自身の老朽化に伴って徐々に進行する不具合と、バルブ開度異常のような突発的に発生する不具合とがある。このうち、突発的に発生する不具合は、オペレータが容易に認識できるので、フィールド機器自体の故障として認識され易い。

【0007】

しかしながら、実際には、突発的に発生した不具合の中には、その不具合が認識されたフィールド機器自体の故障によって発生したものではないケースも存在する。例えば、配管に取り付けられたバルブの位置よりも上流側の位置に取り付けられた上流側機器に対するオペレータの操作ミス、人為的な過失がフィールド機器の不具合を引き起こす要因となることも考えられる。

【0008】

このように、フィールド機器の不具合の要因を特定することは容易ではない。しかし、一般的には、フィールド機器を製造したメーカーと、それらのフィールド機器を利用するユーザとは異なる企業であるため、不具合の要因が曖昧となると、責任者を特定できず、フィールド機器の不具合からメーカーとユーザとの間のビジネストラブルに発展するおそれもある。

【0009】

そこで、本発明は、フィールド機器の不具合の要因を特定する作業を支援する不具合要因特定支援装置および不具合要因特定支援方法を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0010】

この目的を達成するために、本発明にかかる不具合要因特定支援装置は、フィールドに設置されたフィールド機器（Ｖ１）に不具合が発生した不具合発生時点に関する情報を取得する不具合時点情報取得部（２１）と、前記フィールド内で発生したイベントのうち、前記不具合発生時点よりも前の所定の時間範囲内で発生したイベントおよび前記イベントの発生したイベント発生時点に関するイベント情報を取得するイベント情報取得部（２２）と、前記イベント情報取得部（２２）が取得したイベント情報を不具合要因候補として出力する不具合要因候補出力部（２３、２８）とを備えるようにする。

【0011】

本発明において、前記不具合要因候補出力部（２３）は、前記イベント情報取得部（２２）が複数の前記イベント情報を取得した場合、前記不具合発生時点と前記イベント発生時点との時間的な近さに基づいて前記不具合要因候補の優先順位を決定する優先順位決定部（２４）と、前記優先順位を表す情報を付加した前記不具合要因候補を出力する出力部（３０）とを更に備えるようにする。

【0012】

本発明において、前記不具合が発生した前記フィールド機器（Ｖ１）の位置を示す不具合機器位置情報を取得する不具合機器位置情報取得部（２６）と、前記イベントが発生した位置を示すイベント発生位置情報を取得するイベント発生位置情報取得部（２７）とを更に備え、前記候補順位決定部（２９）は、前記不具合発生時点と前記イベント発生時点との時間的な近さ、および、前記不具合が発生した前記フィールド機器の位置と前記イベント発生位置との位置的な近さに応じて、前記不具合要因候補の優先順位を決定するようにする。

【0013】

本発明において、前記候補順位決定部（２９）は、前記時間的な近さ、および、前記位置的な近さに対して重み付けすることにより前記イベント毎の評価値を算出し、前記評価値に基づいて前記不具合要因候補の優先順位を決定するようにしてもよい。

【0014】

本発明において、前記候補順位決定部（２９）は、前記時間的な近さを予め規定された正規化指標に基づいて定量化する第１定量化部（２９ａａ）、前記位置的な近さを予め規定された正規化指標に基づいて定量化する第２定量化部（２９ａｂ）と、前記時間的な近さの定量化値と前記位置的な近さの定量化値を加算することにより前記イベント毎の評価値を算出する評価値算出部（２９ｂ）とを備えるようにしてもよい。

【0015】

本発明において、前記フィールド機器（Ｖ１）は、流体の流れる流路系の何れかの位置に設置され、前記イベントは、前記流路系における前記フィールド機器（Ｖ１）とは異なる任意の位置で発生し、前記不具合機器位置は、前記流路系の任意の起点からの距離により規定され、前記イベント発生位置は、前記任意の起点からの距離により規定されるようにしてもよい。

【0016】

本発明において、前記フィールド機器（３０１）は、温度を制御する温度制御系（３００ａ）の何れかの位置に設置され、前記イベントは、前記温度制御系の近傍に存在する他の温度制御系（３００ｂ〜３００ｄ）の何れかの位置で発生し、前記不具合機器位置は、前記温度制御系（３００ａ）における任意の基準位置からの距離により規定され、前記イベント発生位置は、前記温度制御系（３００ａ）の前記基準位置から前記他の温度制御系（３００ｂ〜３００ｄ）までの空間的な距離により規定されるようにしてもよい。

【0017】

本発明にかかる不具合要因特定支援方法は、フィールドに設置されたフィールド機器（Ｖ１）に不具合が発生した不具合発生時点に関する情報を不具合時点情報取得部（２１）により取得する不具合時点情報取得ステップと、前記フィールド内で発生したイベントのうち、前記不具合発生時点よりも前の所定の時間範囲内で発生したイベントおよび前記イベントの発生したイベント発生時点に関するイベント情報をイベント情報取得部（２２）により取得するイベント情報取得ステップと、前記イベント情報取得ステップにおいて取得したイベント情報を不具合要因候補として不具合要因候補出力部（２３、２８）により出力する候補出力ステップとを有するようにする。

【発明の効果】

【0018】

本発明によれば、不具合発生時点よりも前の所定の時間範囲内で発生したイベントおよびイベントの発生したイベント発生時点に関するイベント情報を不具合要因候補として提供することにより、フィールド機器（５０）の不具合要因となったイベントを効率良く特定する支援を行うことができる。

【0019】

本発明によれば、複数のイベント情報を取得した場合、不具合発生時点とイベント発生時点との時間的な近さに基づいて不具合要因候補の優先順位を決定するので、効率的に不具合要因を特定する支援を行うことが可能となる。

【0020】

本発明によれば、不具合発生時点とイベント発生時点との時間的な近さに加えて、不具合機器位置とイベント発生位置との位置的な近さを考慮して不具合要因候補の優先順位を決定するので、効率的かつ高精度に不具合要因を特定する支援を行うことが可能となる。

【0021】

本発明によれば、候補順位決定部（２９）は、時間的な近さを表す値、および、位置的な近さを表す値に対してそれぞれ重み付けしたイベント毎の評価値を算出し、この評価値に基づいて不具合要因候補の優先順位を決定するので、時間的な近さを重要視して不具合要因候補の優先順位を決定したり、位置的な近さを重要視して不具合要因候補の優先順位を決定することが可能となる。

