特開2017-101271成膜装置

発明の名称　成膜装置

出願人　株式会社フィルテック　（識別番号 305054854）

　　　　特許公開件数ランキング 12122 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 10056 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2017-101271

公報発行日　2017年6月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2017-101271

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