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特開2016-863プラズマ処理装置及び成膜方法
発明の名称 プラズマ処理装置及び成膜方法
出願人 地方独立行政法人山口県産業技術センター （識別番号 509164164）
特許公開件数ランキング 7168 位（3件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 25341 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 株式会社ユーテック （識別番号 595152438）
特許公開件数ランキング 12174 位（1件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 25341 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特開-2016-863
公報発行日 2016年1月7
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-863
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