【0022】

本発明によれば、候補順位決定部（２９）は、第１定量化部（２９ａａ）により時間的な近さを表す値を定量化し、第２定量化部（２９ａｂ）により位置的な近さを表す値を定量化し、時間的な近さの定量化値と位置的な近さの定量化値を加算することによりイベント毎の評価値を算出するので、時間、位置という概念の異なるパラメータであっても定量化した値から求めた評価値に基づいて不具合要因候補の優先順位を決定することが可能となる。

【0023】

本発明によれば、不具合機器位置は、流路系における任意の起点からの距離により規定され、イベント発生位置は、任意の起点からの距離により規定されるため、一つの流路系の中での不具合機器位置とイベント発生位置との位置的な近さを考慮し、機器の不具合要因と関連性の高いイベントのイベント情報を不具合要因候補として提供することが可能となる。

【0024】

本発明によれば、不具合機器位置は、温度制御系（３００ａ）における任意の基準位置からの距離により規定され、イベント発生位置は、温度制御系（３００ａ）の基準位置から他の温度制御系（３００ｂ〜３００ｄ）までの空間的な距離により規定されるため、温度制御系（３００ａ）の他の温度制御系（３００ｂ〜３００ｄ）との間に系としての連続性が無い場合でも、不具合機器位置とイベント発生位置との空間的な位置の近さを考慮し、機器の不具合要因と関連性の高いイベントのイベント情報を不具合要因候補として出力することができる。

【図面の簡単な説明】

【0025】

【図1】図１は、第１の実施の形態における不具合要因特定支援システムの構成を示すブロック図である。

【図2】図２は、第１の実施の形態におけるバルブの全体構成を示す全体外観図である。

【図3】図３は、第１の実施の形態における監視装置の構成を示すブロック図である。

【図4】図４は、第１の実施の形態におけるバルブの開度変化を示すグラフである。

【図5】図５は、第１の実施の形態におけるバルブの開度分布を示すヒストグラムである。

【図6】図６は、第１の実施の形態における不具合要因候補の提示例を示す図である。

【図7】図７は、第２の実施の形態における不具合要因特定支援システムの構成を示すブロック図である。

【図8】図８は、第２の実施の形態における監視装置の構成を示すブロック図である。

【図9】図９は、第２の実施の形態における不具合要因候補の提示例を示す図である。

【図10】図１０は、第３の実施の形態における不具合要因特定支援システムの対象とする温度制御系の構成を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0026】

＜実施の形態＞
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。

【0027】

＜第１の実施の形態＞
＜不具合要因特定支援システムの構成＞
図１に示すように、本発明の第１の実施の形態にかかる不具合要因特定支援システム１００は、監視装置１０、不具合要因特定支援装置２０および表示装置３１を備えており、流路系に設けられたフィールド機器に対して生じた不具合の要因を特定する支援を行うものである。ここで、流路系とは、流体の流れる配管、その配管に設置されるバルブＶ１〜Ｖ３、センサＳ１〜Ｓ３等のフィールド機器を含む系のことである。この流路系は、コントローラ１２、１３とネットワークＮＷを介して監視装置１０によって監視されている。

【0028】

この場合のフィールド機器は、例えばバルブＶ１〜Ｖ３およびセンサＳ１〜Ｓ３であり、バルブＶ１〜Ｖ３およびセンサＳ１〜Ｓ３はそれぞれ同一構造を有している。また、第１の実施の形態においては、バルブＶ１に不具合が発生したものとして以下説明する。

【0029】

バルブＶ１は、図２に示すように、バルブ本体５１の上流側流路５１ａから下流側流路５１ｂに流れる流体の流量を弁座５１ｃに対する弁体５２の鉛直上下方向の位置に応じたバルブ開度に応じて制御するものである。また、バルブＶ１は、検出レバー５３を介して検出した弁体５２の鉛直上下方向の位置をポジショナ５４により検出し、それをバルブ開度情報として出力する。

【0030】

＜監視装置の構成＞
図３に示すように、監視装置１０は、機器監視部１０ａ、不具合検出部１０ｂ、不具合記録部１０ｃ、不具合通知部１０ｄ、および、イベント記録部１０ｅを備えている。

【0031】

機器監視部１０ａは、コントローラ１２からバルブＶ１〜Ｖ３に対するバルブ開度量を表す指令、および、バルブＶ１〜Ｖ３のポジショナ５４からの実際のバルブ開度量を表すバルブ開度情報を監視するものである。

【0032】

不具合検出部１０ｂは、機器監視部１０ａにおいて監視しているバルブ開度量の指令およびバルブ開度情報に基づいてバルブＶ１の不具合を検出するものである。具体的には、不具合検出部１０ｂは、コントローラ１２からのバルブ開度量の指令に対して実際のバルブＶ１のバルブ開度量が一致しておらず、大きな差異がある場合にバルブＶ１に不具合があると検出する。バルブＶ１の不具合とは、バルブ開度異常等の動作不良や、バルブ破損等の故障のようなバルブＶ１が正常に動作できない状態にあることをいう。

【0033】

図４は、コントローラ１２からのバルブＶ１に対するバルブ開度量の指令と、その指令に応じて実際にバルブＶ１が動作したときのバルブ開度情報とのずれを表したグラフである。

【0034】

コントローラ１２からバルブＶ１に対するバルブ開度量の指令が与えられているとき、不具合検出部１０ｂは、その指令のバルブ開度量とバルブＶ１の実際のバルブ開度量との差分Δを求める。そして不具合検出部１０ｂは、差分Δが所定の閾値ｔｈを超えている場合、バルブＶ１に突発的なバルブ開度異常が発生していると判断する。

【0035】

図５は、バルブＶ１の時系列（日時）に沿ったバルブ開度分布を示すヒストグラムであり、バルブＶ１に対するバルブ開度量の指令に対して規定時間（例えば２４時間）内に実測されるバルブ開度別頻度の分布を１時間毎に示したものである。すなわち、バルブＶ１が理想的に正常な動作状態であれば、バルブ開度量の指令と一致するバルブ開度量（この場合、５０％〜６０％）の範囲内のみにバルブ開度分布が集中する。

