特開 2017-112157 搬送装置及びその制御方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2017-112157(P2017-112157A)

(43)【公開日】2017年6月22日

(54)【発明の名称】搬送装置及びその制御方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20170526BHJP

   B65G 49/07 20060101ALI20170526BHJP

   B25J 9/06 20060101ALN20170526BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 A

   B65G49/07 D

   B25J9/06 D

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2015-243771(P2015-243771)

(22)【出願日】2015年12月15日

(71)【出願人】

【識別番号】000002059

【氏名又は名称】シンフォニアテクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001841

【氏名又は名称】特許業務法人梶・須原特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】占部 雄士

(72)【発明者】

【氏名】須田 佳雅

(72)【発明者】

【氏名】三重野 靖理

【テーマコード（参考）】

3C707

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C707AS24

3C707AS33

3C707BS15

3C707BT11

3C707CT02

3C707CT04

3C707CX00

3C707CY00

3C707HT02

3C707HT20

5F131AA02

5F131AA32

5F131CA09

5F131CA12

5F131DA33

5F131DA42

5F131DB05

5F131DB52

5F131DB62

5F131DB72

5F131DB76

5F131DB92

5F131DB93

5F131DD03

5F131DD47

5F131DD72

5F131JA03

5F131JA16

5F131JA33

(57)【要約】

【課題】封止部材の摩耗を抑制しつつ、搬送ロボットの駆動部の腐食を防止する。
【解決手段】制御部は、搬送ロボット１０を駆動させる駆動処理において、少なくとも駆動部（昇降駆動部、回転駆動部及びアーム回転駆動部）によってアーム部１１を駆動させるとき、搬送ロボット１０を、搬送ロボット１０の駆動部（モータ、シャフト等）が外部から封止されない非封止状態（アームベース１１ｂの下端がＯリング１５ａと接触しない状態、且つ、中空Ｏリング１５ｂが膨張せず、シャフト１１Ｓ１〜１１Ｓ３の周囲空間を密閉しない状態）に維持する一方、搬送空間にガスを供給するガス供給処理の間、搬送ロボット１０を、搬送ロボット１０の駆動部が外部から封止される封止状態（アームベース１１ｂの下端がＯリング１５ａと接触した状態、且つ、中空Ｏリング１５ｂが膨張し、シャフト１１Ｓ１〜１１Ｓ３の周囲を封止した状態）に維持する。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送物を搬送するための搬送ロボットであって、前記搬送物を保持するためのアームを有するアーム部と、前記アーム部を駆動させるための駆動部とを有する搬送ロボットと、
前記搬送ロボットが配置される搬送空間と、
前記搬送ロボットの前記駆動部に対して腐食性を有するガスを前記搬送空間に供給するガス供給部と、
前記搬送ロボット及び前記ガス供給部を制御する制御部とを備え、
前記搬送ロボットは、前記アーム部における前記駆動部によって駆動される駆動部分と前記駆動部分に対向する部材との間に介在することで前記駆動部を前記搬送ロボットの外部から封止することが可能な封止部材を有し、前記封止部材によって前記駆動部が前記外部から封止される封止状態と前記封止部材によって前記駆動部が前記外部から封止されない非封止状態とを選択的に取り、
前記制御部は、前記搬送ロボットを駆動させる駆動処理と、前記搬送空間に前記ガスを供給するガス供給処理とを実行し、前記駆動処理において少なくとも前記駆動部によって前記アーム部を駆動させるとき、前記搬送ロボットを前記非封止状態に維持し、前記ガス供給処理の間、前記搬送ロボットを前記封止状態に維持することを特徴とする、搬送装置。

【請求項2】

前記搬送ロボットは、前記アーム部を支持する支持部を有し、
前記駆動部は、前記支持部に対して前記アーム部を昇降させるための昇降駆動部を含み、
前記封止部材は、前記昇降駆動部の駆動により前記アーム部が前記支持部に対して最も近くに配置されたときに前記アーム部と前記支持部との間に介在する位置に設けられたことを特徴とする、請求項１に記載の搬送装置。

【請求項3】

前記搬送ロボットは、前記アーム部を支持する支持部を有し、
前記駆動部は、前記支持部に対して前記アーム部を昇降させるための昇降駆動部を含み、
前記封止部材は、前記昇降駆動部の駆動により前記アーム部が前記支持部に対して最も遠くに配置されたときに前記アーム部と前記支持部との間に介在する位置に設けられたことを特徴とする、請求項１に記載の搬送装置。

【請求項4】

前記搬送ロボットは、前記アーム部を支持する支持部を有し、
前記駆動部は、前記支持部に対して前記アーム部を回転させるための回転駆動部を含むことを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の搬送装置。

