特開2016-74490アキューム装置

発明の名称　アキューム装置

出願人　株式会社不二鉄工所　（識別番号 154130）

　　　　特許公開件数ランキング 5132 位（3件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 5723 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2016-74490

公報発行日　2016年5月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-74490

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