技術分野
検査装置及び検査方法
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】物体の欠陥の検査において、欠陥が位置する領域を光で照射しなくても、欠陥を検出することを可能にする。
【解決手段】検査装置は、光学系(光源部10及び反射部20)、検出部30、及び判断部40を備える。光学系は、物体70の表面の一部に加熱用の光を照射する。検出部30は、した一部及びその周囲においてした表面の温度分布を検出する。判断部40は、した光をした一部に照射したときのした一部及びした周囲における温度分布に基づいて、物体70の欠陥の有無を判断する。
【選択図】図1
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
特許文献1に記載の方法で物体の欠陥を検出するためには、欠陥が位置する領域を光(具体的には、赤外線)で照射する必要がある。本発明者は、欠陥が位置する領域を光で照射しなくても、欠陥を検出することが可能な方法を検討した。
本発明は事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、物体の欠陥の検査において、欠陥が位置する領域を光で照射しなくても、欠陥を検出することを可能にすることにある。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明に係る検査装置は、光学系、検出部、及び判断部を備える。光学系は、物体の表面の一部に加熱用の光を照射する。検出部は、した一部及びその周囲においてした表面の温度分布を検出する。判断部は、した光をした一部に照射したときのした一部及びした周囲における温度分布に基づいて、物体の欠陥の有無を判断する。
【発明の効果】
物体の欠陥の検査において、欠陥が位置する領域を光で照射しなくても、欠陥を検出することを可能にする。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】第1の検査装置の構成を示す図である。
【図2】(a)は、物体における温度分布の第1例を説明するための図であり、(b)は、物体における温度分布の第2例を説明するための図である。
【図3】物体の表面に照射される光のパターンの第1例を説明するための図である。
【図4】物体の表面に照射される光のパターンの第2例を説明するための図である。
【図5】物体の表面に照射される光のパターンの第3例を説明するための図である。
【図6】物体の表面に照射される光のパターンの第4例を説明するための図である。
【図7】第2の検査装置の構成を示す図である。
10 光源部
20 反射部
30 検出部
40 判断部
52 反射制御部
54 光制御部
60 車両
70 物体
100 光源
200 反射面
212 第1回転軸
214 第2回転軸
710 照射領域
712 照射領域
714 照射領域
720 欠陥
722 欠陥
724 欠陥
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