特開 2016-188843 電磁流量計及び集合ユニット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2016-188843(P2016-188843A)

(43)【公開日】2016年11月4日

(54)【発明の名称】電磁流量計及び集合ユニット

(51)【国際特許分類】

   G01F 1/58 20060101AFI20161007BHJP

   G01F 1/60 20060101ALI20161007BHJP

【ＦＩ】

   G01F1/58 B

   G01F1/60

【審査請求】未請求

【請求項の数】17

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2015-69890(P2015-69890)

(22)【出願日】2015年3月30日

(71)【出願人】

【識別番号】000106760

【氏名又は名称】ＣＫＤ株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】000116633

【氏名又は名称】愛知時計電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100105957

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100068755

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 博宣

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 仁也

(72)【発明者】

【氏名】生駒 裕一

(72)【発明者】

【氏名】国保 典男

(72)【発明者】

【氏名】森 和久

【テーマコード（参考）】

2F035

【Ｆターム（参考）】

2F035AA06

2F035BA06

2F035BD04

2F035BE08

2F035CB01

2F035CB10

(57)【要約】

【課題】電磁流量計を用いた集合ユニットを小型化できるようにすること。
【解決手段】縦長のケース２２内に縦長の連結管３８が設けられる。連結管３８の両側には連結管３８内を流れる冷却水の流速を電磁誘導よって生じる起電力検出する電極５１を設け、その電極５１から得られた起電力を流速信号として出力される。ケース２２には連結管３８の延長方向に沿って延びる軸線上に位置する固定ボルト７４を設け、この固定ボルト７４によって電磁流量計２１を流量調整バルブに取り付けるように構成した。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ケース内に管路を配置し、その管路内を流れる被測定流体の流速を表す流速信号を電磁誘導よって生じる起電力に基づいて出力する電磁流量計において、
前記ケースには前記管路の延長方向に沿って延びる軸線上に位置するボルトを設け、このボルトによって前記ケースを配管部材に取り付けるように構成した電磁流量計。

【請求項2】

ケース内に挿通管を設け、その挿通管内に前記ボルトを挿通させた請求項１に記載の電磁流量計。

【請求項3】

前記管路を縦長の断面形状に形成し、その長辺側の一対の対向部間の位置に磁極を設けるとともに、前記両対向部に前記起電力を検出するための電極を設けた請求項１または２に記載の電磁流量計。

【請求項4】

前記ケース及び前記管路を縦長の断面長方形に形成し、前記ケース及び管路の長辺が平行をなす向きに管路を配置した請求項３に記載の電磁流量計。

【請求項5】

前記磁極を短辺側に、前記電極を長辺側に配置した請求項４に記載の電磁流量計。

【請求項6】

前記電極の裏面に増幅回路の基板を設けた請求項３〜５のうちのいずれか一項に記載の電磁流量計。

【請求項7】

前記管路の上流側に屈折流路を接続し、その屈折流路の上流側屈折部を前記管路の長辺の延長線とを平行に延長させた請求項３または４に記載の電磁流量計。

【請求項8】

前記ボルトを前記管路の対角線の延長線上に配置した請求項４〜７のうちのいずれか一項に記載の電磁流量計。

【請求項9】

前記一対の電極のリード線を相互にツイストした請求項３〜８のうちのいずれか一項に記載の電磁流量計。

【請求項10】

磁界を包囲する強磁性体よりなる磁気シールドを前記ケースに設けた請求項１〜９のうちのいずれか一項に記載の電磁流量計。

【請求項11】

前記ケース内に前記管路を包囲するヨークを設けるとともに、そのヨーク上に励磁用の電磁マグネットを設け、前記磁気シールドは前記ヨークをカバーするように構成した請求項１０に記載の電磁流量計。

【請求項12】

前記ケース内に電気回路の基板を設け、その基板に接続されるリード線に対して前記管路を介した反対側に前記電磁マグネットを設けた請求項１１に記載の電磁流量計。

【請求項13】

複数の起電力計測時間を選択可能にした制御手段を設けた請求項１〜１２のうちのいずれか一項に記載の電磁流量計。

【請求項14】

請求項１〜１３のうちのいずれか一項に記載の複数の電磁流量計を前記配管部材上にセットして、前記電磁流量計の前記ボルトを配管部材のねじ孔に螺入した集合ユニット。

【請求項15】

隣接する電磁流量計の励磁周波数を異ならせた請求項１４に記載の集合ユニット。

【請求項16】

励磁周波数が異なる２種類の電磁流量計を隣接させた請求項１５に記載の集合ユニット。

【請求項17】

隣接する電磁流量計の励磁タイミングを異ならせた請求項１４記載の集合ユニット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、工場等において、冷却水，洗浄液，加工に利用されるクーラント等の加工利用液等、様々な液体の流量管理に用いられるようにした電磁流量計及びその電磁流量計を集合した集合ユニットに関するものである。

