特開2016-9783貫通電極基板の製造方法

発明の名称　貫通電極基板の製造方法

出願人　アルバック成膜株式会社　（識別番号 101710）

　　　　特許公開件数ランキング 7991 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 6565 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2016-9783

公報発行日　2016年1月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-9783

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