【0036】

ここで、バルブＶ１のバルブ開度異常が突発的（急激）に発生するということは、コントローラ１２から指令されたバルブ開度量（５０％〜６０％）のみにバルブ開度分布が集中している状態から、その指令から乖離したバルブ開度量が頻繁に実測される状態へと急激に移行することである。

【0037】

２月１８日７時の時点では、バルブ開度量（５０％〜６０％）の領域に９割程度分布しているが、バルブ開度量（４０％〜５０％）の領域にも１割程度分布しているように、コントローラ１２からの指令とは乖離したバルブＶ１のバルブ開度量が実測されている。したがって、不具合検出部１０ｂは、バルブＶ１に「バルブ開度異常」という突発的な不具合が発生している時点が「２月１８日７時」であると判断する。

【0038】

不具合検出部１０ｂは、「バルブ開度異常」という不具合の具体的内容を示す情報（以下、これを「不具合内容情報」と呼ぶ。）と、「２月１８日７時」という不具合が発生した時点の不具合発生日時を示す情報（以下、これを「不具合時点情報」と呼ぶ。）とを含む不具合情報を生成する。

【0039】

不具合記録部１０ｃは、不具合検出１０ｂにより生成されたバルブＶ１の不具合情報（不具合内容情報および不具合時点情報）をデータベース１１に記録する。この場合、不具合記録部１０ｃは、不具合時点情報で示される日時（２月１８日７時）と不具合内容情報とを対応付けたテーブルの状態でデータベース１１に記録する。

【0040】

不具合通知部１０ｄは、不具合検出部１０ｂによりバルブＶ１に突発的な不具合が発生していることが検出されると、そのことを意味する不具合検出信号を不具合要因特定支援装置２０へ通知するものである。

【0041】

イベント記録部１０ｅは、フィールド内の流路系においてオペレータにより何らかのイベントが行われた場合の当該イベントの内容を表す情報（以下、これを「イベント情報」と呼ぶ。）をデータベース１１に記録するものである。ここで、イベントとは、不具合発生対象であるバルブＶ１以外の他のフィールド機器に対するオペレータのメンテナンス作業、部品交換や修理等のオペレータによる何らかの作業や、コントローラ１２、１３により他のフィールド機器を動作させたときの事象のことである。

【0042】

このイベント情報には、オペレータによるメンテナンス作業や修理等のイベントの具体的内容を示す情報（以下、これを「イベント内容情報」と呼ぶ。）、および、イベントが発生した時点のイベント発生日時を示す情報（以下、これを「イベント時点情報」と呼ぶ。）が含まれている。

【0043】

イベント記録部１０ｅは、イベントを実行したオペレータにより入力されたイベント情報のイベント内容情報とイベント時点情報とを互いに対応付けたテーブルの状態でデータベース１１に記憶する。なお、このイベント記録部１０ｅによるイベント情報の記録は、不具合情報のデータベース１１に対する記録とは別個独立して行われる。

【0044】

このような監視装置１０は、ＣＰＵ(Central Processing Unit)、メモリ、インタフェース等からなるコンピュータ（ハードウェア）にコンピュータプログラム（ソフトウェア）をインストールすることによって各部の機能が実現される。すなわち、監視装置１０における機器監視部１０ａ、不具合検出部１０ｂ、不具合記録部１０ｃ、不具合通知部１０ｄ、および、イベント記録部１０ｅの機能は、コンピュータの各種ハードウェア資源とコンピュータプログラムとが協働することによって実現される。

【0045】

＜不具合要因特定支援装置の構成＞
不具合要因特定支援装置２０は、不具合情報取得部２１、イベント情報取得部２２、および不具合要因候補出力部２３を備えている。不具合要因候補出力部２３は、時点照合部２４および出力部３０を備えている。

【0046】

不具合情報取得部２１は、監視装置１０からバルブＶ１の不具合情報を取得するものである。具体的には、不具合情報取得部２１は、監視装置１０の不具合通知部１０ｄからバルブＶ１の不具合検出信号が通知された場合、その監視装置１０に対してその不具合検出信号に対応した不具合情報を要求する。

【0047】

不具合情報取得部２１は、監視装置１０の不具合記録部１０ｃを介してデータベース１１から読み出された不具合情報を取得すると、この不具合情報を時点照合部２４へ出力するとともに、不具合情報のうち不具合時点情報をイベント情報取得部２２へ出力する。

【0048】

イベント情報取得部２２は、監視装置１０からイベント情報を取得するものである。具体的には、イベント情報取得部２２は、不具合情報取得部２１から受け取った不具合時点情報が示す不具合発生日時から過去４８時間前まで遡った時間範囲内のイベント情報を監視装置１０に要求する。

【0049】

ここで、不具合発生日時から過去４８時間前まで遡った時間範囲とは、バルブ開度分布（図５）を集計する際の規定時間（２４時間）の２倍に相当する時間範囲であるが、４８時間に限らず任意の時間範囲に設定することが可能である。

【0050】

イベント情報取得部２２は、監視装置１０のイベント記録部１０ｅを介してデータベース１１から読み出された複数のイベント情報を取得すると、このイベント情報を時点照合部２４へ出力する。

【0051】

時点照合部２４は、不具合情報取得部２１から受け取った不具合情報に含まれる不具合時点情報（不具合発生日時）と、イベント情報取得部２２から受け取った２つのイベント情報に含まれるイベント時点情報（イベント発生日時）とをそれぞれ照合し、不具合発生日時とイベント発生日時との日時を比較するものである。具体的には、時点照合部２４は、不具合発生日時とイベント発生日時とを比較し、両者の時間的な近さを、不具合要因候補を決定する際の判断材料とする。

【0052】

ここで、時点照合部２４は、過去４８時間前まで遡った時間範囲の中に１０個のイベント情報が存在している場合でも、不具合発生日時とイベント発生日時との時間的な近さが例えば２０時間以内、すなわち不具合発生日時から例えば過去２０時間前までの時間範囲内に２つのイベント情報が存在するときは、その２つのイベント情報を候補とする。ただし、時点照合部２４は、過去４８時間前まで遡った時間範囲の中に１０個のイベント情報が存在する場合に、その全部をイベント情報の候補としても良い。