【背景技術】

【0002】

各種の工場においては、前記液体として、金型，射出成形機，加熱炉，溶接装置等における冷却水、食品洗浄機等における洗浄液、研削盤やマシニングセンタ等の工作機械におけるクーラント等が用いられ、これらの液体は流量管理が必要である。

【0003】

このような液体の流量管理のためには、流量計が液体の流路に設けられるが、近年はこの流量計として電磁流量計が用いられる。そして、流路に対する電磁流量計の接続方式として、従来は、例えば、流路を形成する配管の一対のフランジ間に電磁流量計の流路部分を挟み込む構成が一般に採用されていた。この接続方式は、ウェハタイプと呼ばれる。しかし、このウェハタイプは、一対のフランジが存在するために、省スペース化が困難であって、複数の電磁流量計を集合して使用する場合には、広い設置スペースが必要となる。

【0004】

一方、この他に、複数の電磁流量計を配管部材上に搭載した集合ユニット（マニホールド）が存在する。特許文献１には、このような集合ユニットに用いられる電磁流量計が開示されている。この特許文献１の電磁流量計は、ケースの端面に開口した口金状の流路口の内面に雌ねじが刻設されている。そして、この電磁流量計を前記配管部材に搭載するために、配管部材の雄ねじに前記雌ねじを螺合される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００７−２９８４０２号公報（発明の詳細な説明の段落００２９の第５行及び第６行、図面の図６）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ところが、配管部材の雄ねじに雌ねじを螺合するためには、電磁流量計全体を回転させる必要がある。このため、電磁流量計の周囲には雄ねじ及び雌ねじの中心を中心とした電磁流量計の最大径部の回転を許容するためのスペースが必要になり、隣接する電磁流量計間に間隔を設ける必要がある。従って、集合ユニット全体の大型化を回避できない。また、電磁流量計の回転を可能にするために、電磁流量計を回転させる作業の際には同流量計に配線を接続することができない。従って、電磁流量計に対する配線の接続は配管部材に対する電磁流量計の固定が終了した後にしか行なうことができず、集合ユニットの製造において工程の作業順序を柔軟に設定することが難しい。

【0007】

本発明の目的は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものであって、電磁流量計を用いた集合ユニットを小型化できる電磁流量計及び集合ユニットを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記の目的を達成するために、本発明においては、ケース内に管路を配置し、その管路内を流れる被測定流体の流速を表す流速信号を電磁誘導よって生じる起電力に基づいて出力する電磁流量計において、前記ケースには前記管路の延長方向に沿って延びる軸線上に位置するボルトを設け、このボルトによって前記ケースを配管部材に取り付けるように構成したことを特徴とする。

【0009】

従って、配管部材に対する電磁流量計の固定に際しては、ボルトを配管部材のねじ孔に螺入させるだけでよく、電磁流量計を回転させる必要はない。また、電磁流量計の周囲に同流量計の回転を許容するスペースも不要になり、集合ユニットの小型化が可能になる。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、複数の電磁流量計を集合した集合ユニットの小型化が可能になるという効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】第１実施形態の集合ユニットの平面図。

【図2】図１の電磁流量計の分解斜視図。

【図3】図１の電磁流量計の断面図。

【図4】図３の４−４線断面図。

【図5】図３の５−５線断面図。

【図6】電磁流量計の電気的構成を示すブロック図。

【図7】第２実施形態の集合ユニットの平面図。

【図8】図７の電磁流量計の側面図。

【図9】図７の９-９線断面図。

【図10】（ａ），（ｂ）は、連結管の作用を示す簡略図。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。
（第1実施形態）
図１〜図６に基づいて第1実施形態を説明する。

