特開2016-54136電子顕微鏡プラズマクリーナ及び電子顕微鏡洗浄方法

発明の名称　電子顕微鏡プラズマクリーナ及び電子顕微鏡洗浄方法

出願人　日立ハイテクノロジーズコリア株式会社　（識別番号 513265208）

　　　　特許公開件数ランキング 16409 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 13778 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2016-54136

公報発行日　2016年4月14

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-54136

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