【0053】

時点照合部２４は、不具合発生日時から過去２０時間前までの時間範囲内に存在する２つのイベント情報のうち、不具合発生日時と時間的に最も近いイベント発生日時の第１イベント情報を第１不具合要因候補として決定し、不具合発生日時と時間的に次に近い第２イベント情報を第２不具合要因候補として決定する。その後、時点照合部２４は、不具合情報および第１、第２イベント情報に基づいて不具合要因候補の一覧画像データを生成し、これを出力部３０へ供給する。

【0054】

出力部３０は、時点照合部２４から供給された不具合要因候補の一覧画像データを外部の表示装置３１へ出力するものである。

【0055】

この不具合要因特定支援装置２０についても、ＣＰＵ、メモリ、インタフェース等からなるコンピュータ（ハードウェア）にコンピュータプログラム（ソフトウェア）をインストールすることによって実現され、当該不具合要因特定支援装置２０の各部の機能は、コンピュータの各種ハードウェア資源とコンピュータプログラムとが協働することによって実現される。

【0056】

＜表示装置の構成＞
表示装置３１は、ＬＣＤ(Liquid Crystal Display)等からなるモニタやパーソナルコンピュータであり、出力部３０から出力された不具合要因候補の一覧画像データを受信し、その一覧画像データに対応した不具合要因候補一覧画面を表示して提供するものである。

【0057】

＜不具合要因特定支援装置の動作＞
不具合要因特定支援装置２０の不具合情報取得部２１は、監視装置１０の不具合通知部１０ｄからバルブＶ１の不具合検出信号が通知されると、その監視装置１０から不具合情報を取得して、不具合情報に含まれている不具合時点情報をイベント情報取得部２２へ出力するとともに、不具合情報を不具合要因特定支援部２３の時点照合部２４へ出力する。

【0058】

イベント情報取得部２２は、不具合情報取得部２１から不具合時点情報を受け取ると、この不具合時点情報が示すバルブＶ１の不具合発生日時である２０１５年２月１８日７時から過去４８時間前まで遡った時間範囲内に記憶された１０個のイベント情報を監視装置１０のイベント記録部１０ｅから取得する。そして、イベント情報取得部２２は、１０個のイベント情報のうち、過去２０時間の範囲内に存在する２つのイベント情報を候補として抽出する。

【0059】

例えば、イベント情報取得部２２は、バルブＶ１の不具合発生日時の約１０時間前に実施されていた第１イベント情報と、バルブＶ１の不具合発生日時の約１６時間前に実施されていた第２イベント情報とを候補とする。

【0060】

ここで、第１イベント情報は、不具合発生日時の約１０時間前である２０１５年２月１７日２１時に、バルブＶ１が取り付けられている配管の上流側に設置されている配管部品Ａの一部を交換するというメンテナンス作業が実施されたという第１イベントに関するイベント情報である。

【0061】

また、第２イベント情報は、不具合発生日時の約１６時間前である２０１５年２月１７日１５時に、上述の配管部品Ａよりも更に配管の上流側に設置されているバルブ開度固定式のマニュアルバルブＢの点検作業が実施されたという第２イベントに関するイベント情報である。

【0062】

時点照合部２４は、不具合情報取得部２１から受け取ったバルブＶ１の不具合情報に含まれる不具合時点情報（不具合発生日時）とイベント情報取得部２２から受け取った第１イベント情報に含まれる第１イベント時点情報（不具合発生日時の約１０時間前のイベント発生日時）とを比較する。さらに時点照合部２４は、不具合時点情報（不具合発生日時）と第２イベント情報に含まれる第２イベント時点情報（不具合発生日時の約１６時間前のイベント発生日時）とを比較する。

【0063】

その結果、時点照合部２４は、時間的な近さに基づいて不具合要因候補の優先順位を決定し、バルブＶ１の不具合発生日時と時間的により近い方の第１イベントを第１不具合要因候補とするとともに、次に不具合発生日時と時間的に近い第２イベントを第２不具合要因候補とする。

【0064】

時点照合部２４は、その優先順位の順番を表す情報を付加した第１イベント情報、第２イベント情報を第１不具合要因候補、第２不具合要因候補の順番に並べた不具合要因候補の一覧画像データを生成し、これを出力部３０へ供給する。

【0065】

出力部３０は、不具合要因候補の一覧画像データを表示装置３１に出力し、その表示装置３１において、図６に示すように、一覧画像データに対応する不具合要因候補一覧画面Ｇ１（以下、これを「候補一覧画面」と呼ぶ。）を表示させる。

【0066】

この候補一覧画面Ｇ１には、「不具合」が発生した対象となるフィールド機器が「バルブ」であり、その不具合内容が「開度分布異常」であり、その不具合発生日時が「２０１５年２月１８日７時」であることが提示されている。

【0067】

また、候補一覧画面Ｇ１には、第１不具合要因候補として決定された第１イベントの「イベント」の内容が「（１）配管部品Ａ交換」であり、そのイベント発生日時が「２０１５年２月１７日２１時」であることが提示されている。同様に、候補一覧画面Ｇ１には、第２不具合要因候補として決定された第２イベントの「イベント」の内容が「（２）マニュアルバルブＢ点検」であり、そのイベント発生日時が「２０１５年２月１７日１５時」であることが提示されている。

【0068】

したがって、候補一覧画面Ｇ１を確認したオペレータは、バルブＶ１の不具合要因となる可能性の高い第１不具合要因候補が「（１）配管部品Ａ交換」の第１イベントであり、第２不具合要因候補が「（２）マニュアルバルブＢ点検」の第２イベントであると認識することができる。

【0069】

オペレータは、第１不具合要因候補である「（１）配管部品Ａ交換」の第１イベントがバルブＶ１の不具合要因であるか否かを確認するため、配管部品Ａを実際に調べることができる。この結果、例えば、配管部品Ａの再取付時の取付精度が低く、これによりバルブＶ１付近の流体の流れに乱流および偏流が発生していたことがバルブＶ１の開度分布異常の不具合要因であると判明することがある。このような場合、バルブＶ１の不具合要因の特定作業の効率性を格段に改善できたことになる。

