発明の名称 重合体、仮固定用組成物、積層体、基材の処理方法および半導体装置
出願人 国立大学法人山形大学 (識別番号 304036754)
特許公開件数ランキング 1362 位(7件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 1031 位(8件)(共同出願を含む)
出願人 JSR株式会社 (識別番号 4178)
特許公開件数ランキング 14225 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 12103 位(0件)(共同出願を含む)
公報番号 特開-2016-222864
公報発行日 2016年12月28
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-222864
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