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特開2016-81842プラズマ処理装置
発明の名称 プラズマ処理装置
出願人 国立大学法人豊橋技術科学大学 （識別番号 304027349）
特許公開件数ランキング 1178 位（6件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1031 位（12件）（共同出願を含む）
出願人 大研化学工業株式会社 （識別番号 591040292）
特許公開件数ランキング 14225 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12103 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特開-2016-81842
公報発行日 2016年5月16
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-81842
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