【0070】

ただし、配管部品Ａを実際に調べた結果、その「配管部品Ａ交換」という第１イベントがバルブＶ１の不具合要因ではないと判明した場合でも、不具合要因特定支援装置２０は不具合要因を自動的に検出するためのものではなく、あくまで不具合要因の候補を提供するものであるから、不具合要因の特定作業を支援していることに変わりはない。

【0071】

このように不具合要因特定支援装置２０は、不具合が発生したバルブＶ１と、その周辺に存在する配管部品ＡやマニュアルバルブＢ等の周辺機器との物理的な因果関係が不明瞭な場合であっても、バルブＶ１の不具合発生日時と、配管部品Ａのイベント発生日時およびマニュアルバルブＢのイベント発生日時とを照合すれば、発生日時間の時間的な近さを基準とした優先順位に基づく不具合要因候補を提供することができる。

【0072】

また、不具合要因特定支援装置２０は、不具合発生日時とイベント発生日時との時間的な近さだけで不具合要因候補を抽出して提供することにより、バルブＶ１と直接的な因果関係を有さないためにオペレータが想像し得ないようなバルブＶ１の不具合要因であっても効率的に特定するよう支援することができる。

【0073】

＜第２の実施の形態＞
＜不具合要因特定支援システムの構成＞
図７に示すように、第２の実施の形態にかかる不具合要因特定支援システム２００は、監視装置２１０、不具合要因特定支援装置２２０および表示装置３１によって構成されている。なお、第２の実施の形態において、図１に示された不具合要因特定支援システム１００と同一の構成要素である不具合情報取得部２１、イベント情報取得部２２、出力部３０および表示装置３１には同一の符号を用い、その詳細な説明は省略する。

【0074】

＜監視装置の構成＞
図８に示すように、監視装置２１０は、第１の実施の形態における監視装置１０の機器監視部１０ａ、不具合検出部１０ｂ、不具合通知部１０ｄに加えて、不具合機器位置記録部２１０ａ、不具合記録部２１０ｃ、および、イベント記録部２１０ｅを備えている。なお、監視装置１０の各部と同一の構成要素については同一の符号を用い、その詳細な説明は省略する。

【0075】

不具合機器位置記録部２１０ａは、突発的な不具合が発生したバルブＶ１の位置情報（以下、これを「不具合機器位置情報」と呼ぶ。）を、上述したバルブＶ１の不具合情報（不具合内容情報、不具合時点情報）に対応付けてデータベース１１に予め記録するものである。不具合機器位置情報とは、バルブＶ１の配管上の設置位置を表した計装位置情報である。

【0076】

バルブＶ１の不具合機器位置情報は、例えば、液体αが流れる流路系の配管の最上流側に設けられたタンクの位置を上流側の起点とし、そこから配管の下流側へ向かって４５ｍ進んだ位置にバルブＶ１が設置されている場合、距離「４５ｍ」という情報になる。

【0077】

イベント記録部２１０ｅは、上述したイベント情報（イベント内容情報およびイベント時点情報）に加えて、そのイベントの発生位置（イベントが発生した他のフィールド機器の配管上の設置位置）を示す情報（以下、これを「イベント発生位置情報」と呼ぶ。）をデータベース１１に記録するものである。このイベント発生位置情報についても、イベントを行ったオペレータにより入力される。

【0078】

イベント発生位置情報は、例えば、液体αの流路系の配管の最上流側に設けられたタンクの位置を上流側の起点とし、そこから配管の下流側に向かって４３ｍ進んだ位置に配管部品Ａが設置されている場合、距離「４３ｍ」という情報になる。

【0079】

＜不具合要因特定支援装置の構成＞
この不具合要因特定支援装置２２０は、不具合情報取得部２１、イベント情報取得部２２、不具合機器位置情報取得部２６、イベント発生位置情報取得部２７、および、不具合要因候補出力部２８を備えている。不具合要因候補出力部２８は、時点位置照合部２９および出力部３０を備えている。なお、不具合要因特定支援装置２０の各部と同一の構成要素については同一の符号を用い、ここでは、その詳細な説明は省略する。

【0080】

不具合情報取得部２１およびイベント情報取得部２２は、第１の実施の形態と同様に、監視装置１０から取得したバルブＶ１の不具合情報や、複数のイベント情報を不具合要因候補出力部２８の時点位置照合部２９へ出力する。

【0081】

不具合機器位置情報取得部２６は、突発的な不具合が発生したバルブＶ１の不具合機器位置情報を監視装置１０から取得するものである。イベント発生位置情報取得部２７は、イベント情報取得部２２により取得されたイベント情報に対応したイベント発生位置情報を監視装置１０から取得するものである。

【0082】

時点位置照合部２９は、第１定量化部２９ａａ、第２定量化部２９ａｂ、評価値算出部２９ｂ、および、優先順位決定部２９Ｃを備えている。

【0083】

第１定量化部２９ａａは、バルブＶ１の不具合発生日時とイベント発生日時との時間的な近さを予め規定された正規化指標に基づいて定量化するものである。第２定量化部２９ａｂは、バルブＶ１の不具合機器位置とイベント発生位置との位置的な近さを、予め規定された正規化指標に基づいて定量化するものである。

【0084】

評価値算出部２９ｂは、第１定量化部２９ａａにより時間的な近さを定量化した定量化値と、第２定量化部２９ａｂにより位置的な近さを定量化した定量化値とを、所定の重み係数で重み付けして加算することにより、イベント毎の評価値を算出するものである。

【0085】

優先順位決定部２９ｃは、評価値算出部２９ｂにより算出されたイベント毎の評価値に基づいて不具合要因の候補とするイベント情報の優先順位を決定するものであり、その優先順位が示された不具合要因候補の一覧画像データを生成し、これを出力部３０へ出力する。出力部３０はこの一覧画像データを表示装置３１へ出力する。

【0086】

＜不具合要因特定支援装置の動作＞
不具合要因特定支援装置２２０の不具合情報取得部２１は、監視装置１０からの不具合検出信号の通知を受けると、監視装置１０から不具合情報を取得し、その不具合情報に含まれている不具合時点情報をイベント情報取得部２２へ出力するとともに、不具合情報を不具合要因候補出力部２８の時点位置照合部２９へ出力する。