【請求項5】

前記アーム部は、前記アームと、前記アームを支持するアームベースとを有し、
前記駆動部は、前記アームベースに対して前記アームを回転させるためのアーム回転駆動部を含み、
前記封止部材は、前記アーム回転駆動部に含まれるアームシャフトであって前記アームの回転中心を構成するアームシャフトの周囲に設けられた中空部材を含み、
前記中空部材の中空部に圧力を供給するための圧力供給部をさらに備え、
前記制御部は、前記中空部に圧力を供給するよう前記圧力供給部を制御することで、前記搬送ロボットを前記非封止状態から前記封止状態に切り換えることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の搬送装置。

【請求項6】

搬送物を搬送するための搬送ロボットであって、前記搬送物を保持するためのアームを有するアーム部と、前記アーム部を駆動させるための駆動部とを有する搬送ロボットと、前記搬送ロボットが配置される搬送空間と、前記搬送ロボットの前記駆動部に対して腐食性を有するガスを前記搬送空間に供給するガス供給部とを備え、前記搬送ロボットは、前記アーム部における前記駆動部によって駆動される駆動部分と前記駆動部分に対向する部材との間に介在することで前記駆動部を前記搬送ロボットの外部から封止することが可能な封止部材を有し、前記封止部材によって前記駆動部が前記外部から封止される封止状態と前記封止部材によって前記駆動部が前記外部から封止されない非封止状態とを選択的に取る、搬送装置の制御方法において、
前記搬送ロボットを駆動させる駆動ステップと、
前記搬送空間に前記ガスを供給するガス供給ステップとを備え、
前記駆動ステップにおいて少なくとも前記駆動部によって前記アーム部を駆動させるとき、前記搬送ロボットを前記非封止状態に維持し、
前記ガス供給ステップの間、前記搬送ロボットを前記封止状態に維持することを特徴とする、制御方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送物を搬送するための搬送ロボットを備えた搬送装置及びその制御方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、搬送物を保持するためのアームを有する滅菌駆動部と、滅菌駆動部を駆動させるための動力伝達部とを有するロボットが開示されている。特許文献１では、滅菌駆動部を清潔空間内、動力伝達部を清潔空間外にそれぞれ配置し、清潔空間内に汚染物質が侵入するのを防止するため、動力伝達部を周方向に覆う外郭部に封止部材を設けている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００７−２２９９０６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

搬送ロボットが配置される搬送空間の環境を整える等の目的で、搬送空間にガス（例えば、過酸化水素ガス等の滅菌ガス）を供給する技術が知られている。搬送空間に供給されるガスが搬送ロボットの駆動部（モータ、シャフト等）に対して腐食性を有する場合において、駆動部の腐食を防止するため、特許文献１のように封止部材を設けることが考えられる。しかしながら、この場合、搬送ロボットの駆動時（アーム部の回転時や昇降時）に、封止部材がその周囲の部材と摺接すること等により、封止部材が摩耗し、封止機能の劣化やパーティクルの発生等の問題が生じ得る。

【0005】

本発明の目的は、封止部材の摩耗を抑制しつつ搬送ロボットの駆動部の腐食を防止することが可能な搬送装置及びその制御方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の第１観点によると、搬送物を搬送するための搬送ロボットであって、前記搬送物を保持するためのアームを有するアーム部と、前記アーム部を駆動させるための駆動部とを有する搬送ロボットと、前記搬送ロボットが配置される搬送空間と、前記搬送ロボットの前記駆動部に対して腐食性を有するガスを前記搬送空間に供給するガス供給部と、前記搬送ロボット及び前記ガス供給部を制御する制御部とを備え、前記搬送ロボットは、前記アーム部における前記駆動部によって駆動される駆動部分と前記駆動部分に対向する部材との間に介在することで前記駆動部を前記搬送ロボットの外部から封止することが可能な封止部材を有し、前記封止部材によって前記駆動部が前記外部から封止される封止状態と前記封止部材によって前記駆動部が前記外部から封止されない非封止状態とを選択的に取り、前記制御部は、前記搬送ロボットを駆動させる駆動処理と、前記搬送空間に前記ガスを供給するガス供給処理とを実行し、前記駆動処理において少なくとも前記駆動部によって前記アーム部を駆動させるとき、前記搬送ロボットを前記非封止状態に維持し、前記ガス供給処理の間、前記搬送ロボットを前記封止状態に維持することを特徴とする、搬送装置が提供される。

