特開2017-102304アライメントパターンを有するフォトマスクブランクスならびにそれを用いたフォトマスクおよびその製造方法

発明の名称　アライメントパターンを有するフォトマスクブランクスならびにそれを用いたフォトマスクおよびその製造方法

出願人　株式会社エスケーエレクトロニクス　（識別番号 302003244）

　　　　特許公開件数ランキング 4997 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4093 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2017-102304

公報発行日　2017年6月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2017-102304

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