技術分野
真空ポンプ及び真空ポンプに使用される転がり軸受
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】フッ素油からなる潤滑剤による潤滑環境下で、従来にセラミック製転動体を採用したが、潤滑不良による転がり寿命低下が問題であった。本発明は、フッ素油を潤滑剤とする潤滑環境下で、潤滑良好且つ転がり寿命が長い転がり軸受を提供することを目的とする。 【解決手段】鋼製の外輪と内輪と、内外輪の間で転動自在となる鋼製の転動体とを有し、フッ素油からなる潤滑剤による潤滑環境下で用いられる転がり軸受において、転動体の表面、外輪の軌道面及び前記内輪の軌道面に撥水撥油性を有するフッ素系の改質膜が形成されていることを特徴とする真空ポンプ用転がり軸受。 【選択図】図1
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
しかしながら、セラミック玉はSUJ2製の玉と比べて高価であり、またその硬度がSUJ2製の内外輪より高いので、はく離や割れが発生しやすい、内外輪の軌道面との間で面圧が大きくなってしまうなどの問題がある。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
従って、の課題を解決する為に、本発明の第1の発明は、(1)外輪と、内輪と、内外輪の間で転動自在となる転動体とを有し、フッ素油からなる潤滑剤による潤滑環境下で用いられる転がり軸受において、転動体の表面、外輪の軌道面及び内輪の軌道面に撥水撥油性を有するフッ素系の改質膜が形成されていることを特徴とする真空ポンプ用転がり軸受を提供している。
(2)フッ素系改質膜は、どぶ浸けにより塗布されていることを・・・ 続きを
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【発明の効果】
本発明の転がり軸受は、鋼製の内外輪と転動体にフッ素系の改質膜が形成されるので、フッ素油からなる潤滑剤が塗布された転動体の表面、外輪の軌道面及び内輪の軌道面に対する親和性を向上することで潤滑性を向上させる。
また、本発明の真空ポンプは、転がり軸受の潤滑不良による軸受破損が発生しにくいので、軸受破損による真空ポンプ運転停止の発生を抑制することができる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】 本発明の一例としての深溝玉軸受である。
【図2】 図1に示す深溝玉軸受の玉と軌道輪の接触部分の拡大断面図である。
【図3】 本発明の一例としての組合せアンギュラ玉軸受である。
1 外輪
2 内輪
3 玉
4 フッ素系の改質膜
5 保持器
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