特開2016-178317円盤状の物品を処理するための装置

発明の名称　円盤状の物品を処理するための装置

出願人　ラム・リサーチ・アーゲー　（識別番号 510141648）

　　　　特許公開件数ランキング 9160 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2304 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2016-178317

公報発行日　2016年10月6

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-178317

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