特開2016-222568ビス（シリルアミドアミノアルカン）鉄化合物及び当該鉄化合物を用いた鉄含有膜の製造方法

発明の名称　ビス（シリルアミドアミノアルカン）鉄化合物及び当該鉄化合物を用いた鉄含有膜の製造方法

出願人　宇部興産株式会社　（識別番号 206）

　　　　特許公開件数ランキング 1192 位（7件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 453 位（18件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2016-222568

公報発行日　2016年12月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-222568

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