特開2016-73006ステージ装置およびそれに用いる駆動機構

発明の名称　ステージ装置およびそれに用いる駆動機構

出願人　有限会社メカノトランスフォーマ　（識別番号 502254796）

　　　　特許公開件数ランキング 12172 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 10138 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2016-73006

公報発行日　2016年5月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-73006

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