特開2016-46263収差補正装置、これを有するデバイス、および荷電粒子の収差を補正するための方法

発明の名称　収差補正装置、これを有するデバイス、および荷電粒子の収差を補正するための方法

出願人　ナショナル　ユニヴァーシティー　オブ　シンガポール　（識別番号 507335687）

　　　　特許公開件数ランキング 2781 位（3件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1714 位（6件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2016-46263

公報発行日　2016年4月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-46263

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2016-46263「収差補正装置、これを有するデバイス、および荷電粒子の収差を補正するための方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録