【0087】

イベント情報取得部２２は、不具合情報取得部２１から不具合時点情報を受け取ると、その不具合時点情報が示す２０１５年２月１８日７時から過去４８時間前まで遡った時間範囲内に記憶された例えば２つのイベント情報を監視装置１０から取得するものとする。

【0088】

例えば、イベント情報取得部２２は、バルブＶ１の不具合発生日時の約１６時間前に実施されていた第１イベント（配管部品Ａ交換）に対応する第１イベント情報と、バルブＶ１の不具合発生日時の約１０時間前に実施されていた第２イベント（マニュアルバルブＢ点検）に対応する第２イベント情報とを取得する。

【0089】

なお、第１の実施の形態では、第１イベントが不具合発生日時の約１０時間前、第２イベントが不具合発生日時の約１６時間前に実施されていた。しかしながら、第２の実施の形態では、上述した通り、第１イベントが不具合発生日時の約１６時間前、第２イベントが不具合発生日時の約１０時間前に実施されている場合を一例として以下説明する。ただし、第１イベント情報および第２イベント情報のイベント内容については、第１の実施の形態と同じである。

【0090】

不具合機器位置情報取得部２６は、バルブＶ１の不具合検出信号の通知に応じて、監視装置１０に不具合機器位置情報を要求し、その監視装置１０の不具合記録部２１０ｃを介してバルブＶ１の不具合機器位置情報を取得すると、この不具合機器位置情報を時点位置照合部２９へ出力する。

【0091】

イベント発生位置情報取得部２７は、イベント情報取得部２２が取得した第１イベント情報および第２イベント情報に対応するイベント発生位置情報を監視装置１０に要求する。そしてイベント発生位置情報取得部２７は、監視装置１０のイベント記録部２１０ｂを介して第１イベント情報および第２イベント情報にそれぞれ対応した第１イベント発生位置情報および第２イベント発生位置情報を取得すると、これらを時点位置照合部２９へ出力する。

【0092】

具体的には、イベント発生位置情報取得部２７は、液体αの流路系の配管の最上流側に設けられたタンクの位置を上流側の起点とし、そこから配管の下流側に向かって４３ｍ進んだ位置に配管部品Ａが設置されていることを示す第１イベント発生位置情報（距離「４３ｍ」）を取得する。

【0093】

また、イベント発生位置情報取得部２７は、液体αの流路系の配管の最上流側に設けられたタンクの位置を上流側の起点とし、そこから配管の下流側に向かって２０ｍ進んだ位置にマニュアルバルブＢが設置されていることを示す第２イベント発生位置情報（距離「２０ｍ」）を取得する。

【0094】

この場合、バルブＶ１が取り付けられている位置よりも２ｍ（４５ｍ−４３ｍ）だけ上流側の位置に配管部品Ａが設置されているとともに、バルブＶ１の位置よりも２５ｍ（４５ｍ−２０ｍ）だけ上流側の位置にマニュアルバルブＢが設置されていることになる。

【0095】

時点位置照合部２９の第１定量化部２９ａａは、バルブＶ１の不具合発生日時と第１イベント（配管部品Ａ交換）の第１イベント発生日時との時間的な間隔を示す時点間隔Ｐｔ１を、予め規定された正規化指標（この場合、４８時間）を用いて、次の（式１）のように定量化する。
Ｐｔ１＝（４８ｈ−１６ｈ）／４８ｈ=０．６６７…………………………………（式１）

【0096】

また、第１定量化部２９ａａは、バルブＶ１の不具合発生日時と第２イベント（マニュアルバルブＢ点検）の第２イベント発生日時との時間的な間隔を示す時点間隔Ｐｔ２を、予め規定された正規化指標（この場合、４８時間）を用いて、次の（式２）のように定量化する。なお、正規化指標は、バルブ開度分布（図４）を集計する際の規定時間（２４時間）の２倍に相当する時間とした。
Ｐｔ２＝（４８ｈ−１０ｈ）／４８ｈ=０．７９２…………………………………（式２）

【0097】

この（式１）、（式２）によれば、時点間隔Ｐｔ１よりも時点間隔Ｐｔ２の値の方が大きいため、バルブＶ１の不具合発生日時に対して、第１イベント（配管部品Ａ交換）の第１イベント発生日時よりも、第２イベント（マニュアルバルブＢ点検）の第２イベント発生日時の方が時間的に近いことが分かる。

【0098】

続いて、時点位置照合部２９の第２定量化部２９ａｂは、バルブＶ１の不具合機器位置（４５ｍ）と第１イベント（配管部品Ａ交換）の第１イベント発生位置（４３ｍ）との位置的な間隔を示す位置間隔Ｐｄ１を、予め規定された正規化指標（この場合、３０ｍ）を用いて、次の（式３）のように定量化する。
Ｐｄ１＝（３０ｍ−（４５ｍ−４３ｍ））／３０ｍ=０．９３３…………………（式３）

【0099】

また、第２定量化部２９ａｂは、バルブＶ１の不具合機器位置と第２イベント（マニュアルバルブＢ点検）の第２イベント発生位置（２０ｍ）との位置的な間隔を示す位置間隔Ｐｄ２を、予め規定された正規化指標（この場合、３０ｍ）を用いて、次の（式４）のように定量化する。
Ｐｄ２＝（３０ｍ−（４５ｍ−２０ｍ））／３０ｍ=０．１６７…………………（式４）

【0100】

なお、この場合、正規化指標を距離３０ｍと設定したが、（式３）、（式４）の分子の値が負にならない範囲で任意の距離を設定することができる。ただし、バルブＶ１の不具合機器位置とイベント発生位置との距離が３０ｍよりも離れている場合、すなわち（式３）、（式４）の分子の値が負になる場合には位置間隔Ｐｄ１、Ｐｄ２の値を下限値の「０．０」とする。

【0101】

この（式３）、（式４）によれば、位置間隔Ｐｄ２よりも位置間隔Ｐｄ１の値の方が大きいため、バルブＶ１の不具合機器位置に対して、第２イベント（マニュアルバルブＢ点検）の第２イベント発生位置よりも、第１イベント（配管部品Ａ交換）の第１イベント発生位置の方が位置的に近いことが分かる。

