特開2016-216829Ｎｉ又はＮｉ合金スパッタリングターゲット

発明の名称　Ｎｉ又はＮｉ合金スパッタリングターゲット

出願人　三菱マテリアル株式会社　（識別番号 6264）

　　　　特許公開件数ランキング 359 位（31件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 160 位（56件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2016-216829

公報発行日　2016年12月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-216829

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