【0013】

はじめに、図１に基づいて集合ユニット１１及びその周辺機構の構成を説明する。集合ユニット１１は、チラー装置１２と、金型，射出成形機，加熱炉，溶接装置，食品洗浄機，工作機械等の被冷却部１３との間に接続される。そして、集合ユニット１１は、チラー装置１２と被冷却部１３との間を循環される冷却水，洗浄液，クーラント等の加工利用液等、被測定流体としての様々な液体の流量を制御するとともに、流量を検出する。本実施形態においては、液体として冷却水を用いる。

【0014】

集合ユニット１１は配管ブロック１４を備え、その配管ブロック１４内には接続口１５において配管１６に接続され、その配管１６を介してチラー装置１２のサプライ側及びリターン側にそれぞれ接続されるサプライ側流路及びリターン側流路（ともに図示しない）が設けられている。

【0015】

配管ブロック１４上には配管部材としての複数（図面においてが３個であるが、２個及び４個以上を含む）の流量調整バルブ１７が並設状態でマウントされており、各流量調整バルブ１７には前記サプライ側流路及びリターン側流路にそれぞれ接続されたサプライ側バルブ流路及びリターン側バルブ流路が形成されている。サプライ側バルブ流路の接続口１８は配管１９を介して前記被冷却部１３のイン側に接続され、リターン側バルブ流路は電磁流量計２１及び配管２０を介して被冷却部１３のアウト側に接続されている。

【0016】

図１，図４及び図５に示すように、前記複数の電磁流量計２１は、前記流量調整バルブ１７のケース１７１の端面に固定されて、密接状態で並設されている。これらの電磁流量計２１は流量調整バルブ１７を通る冷却水の流量を表す流速信号を出力して、流量を検出する。なお、電磁流量計２１の一端部は前記配管ブロック１４上に載置されて、電磁流量計２１の荷重が受けられている。

【0017】

次に、電磁流量計２１の構成について説明する。
図２及び図３に示すように、電磁流量計２１のケース２２は、合成樹脂よりなり、全体として縦長の断面長方形に形成されている。本実施形態においては、図３の上下を電磁流量計２１の上下とする。また、縦長とは、複数の電磁流量計２１の並設方向と直交する方向に長い状態を指す。前記ケース２２は、下部の本体ケース２３と、その本体ケース２３の上面開口に固定されたサブケース２４とを備えている。サブケース２４の上部に表示部２５が設けられ、その表示部２５には、透明板２６の下側に位置する表示装置２７が設けられている。表示装置２７はセブンセグメント等の表示素子（図示しない）を有し、冷却水の単位時間当たりの流量や積算流量等を表示する。

【0018】

図３及び図５に示すように、本体ケース２３のほぼ中央部には、横方向に延び、冷却水が前記被冷却部１３側から流入する管路３１が貫設されており、その管路３１の上流側及び下流側の開口３２，３３が本体ケース２３の両端面に配置されている。この管路３１は、前記本体ケース２３の両端面を形成するエンド部材３４，３５に一体形成した筒部３６，３７と、その両筒部３６，３７間に連結された連結管３８とによって構成されている。連結管３８は、アルミナ等の高誘電率セラミックまたは高誘電率セラミック粉体を配合した合成樹脂材料によって構成されている。

【0019】

前記上流側の開口３２は外部に突出され、図１に示すように、その内部に前記配管２０が接続される。図５に示すように、下流側の開口３３は前記流量調整バルブ１７の流路１７２に接続される。前記下流側の開口３３の周囲において、エンド部材３４の環状溝３９にはシールリング４０が嵌合されている。このシールリング４０は流量調整バルブ１７と前記エンド部材３５との間のシール性を保持するためのものである。

【0020】

図３に示すように、前記連結管３８は上下に長い断面縦長長方形をなし、その長辺とケース２２の長辺とが平行をなす向きに設置されている。
連結管３８の下方において本体ケース２３内には磁性金属よりなる長四角環状のヨーク４１が設置されており、その底部には鉄心４２が固定されている。鉄心４２の周囲にはコイル４３が巻き回されている。鉄心４２の上端には連結管３８の短辺の直下に位置する磁極４２１が設置されている。電磁マグネット４４は、ヨーク４１と、鉄心４２と、コイル４３と、磁極４２１とにより構成されている。ヨーク４１内において連結管３８の周囲には非磁性金属よりなるシールドケース４５が設置されている。そして、前記電磁マグネット４４が所定の周波数で励磁されて、連結管３８内を上下に通る磁路が形成される。この場合、本実施形態においては、隣接する電磁流量計２１間において励磁周波数が異なるように設定されている。また、本実施形態では、電磁流量計２１は異なる２種類の励磁周波数のうちのいずれかの励磁周波数を有し、同じ励磁周波数の電磁流量計２１が隣接することがないように、異なる励磁周波数を発生する電磁流量計２１が隣接配置されている。

