特開2016-222971(P2016-222971A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2016-222971金属Bi−Bi酸化物複合スパッタリングターゲット、及び、金属Bi−Bi酸化物複合スパッタリングターゲットの製造方法
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