発明の名称 金属酸化物膜形成方法
出願人 気相成長株式会社 (識別番号 509182010)
特許公開件数ランキング 12172 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 10138 位(0件)(共同出願を含む)
出願人 株式会社フィルテック (識別番号 305054854)
特許公開件数ランキング 12172 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 10138 位(0件)(共同出願を含む)
公報番号 特開-2017-101262
公報発行日 2017年6月8
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2017-101262
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