特開2016-204196(P2016-204196A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2016-204196SiC単結晶シード、SiCインゴット、SiC単結晶シードの製造方法及びSiC単結晶インゴットの製造方法
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