【0021】

連結管３８の互いに対向する対向部としての両長辺部の外側面にはそれぞれ銅箔よりなる電極５１が貼着されており、これらの電極５１は絶縁テープ（図示しない）によって被覆されている。各電極５１の裏面側には非磁性金属よりなるブラケット５２が設置されており、このブラケット５２には電気回路用の第１基板５３が支持されている。この第１基板５３には図６に示す増幅回路５４の前段部が搭載されている。第１基板５３はスペーサ５５によって位置保持されている。

【0022】

前記サブケース２４内において、前記表示部２５の下方には電気回路用の第２基板６１が設置されており、この第２基板６１には、図６に示す増幅回路５４の後段部，サンプリング回路６２，ＡＤ変換器６３，励磁回路６４，制御手段としてのマイクロプロセッサ（以下、ＭＰＵという）６５及び表示駆動回路６６が搭載されている。前記第１基板５３と第２基板６１との間には、それぞれリード線６７が配されている。このリード線６７は、連結管３８の外周面に沿う最短距離を延びるとともに、剛性を有する導電金属６７１と、その導電金属６７１と第２基板６１との間の最短距離を結ぶとともに、磁界の中心に位置する２本のハーネス６７２とによって構成されている。両ハーネス６７２はツイストされて、相互に絡み合わされている。

【0023】

前記電磁マグネット４４は、前記第２基板６１及びリード線６７に対して連結管３８を介した反対側に配置されている。
図２及び図４に示すように、前記両エンド部材３４，３５には挿通孔７１，７２が透設されている。エンド部材３４，３５間には両挿通孔７１，７２と連通するとともに、前記連結管３８と平行に延びる金属製の挿通管７３が架設されている。前記流量調整バルブ１７の反対側の挿通孔７１から挿通管７３内を挿通して挿通孔７２から外部に突出する金属製の固定ボルト７４が設けられ、その先端のねじ部７４１が流量調整バルブ１７のねじ孔１７３に螺入されるとともに、頭部７４２がエンド部材３５の外側面に締め付けられている。この固定ボルト７４の締め付けによって電磁流量計２１が流量調整バルブ１７の端面に固定されている。図３に示すように、前記挿通管７３及び固定ボルト７４は前記連結管３８の対角線の延長線上において連結管３８の延長方向と平行な軸線上に位置している。

【0024】

前記本体ケース２３の外側面には、磁界の範囲を覆うように、強磁性体よりなる電磁シールドとしてのカバー板７５が配置されており、このカバー板７５により本体ケース２３の内外からの漏れ磁束の通過を抑制するようになっている。すなわち、このカバー板７５は全体としてチャンネル形状をなしていて、電磁マグネット４４及びヨーク４１の全体を包囲して、磁気遮蔽作用を果たしている。

【0025】

次に、本実施形態の作用について説明する。
金型，射出成形機，加熱炉，溶接装置，食品洗浄機，工作機械等の装置が稼働されると、冷却水が集合ユニット１１を通ってチラー装置１２と被冷却部１３との間において循環される。このとき、集合ユニット１１の電磁流量計２１は冷却水の循環流量を検出して、その検出データにより流量調整バルブ１７の開放量等が制御される。

【0026】

冷却水の流量検出に際しては、ＭＰＵ６５の制御によって励磁回路６４が動作され、電磁マグネット４４のコイル４３に所定周波数（例えば、７０〜１００ヘルツ）の励磁電流が供給されて、コイルがその周波数で励磁される。この状態で、連結管３８内を冷却水が流れると、その体積流量，すなわち流速に応じた起電力が発生して、その起電力が両電極５１によって検出される。検出された起電力は、増幅回路５４で増幅される。そして、増幅された起電力がサンプリング回路６２によってサンプリングされ、ＡＤ変換器６３でデジタル化され、そのデジタル化された流量信号がＭＰＵ６５に入力される。そして、ＭＰＵ６５は、この流量信号を図示しない制御装置に対して出力し、この制御装置は流量信号に応じて冷却水の単位時間当たり流量や積算流量を判別して、前記流量調整バルブ１７等の動作を制御する。これによって、冷却水の循環流量や温度等が適切な状態に維持される。

