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特開2016-28238(P2016-28238A)
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特開
2016-28238
ナノ構造の変形、破壊、および変換に基づくモニタリング装置およびモニタリング方法
書誌
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請求の範囲
詳細な説明
課題
実施例
実施するための形態
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