特開 2016-217729出願番号 特願 2015-99140
測定装置
公報発行日 2016年12月22
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※ 共同出願を含む
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技術分野
測定装置
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】新規な構造を有する測定装置で磁場を測定する。【解決手段】軸部材１３０は、可動電極１２０を枠体１１０に取り付けている。軸部材１３０は、可動電極１２０の回転軸となる。固定電極１４０は、平面視で可動電極１２０に対向している。インダクタ１６０は、可動電極１２０に設けられている。測定用端子５００は、インダクタ１６０に電気的に接続している。
【選択図】図１
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
近年、測定装置を用いて磁場を測定することがある。本発明者らは、磁場を測定するための測定装置の新規な構造を検討した。 本発明は事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、新規な構造を有する測定装置で磁場を測定することにある。課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明に係る測定装置は、可動電極、枠体、軸部材、固定電極、インダクタ、及び端子を備える。軸部材は、可動電極を枠体に取り付けている。軸部材は、可動電極の回転軸となる。固定電極は、平面視で可動電極に対向している。インダクタは、可動電極に設けられている。端子は、インダクタに電気的に接続している。
【発明の効果】
本発明によれば、新規な構造を有する測定装置で磁場を測定することができる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】第１の測定装置の構成を示す図である。
【図2】図１に示したアクチュエータ本体の詳細構造の一例を示す図である。
【図3】第２の測定装置に用いられるアクチュエータ本体の詳細構造を示す図である。
【図4】図３のＡ−Ａ´断面図である。
【図5】図４の変形例を示す図である。
【図6】図５に示した軟磁性材料層を有する測定装置の製造方法を説明するための図である。
【図7】図５に示した軟磁性材料層を有する測定装置の製造方法を説明するための図である。
選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図
１００ アクチュエータ本体
１１０ 枠体
１２０ 可動電極
１３０ 軸部材
１４０ 固定電極
１５０ 検出用電極
１６０ インダクタ
１６２ 配線
１７０ 軟磁性材料層
１７２ 第１軟磁性材料層
１７４ 第２軟磁性材料層
１８０ 絶縁層
１８２ 絶縁層
１８４ 絶縁層
２００ 容量検出部
２１０ オペアンプ
２２０ 容量素子
２３０ 抵抗素子
２４０ 第２直流電源
３００ 制御部
４００ 第１直流電源
４１０ 交流電源
５００ 測定用端子
５１０ 電圧計
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