【0027】

本実施形態においては、スイッチ（図示しない）操作に基づいて、ＭＰＵ６５が起電力計測時間，すなわち流量検出時間の異なる第１モードと第２モードとのいずれかのモードを選択して動作させるように構成されている。第１モードにおいては、電磁マグネット４４の励磁周期ごとに連続して起電力が検出される。そして、励磁周波数の１０分の１の検出回数における起電力が加算されて平均化され、さらに、その平均値の１０回分の値がさらに加算されて平均化され、この平均値に対応した流量が検出流量とされる。従って、この第１モードにおいては、１秒間の起電力平均値に対応した値が検出流量とされる。第２モードにおいては、第１モードにおける１秒間の起電力の連続平均値が整数回（例えば５回）加算されて、平均化され、その平均値に対応した値が検出流量とされる。従って、第２モードにおいては、第１モードより長い例えば５秒間の起電力平均値に対応した値が検出流量とされる。

【0028】

ところで、本実施形態の電磁流量計２１を流量調整バルブ１７の端面に固定する場合には、電磁流量計２１の端面のシールリング４０を流量調整バルブ１７の端面に当てる。この状態で、挿通孔７１，７２及び挿通管７３に挿通された固定ボルト７４の先端のねじ部７４１を流量調整バルブ１７のねじ孔に螺合させればよい。従って、電磁流量計２１を回したりすることなく流量調整バルブ１７に固定できる。

【0029】

本実施形態においては、以下の効果がある。
（１）電磁流量計２１のケース２２には管路３１の延長方向に沿って延びる軸線上に位置する固定ボルト７４が設けられている。この固定ボルト７４によってケース２２が流量調整バルブ１７に取り付けられる。このため、電磁流量計２１全体を小型化できるとともに、電磁流量計２１を回転させることなく流量調整バルブ１７に固定できる。従って、集合ユニット１１において隣接する電磁流量計２１間に同流量計２１の回転を許容するためのスペースを設ける必要がない。よって、電磁流量計２１を隙間なく並設できて、集合ユニット１１全体を小型化できる。特に、電磁流量計２１が縦長に形成されているため、集合ユニット１１全体を幅が狭いコンパクトなものにできる。

【0030】

しかも、固定ボルト７４を流量調整バルブ１７のねじ孔１７３に螺入させるのみで電磁流量計２１を回転させることなく固定できるため、電磁流量計２１の向きを揃える必要がなく、電磁流量計２１の組み付けが容易になる。加えて、電磁流量計２１を回転させる必要がないため、電磁流量計２１にその組み付け前であっても配線を接続できる。従って、組み付け工程の作業順序を任意に設定できる。

【0031】

（２）固定ボルト７４を電磁流量計２１のケース２２のエンド部材３４，３５間に架設された挿通管７３内に挿通させている。このため、固定ボルト７４を強く締め付けても前記ケース２２の変形を抑制できる。従って、電磁流量計２１を流量調整バルブ１７に対して強固に固定できる。

【0032】

（３）電磁流量計２１のケース２２及び連結管３８が断面縦長長方形に形成されるとともに、それらの長辺が平行をなす向きに連結管３８が配置されている。このため、電磁流量計２１の幅をより小さくできて、小形化を図ることができ電磁流量計２１及び集合ユニット１１の小型化に寄与できる。る。また、電磁流量計２１の幅を狭くしても、連結管３８も幅狭であるため、電磁流量計２１内の基板５３，６１やリード線６７あるいはヨーク４１を配置するためのスペースの制約を少なくして、電磁流量計２１のケース２２内のスペースを有効に利用できる。

【0033】

（４）磁極４２１が連結管３８の短辺側に設けられ、電極５１が長辺側に配置されているため、電極５１を磁極４２１を通る磁路に近接させることができる。従って、冷却水の流量を正確に計測できる。また、電極５１を連結管３８の広く、かつ平らな側面に貼着できるため、その貼着を容易に行えるばかりでなく、電極５１の剥離の可能性を低くできる。

【0034】

（５）電極５１の裏面側に増幅回路５４の基板５３が設けられているため、その基板５３を電極５１と平行に場所をとることなく、狭いスペースに配置できて、小形化に寄与できる。また、電極５１と増幅回路５４との間のリード線を短くできるため、励磁による同相ノイズの影響を少なくして、正確な流量検出が可能になる。

