特開2016-91565プロセス技術設備のためのモジュール並びにプロセス技術設備を制御する方法

発明の名称　プロセス技術設備のためのモジュール並びにプロセス技術設備を制御する方法

出願人　ヴァーゴ・フェアヴァルトゥングスゲゼルシャフト・エムベーハー　（識別番号 511051753）

　　　　特許公開件数ランキング 2018 位（3件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3848 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2016-91565

公報発行日　2016年5月23

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-91565

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