【0102】

時点位置照合部２９の評価値算出部２９ｂは、（式１）、（式２）により時間的な近さを定量化した定量化値と、（式３）、（式４）により位置的な近さを定量化した定量化値とを、次の（式５）、（式６）に示すように、それぞれ所定の重み係数ｐ、ｑで重み付けして加算する。これにより評価値算出部２９ｂは、第１イベントの評価値Ｐ１、および、第２イベントの評価値Ｐ２をそれぞれ算出することができる。
Ｐ１＝ｐ・Ｐｔ１＋ｑ・Ｐｄ１…………………………………………………………（式５）
Ｐ２＝ｐ・Ｐｔ２＋ｑ・Ｐｄ２…………………………………………………………（式６）

【0103】

ここで、重み係数ｐ、ｑを例えばｐ＝１、ｑ＝１とすると、第１イベントの評価値Ｐ１、および、第２イベントの評価値Ｐ２は、次の（式７）、（式８）のようになる。
Ｐ１＝１×０．６６７＋１×０．９３３＝１．６００………………………………（式７）
Ｐ２＝１×０．７９２＋１×０．１６７＝０．９５９………………………………（式８）

【0104】

これにより、第２イベントの評価値Ｐ２よりも第１イベントの評価値Ｐ１の方が大きいことが分かる。なお、重み係数ｐ、ｑを単純にｐ＝１、ｑ＝１としたが、時間的な近さを重要視すれば重み係数ｐをｑよりも大きい値に設定し、位置的な近さを重要視すれば重み係数ｑをｐよりも大きい値に設定すればよい。この重み係数ｐ、ｑは任意に設定することができる。

【0105】

時点位置照合部２９の優先順位決定部２９ｃは、時間的な近さだけを考慮した場合には、時点間隔Ｐｔ１よりも時点間隔Ｐｔ２の値が大きいため、バルブＶ１の不具合発生日時に対して、第２イベント（マニュアルバルブＢ点検）の優先順位を高く決定することになる。しかしながら、優先順位決定部２９ｃは、時間的な近さに加えて位置の近さを考慮した評価値Ｐ１、Ｐ２を比較すれば、評価値Ｐ１が算出された第１イベント（配管部品Ａ交換）の優先順位の方を高く決定することができる。

【0106】

このように時点位置照合部２９は、不具合発生日時とイベント発生日時との時間的な近さ、および、不具合機器位置とイベント発生位置との位置的な近さの双方を定量化して加算した評価値Ｐ１、Ｐ２を算出し、その評価値Ｐ１、Ｐ２の大きい順番に不具合要因候補の優先順位を決定することができる。

【0107】

また、時点位置照合部２９は、バルブＶ１の不具合機器位置とイベント発生位置との位置的な近さは、同じ流路系として連続性がある配管上の不具合機器位置とイベント発生位置との二位置間距離Ｐｄ１、Ｐｄ２であるため、時点位置照合部２９はバルブＶ１の不具合要因と関連性の高いイベントのイベント情報を不具合要因候補として提供することができる。

【0108】

時点位置照合部２９の優先順位決定部２９ｃは、その決定した優先順位にしたがって第１イベント情報、第２イベント情報を並べた不具合要因候補の一覧画像データを生成し、これを出力部３０へ供給する。

【0109】

出力部３０は、不具合要因候補の一覧画像データを表示装置３１に出力し、その表示装置３１において、図９に示すように、一覧画像データに対応する不具合要因候補一覧画面Ｇ２（以下、これを「候補一覧画面」と呼ぶ。）を表示させる。

【0110】

この候補一覧画面Ｇ２には、「不具合」が発生した対象となる機器が「バルブ」であり、その不具合内容が「開度分布異常」であり、その不具合発生日時が「２０１５年２月１８日７時」であることが提示されている。

【0111】

また、候補一覧画面Ｇ２には、第１不具合要因候補として決定された「第１イベント」の内容が「（１）配管部品Ａ交換」であり、そのイベント発生日時が「２０１５年２月１７日１５時」であること、および、第２不具合要因候補として決定された「第２イベント」の内容が「（２）マニュアルバルブＢ点検」であり、そのイベント発生日時が「２０１５年２月１７日２１時」であることが提示されている。

【0112】

さらに、候補一覧画面Ｇ２には、第１不具合要因候補および第２不具合要因候補の優先順位を決定したことの根拠を示す評価値Ｐ１、Ｐ２の値（「１．６００」、「０．９５９」）が表示されている。

【0113】

したがって、候補一覧画面Ｇ２を確認したオペレータは、バルブＶ１の不具合が発生した不具合要因となる可能性の高い第１不具合要因候補が第１イベントの「（１）配管部品Ａ交換」であり、第２不具合要因候補が第２イベントの「（２）マニュアルバルブＢ点検」であると認識することができる。

【0114】

このように不具合要因特定支援装置２２０は、バルブＶ１とイベントとの時間的な近さに加えて、バルブＶ１とイベントとの位置的な近さを考慮して不具合要因候補の優先順位を決定するので、不具合要因候補のイベントが実際の不具合要因であると特定する際の精度を一段と上げ、効率的に不具合要因を特定する支援を行うことができる。

【0115】

＜第３の実施の形態＞
図１０は、第３の実施の形態において、第２の実施の形態における不具合要因特定支援システム２００を適用する温度制御系３００の全体構成を示す図である。この場合、温度制御系３００を構成するフィールド機器の一要素である例えばヒータ３０１を不具合要因特定支援システム２００の不具合発生対象として以下説明する。

【0116】

この温度制御系３００は、箱型形状を有するチャンバ３１０、チャンバ３１０の内部空間に、その水平方向に僅かな間隔を開けて重なることなく配置されたヒータ３０１〜３０４、そのヒータ３０１〜３０４と鉛直方向に離間した状態でチャンバ３１０の内部空間に対向配置された板状部材からなる加熱対象物３０５、その加熱対象物３０５を載置する板状部材からなる載置台３０６、ヒータ３０１〜３０４と対向するように載置台３０６の下面に固定された温度センサ３３１〜３３４、チャンバ３１０の外側であってヒータ３０１〜３０４と電気的に接続された電力調整器３１１〜３１４、温度センサ３３１〜３３４の出力端子に接続され、電力調整器３１１〜３１４を制御する温度調節計（以下、これを「温調計」と呼ぶ。）３２１〜３２４を備えている。