【0035】

（６）挿通管７３及び固定ボルト７４が連結管３８の対角線の延長線上に配置されているため、固定ボルト７４が磁路形成に悪影響を与えることを少なくできる。
（７）電磁マグネット４４が第２基板６１に接続されるリード線６７に対して連結管３８を介した反対側にあって、リード線６７側には設けられていないため、帰り磁気回路内においてリード線６７による１ターンコイルの磁束と鎖交する断面積を最小にできる。従って、同相の励磁ノイズを低減できて、正確な流量検出が可能になる。

【0036】

（８）基板５３，６１間のリード線６７のハーネス６７２が磁界の中心において相互にツイストされているため、２本のリード線６７が平衡ケーブルになって、両リード線６７の磁力線が有効に打ち消し合い、前記と同様に同相ノイズを少なくできて、正確な流量検出が可能になる。しかも、そのハーネス６７２は最短距離を辿って第２基板６１に接続されているため、同相ノイズによる影響をさらに小さくできる。

【0037】

（９）隣接する電磁流量計２１の励磁周波数が異なっているため、隣接する電磁流量計２１間の磁気干渉を少なくできて、正確な検出動作を得ることができる。しかも、電磁流量計２１として、励磁周波数が異なるものを２種類用意すればよい。このため、電磁流量計２１の種類を少なくできて、集合ユニット１１の組み立てや電磁流量計２１の管理等が容易になる。

【0038】

（１０）磁路を遮断するシールド機能を有するカバー板７５が設けられているため、隣接する電磁流量計２１間の相互の悪影響を抑えることができる。
（１１）ＭＰＵ６５が短時間の起電力の平均値に対応する検出流量を得る第１モードと、長時間の起電力の平均値に対応する検出流量を得る第２モードとのいずれかのモードを選択的に動作させるように構成されている。従って、第１モードにおいては、流量の小刻みな変化を認識する場合に都合がよい。また、第２モードにおいては、流量の変動が平均化されて、ノイズキャンセル的な結果をもたらすため、流量を正確に検出することができる。特に、異周波設定を行ない得ない構成において、励磁周波数と外来ノイズの周波数とが一致した場合は、正確な流量検出に悪影響が生じるおそれがある。このような場合、前記第２モードに設定すれば、外来ノイズの影響を軽減できて、正確な流量検出が可能になる。

【0039】

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態を図７〜図１０に基づいて説明する。この第２実施形態においては、前記第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。

【0040】

本実施形態においては、図７〜図９に示すように、配管１９，２０と流量調整バルブ１７の出口側及び電磁流量計２１の入口側との間にそれぞれ流路を形成する配管部材としての９０度に屈折された屈折流路としてのエルボ８１，８２が接続されている。このエルボ８１，８２はその長さ方向の中間部で屈折され、その上流側屈折部である配管１９，２０の側８１１，８２１（図８において下側）が９０度の角度で下方を指向している。従って、エルボ８２の配管側８１１，８２１は図１０（ｂ）に示すように、連結管３８の長辺の延長線と平行に延びている。

【0041】

本実施形態においては、以下の効果がある。
（１２）９０度に屈折されたエルボ８１，８２が流量調整バルブ１７及び電磁流量計２１と配管１９，２０との間に接続されているため、図７及び図８から明らかなように、配管１９，２０の端部を折曲することにより、各配管１９，２０を上下方向において重ねることができて、配管１９，２０群の投影面積を小さくできる。このため、システム全体を小型化できる。従って、流量調整バルブ１７及び電磁流量計２１を多数搭載した集合ユニット１１の構成部品の集積化に対する制約が少なくなり、高集積化に加えて省スペース化が可能になる。

【0042】

（１３）図１０（ｂ）に示すように、連結管３８が断面長方形に形成されるとともに、電磁流量計２１の上流側のエルボ８２の配管側８２１が連結管３８の長辺の延長線と平行に位置しているため、連結管３８内の渦流や乱流を抑制できて、整流作用を得ることができる。すなわち、連結管３８が断面円形の場合は、エルボ８２の曲がる方向，つまり連結管３８内において上下方向と交差する左右方向の両端部に渦流が形成されやすい。

