特開2016-216331酸化イットリウム膜

発明の名称　酸化イットリウム膜

出願人　株式会社ＦＬＯＳＦＩＡ　（識別番号 511187214）

　　　　特許公開件数ランキング 9201 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1074 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2016-216331

公報発行日　2016年12月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-216331

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