【0117】

この場合、温調計３２１、電力調整器３１１、ヒータ３０１、加熱対象物３０５、載置台３０６および温度センサ３３１により温度を制御する温度制御系３００ａが構築されている。同様にして、温度制御系３００ｂ〜３００ｄが構築されている。すなわち温度制御系３００には、系として連続性のある４つの温度制御系３００ａ〜３００ｄが存在する。ただし、温度制御系３００ａ〜３００ｄ同士の間には系としての連続性や直接的な関連性は存在しない。

【0118】

不具合機器位置情報取得部２６は、ヒータ３０１に突発的な不具合が発生した場合、そのヒータ３０１の不具合機器位置情報を監視装置１０から取得し、時点位置照合部２９へ出力する。

【0119】

イベント発生位置情報取得部２７は、ヒータ３０１の温度制御系３００ａにおける他のフィールド機器（電力調整器３１１、温調計３２１、温度センサ３３１等）に対するイベントのイベント発生位置だけを取得対象とするのではなく、ヒータ３０１と空間的に近い距離範囲に存在している他の温度制御系３００ｂ〜３００ｄのヒータ３０２〜３０４に対するイベント発生位置についても取得対象とする。その理由は、系としての連続性や直接的な関連性は存在しないが、ヒータ３０１と空間的に近くに存在するヒータ３０２乃至３０４の熱伝達の影響を当該ヒータ３０１が受ける可能性が高いからである。

【0120】

例えば、ヒータ３０１の不具合発生日時から過去４８時間前まで遡った時間範囲内で、他の温度制御系３００ｂ、３００ｃのヒータ３０２、３０３に対してメンテナンスというイベントが実施されていた場合、イベント発生位置情報取得部２７はそのヒータ３０２、３０３のイベント発生位置情報を監視装置１０に要求して取得し、時点位置照合部２９へ出力する。

【0121】

なお、ヒータ３０１の不具合機器位置は、温度制御系３００ａにおいてヒータ３０１が設置されている取付位置であり、ヒータ３０２、３０３に対するイベントのイベント発生位置は、温度制御系３００ａにおけるヒータ３０１の取付位置を基準位置として、その基準位置から温度制御系３００ｂ、３００ｃにおけるヒータ３０２、３０３までの空間的な距離により規定される。

【0122】

したがって、イベント発生位置情報は、チャンバ３１０のヒータ３０１が設置されている取付位置を基準位置（０ｍ）とした場合、ヒータ３０１〜３０４が並べられている中のヒータ３０２の水平方向の取付位置が基準位置から例えば０．５ｍ、ヒータ３０３の水平方向の取付位置が基準位置から例えば２ｍの距離となる。したがって、この場合、ヒータ３０１にとってはヒータ３０２が空間的な位置として最も近いことが分かる。

【0123】

時点位置照合部２９は、ヒータ３０１の不具合発生時点と、ヒータ３０２、３０３のイベント発生時点との時間的な近さに加えて、ヒータ３０１の不具合機器位置とヒータ３０２、３０３のイベント発生位置との空間的な位置の近さを考慮して上述した評価値Ｐ１、Ｐ２を求めることにより、ヒータ３０２、３０３のイベントを不具合要因候補とする際の優先順位を決定することができる。

【0124】

したがって、温度制御系３００ａ、３００ｂ、３００ｃ同士の間に系としての連続性が無い場合でも、ヒータ３０１の不具合要因と関連性の高いヒータ３０２に対するイベントのイベント情報を有力な不具合要因候補として提供することができる。

【0125】

＜他の実施の形態＞
なお、上述した第１の実施の形態においては、不具合要因特定支援部２３の時点照合部２４により、不具合発生日時と時間的により近い方のイベント発生日時のイベント情報に高い優先順位を付した不具合要因候補として候補一覧画面Ｇ１により提供するようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、イベント情報取得部２２から受け取った複数のイベント情報に対して優先順位を付けることなく複数の不具合要因候補を単に一覧として並べた候補一覧画面により提供するようにてもよい。

【0126】

また、上述した第１の実施の形態においては、１時間毎に時間的な近さを判断するようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、１日毎や、１週間毎等のその他種々の時間間隔で時間的な近さを判断するようにしてもよい。

【0127】

さらに、上述した第２の実施の形態においては、バルブＶ１の不具合機器位置やイベント発生位置を流路系における上流側の起点からの距離により規定されるようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、下流側の起点からの距離により規定されるようにしてもよい。

【0128】

さらに、上述した第１および第２の実施の形態においては、バルブＶ１に不具合が発生したときに、バルブＶ１以外の他の機器に対するイベントを不具合要因候補とするようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、当該バルブＶ１自身に対するメンテナンス等のイベントについても不具合要因候補とするようにしても良い。この場合、バルブＶ１の不具合機器位置と当該バルブＶ１に対するイベント発生位置とは同じであるため、二位置間距離Ｐｄ１＝１．０とすれば良い。

【0129】

さらに、上述した第１乃至第３の実施の形態においては、流路系および温度制御系を適用対象とするようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、圧力制御系などの様々な系を適用対象として、その系のフィールド機器の不具合要因候補を提供するようにしてもよい。

【符号の説明】

【0130】

１０、２１０……監視装置、１０ａ……機器監視部、１０ｂ……不具合検出部、１０ｃ……不具合記録部、１０ｄ……不具合通知部、１０ｅ……イベント記録部、１１……データベース、２０、２２０……不具合要因特定支援装置、２１……不具合情報取得部、２２……イベント情報取得部、２３、２８……不具合要因候補出力部、２４……時点照合部（候補順位決定部）、３０……出力部、２６……不具合機器位置情報取得部、２７……イベント発生位置情報取得部、２９……時点位置照合部（候補順位決定部）、２９ａａ……第１定量化部、２９ａｂ……第２定量化部、２９ｂ……評価値算出部、２９ｃ……優先順位決定部、３１……表示装置、Ｖ１〜Ｖ３……バルブ、Ｓ１〜Ｓ３……センサ、５１……バルブ本体部、５２……弁体、５３……開度位置検出レバー、５４……ポジショナ、１００、２００……不具合要因特定支援システム、３００……温度制御系。

【図1】

【図3】

【図4】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図2】

【図5】

【図10】