【0043】

また、図１０（ａ）に示すように、連結管３８が、例えば断面正方形のように幅ｗが広い形状の場合は、流体のせん断面である左右の壁面と流れの中心との距離が長くなる。このため、連結管３８内において流速差が大きい部分が形成されるとともに、左右両端部に渦流が形成されやすくなる。これらのことから、連結管３８が左右に幅広い形状の場合は、その内部の液体が乱流状態になって、正確な流速検出が困難になる。これに対し、図１０（ｂ）に示すように、連結管３８がその幅ｗが狭い断面長方形に形成されて、その長辺がエルボ８２の配管側８２１と同方向に延長されている場合は、連結管３８内の流速差が小さくなるとともに、連結管３８の両側における渦流が形成されにくくなる。従って、本実施形態のようにエルボ８２を設けて流路を屈折させた場合であっても、連結管３８内が整流状態になって、正確な流量検出が可能になる。

【0044】

（変更例）
前記実施形態は、次のように変更して具体化することも可能である。
・固定ボルト７４が挿通される挿通管７３を省略すること。

【0045】

・励磁周波数が異なる３種類以上の電磁流量計２１を用意し、異なる励磁周波数の電磁流量計２１が隣接するように同電磁流量計２１を配置すること。
・前記実施形態では、隣接する電磁流量計２１間の磁気干渉を少なくするために、隣接する電磁流量計２１間において励磁周波数を異ならせたが、これに代えて、電磁流量計２１の電磁マグネット４４を間欠励磁させるとともに、隣接する電磁流量計２１の間欠励磁タイミングを異ならせること。このように構成しても、隣接する電磁流量計２１間の磁気干渉を少なくすることができる。この場合も、前記実施形態と同様に、励磁タイミングが異なる２種類の電磁流量計２１を用意すればよいが、励磁タイミングが異なる３種類以上の電磁流量計を用意してもよい。

【0046】

・固定ボルト７４の本数を３本以上にすること。
・連結管３８の電極５１が設けられていない両短辺を円弧状の形状に変更すること。従って、連結管３８の断面形状が長円状になる。

【0047】

・連結管３８の断面形状を縦長の楕円形状に形成し、曲率の小さな一対の対向する辺，すなわち長辺側に電極５１を設けること。また、電磁流量計２１にエルボ８２を接続する場合は、エルボ８２の配管側８２１が楕円の長径と同方向に延長されるようにする。このようにすれば、エルボ８２の配管側８２１が連結管３８の長辺と同方向に延長された場合と同等であって、整流作用によって正確な流量検出が可能になる。

【0048】

・電磁マグネット４４を連結管３８の両短辺に対応して一対設けること。
・電磁流量計２１を流量調整バルブ１７に固定するのではなく、配管ブロック１４に直接固定すること。

【0049】

・電磁流量計２１のマウント方向を変更すること。例えば、電磁流量計２１をその下流側の開口３３を下向きにセットすること。
・前記実施形態では、カバー板７５としてチャンネル形状のものを用いたが、カバー板７５として２枚の平板状のものを用いて、それらを電磁流量計２１の両側面にそれぞれ設けること。

【0050】

・前記実施形態においては、液体として循環使用される冷却水を例に挙げたが、加工に利用された後に循環されることなく、廃棄される冷却水等の液体を利用するシステムに本発明を具体化すること。

【0051】

・前記実施形態において、ＭＰＵ６５は、流量検出時間の異なる第１モードと第２モードとよりなる２つのモードを設定するようにしたが、流量検出時間の異なる３以上のモードを設定できるようにすること。

【0052】

第２実施形態において、エルボ８１，８２の配管側８１１，８２１を上向きに延長されるようにすること。
（他の技術的思想）
前記実施形態からは以下の技術的思想を把握できる。

【0053】

ケース内に管路を配置し、その管路内を流れる被測定流体の流速を表す流速信号を電磁誘導よって生じる起電力に基づいて出力する電磁流量計において、
前記ケース及び前記管路を縦長形状に形成するとともに、前記管路の上流側に屈折流路を接続し、その屈折流路の上流側屈折部と前記管路の長辺とを平行に延長させた電磁流量計。

【符号の説明】

【0054】

１１…集合ユニット、１４…配管ブロック、１７…流量調整バルブ、２１…電磁流量計、２２…ケース、３１…管路、３８…連結管、４１…ヨーク、４４…電磁マグネット、５１…電極、５３…第１基板、５４…増幅回路、６１…第２基板、６７…リード線、７３…挿通管、７４…固定ボルト、７５…カバー板、８２…エルボ、１７３…ねじ孔、４２１…磁極。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】