特開2016-23329(P2016-23329A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2016-23329マグネトロンスパッタリング装置、バッキングプレート、ターゲット組立体、及びマグネトロンスパッタリング方法
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