特開2016-194049エピラム化剤でコーティングされた表面を含む基板およびこのような基板のエピラム化のための方法

発明の名称　エピラム化剤でコーティングされた表面を含む基板およびこのような基板のエピラム化のための方法

出願人　ザ・スウォッチ・グループ・リサーチ・アンド・ディベロップメント・リミテッド　（識別番号 506425538）

　　　　特許公開件数ランキング 689 位（34件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 479 位（47件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2016-194049

公報発行日　2016年11月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-194049

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2016-194049「エピラム化剤でコーティングされた表面を含む基板およびこのような基板のエピラム化のための方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録