発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

図８及び図９に示すように、特許文献２に開示された加工の仕方は、第１ウェハＷａの厚みだけを見て、第２ウェハＷｂの厚みは見なし測定をしている。このように複数の第２ウェハＷｂを同心上に配置させて加工をする場合は、ウェハＷが配置されているチャックテーブル５１の保持面が加工時における熱で膨張して撓み変形を起こすことも少なくない。しかしながら、特許文献２に開示された加工では、その熱膨張による変形については何ら考慮されていない。 その熱膨張による撓み変形について更に説明をすると、本来は、加工後の第２ウェハＷｂの厚みは、図１０の(ｅ)に示すように、全てが均一でなければならない。しかし、加工途中の発熱により、チャックテーブル５１の保持面が変形をし、例えば保持面の撓み変形が、図１０の(ａ)に示すように回転軸心Ｏ１側が最外周位置側よりも高く、最外周位置側が下がって変形したような場合で、加工ホイール５４の回転軸心Ｏ２がチャックテーブル５１の回転軸心Ｏ１と平行で、かつ、加工ホイール５４が水平に送られてチャックテーブル５１上に押し付けられたときには、各第２ウェハＷｂの断面形状は、図１０の(ｂ)に示すように回転軸心Ｏ１側の厚みの方が最外周位置側の厚みよりも小さくなり、厚みが均一にならない。また、反対に、例えば図１０の(ｃ)に示すように回転軸心Ｏ１側が最外周位置側よりも低く、回転軸心Ｏ１側が凹んで変形したような場合で、加工ホイール５４が水平に送られてチャックテーブル５１上に押し付けられたときには、各第２ウェハＷｂの断面形状は、図１０の(ｄ)に示すように回転軸心Ｏ１側の厚みの方が最外周位置側の厚みよりも大きくなり、厚みが均一にならない。 しかしながら、従来の加工装置では、加工途中の発熱などにより、チャックテーブルの保持面が熱変形を起こすことに関しての考慮は行われていなかった。そのため、製品によって仕上がり厚みにバラツキが生じるという問題があった。 そこで、ワークの厚みのバラツキを少なくできるようにしたワーク加工装置を提供するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、チャックテーブルの保持面の熱変形などを考慮した加工を行うことができるので、製品毎に仕上がり厚みのバラツキが出るのを少なくして、製品の品質を向上させることができる。