【0007】

本発明の第２観点によると、搬送物を搬送するための搬送ロボットであって、前記搬送物を保持するためのアームを有するアーム部と、前記アーム部を駆動させるための駆動部とを有する搬送ロボットと、前記搬送ロボットが配置される搬送空間と、前記搬送ロボットの前記駆動部に対して腐食性を有するガスを前記搬送空間に供給するガス供給部とを備え、前記搬送ロボットは、前記アーム部における前記駆動部によって駆動される駆動部分と前記駆動部分に対向する部材との間に介在することで前記駆動部を前記搬送ロボットの外部から封止することが可能な封止部材を有し、前記封止部材によって前記駆動部が前記外部から封止される封止状態と前記封止部材によって前記駆動部が前記外部から封止されない非封止状態とを選択的に取る、搬送装置の制御方法において、前記搬送ロボットを駆動させる駆動ステップと、前記搬送空間に前記ガスを供給するガス供給ステップとを備え、前記駆動ステップにおいて少なくとも前記駆動部によって前記アーム部を駆動させるとき、前記搬送ロボットを前記非封止状態に維持し、前記ガス供給ステップの間、前記搬送ロボットを前記封止状態に維持することを特徴とする、制御方法が提供される。

【0008】

第１及び第２観点によれば、駆動処理（駆動ステップ）において少なくとも駆動部によってアーム部を駆動させるときは搬送ロボットを非封止状態に維持する一方、ガス供給処理（ガス供給ステップ）の間は搬送ロボットを封止状態に維持する。これにより、封止部材の摩耗を抑制しつつ、搬送ロボットの駆動部の腐食を防止することができる。

【0009】

前記搬送ロボットは、前記アーム部を支持する支持部を有し、前記駆動部は、前記支持部に対して前記アーム部を昇降させるための昇降駆動部を含み、前記封止部材は、前記昇降駆動部の駆動により前記アーム部が前記支持部に対して最も近くに配置されたときに前記アーム部と前記支持部との間に介在する位置に設けられてよい。この場合、アーム部の昇降時に生じ得る封止部材の摩耗を抑制することができる。また、封止状態のときの搬送ロボットの昇降方向のサイズを小さくすることができる。さらに、封止状態のときの支持部の内部空間を小さくすることができるため、搬送ロボットの駆動時に搬送空間に排出される支持部の内部空間の非滅菌ガスの量を少なくすることができる。

【0010】

前記搬送ロボットは、前記アーム部を支持する支持部を有し、前記駆動部は、前記支持部に対して前記アーム部を昇降させるための昇降駆動部を含み、前記封止部材は、前記昇降駆動部の駆動により前記アーム部が前記支持部に対して最も遠くに配置されたときに前記アーム部と前記支持部との間に介在する位置に設けられてよい。この場合、アーム部の昇降時に生じ得る封止部材の摩耗を抑制することができる。また、支持部の外面においてガスに晒される面積が大きくなり、支持部の外面に対する広範囲の滅菌を行うことができる。

【0011】

前記搬送ロボットは、前記アーム部を支持する支持部を有し、前記駆動部は、前記支持部に対して前記アーム部を回転させるための回転駆動部を含んでよい。この場合、アーム部の回転時に生じ得る封止部材の摩耗を抑制することができる。

【0012】

前記アーム部は、前記アームと、前記アームを支持するアームベースとを有し、前記駆動部は、前記アームベースに対して前記アームを回転させるためのアーム回転駆動部を含み、前記封止部材は、前記アーム回転駆動部に含まれるアームシャフトであって前記アームの回転中心を構成するアームシャフトの周囲に設けられた中空部材を含み、前記中空部材の中空部に圧力を供給するための圧力供給部をさらに備え、前記制御部は、前記中空部に圧力を供給するよう前記圧力供給部を制御することで、前記搬送ロボットを前記非封止状態から前記封止状態に切り換えてよい。この場合、比較的簡単な構成で上記効果（封止部材の摩耗を抑制しつつ搬送ロボットの駆動部の腐食を防止することができるという効果）を得ることができる。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、駆動処理（駆動ステップ）において少なくとも駆動部によってアーム部を駆動させるときは搬送ロボットを非封止状態に維持する一方、ガス供給処理（ガス供給ステップ）の間は搬送ロボットを封止状態に維持することで、封止部材の摩耗を抑制しつつ搬送ロボットの駆動部の腐食を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本発明の一実施形態に係る搬送装置の水平方向に沿った断面図である。

【図2】本発明の一実施形態に係る搬送ロボットを示す斜視図である。

【図3】本発明の一実施形態に係る搬送ロボットを示す平面図である。

【図4】（ａ）は、本発明の一実施形態に係る搬送ロボットにおける図３（ａ）のＩＶＡ−ＩＶＡ線に沿った断面図である。（ｂ）は、図４（ａ）に示す領域ＩＶＢの部分拡大図である。

【図5】（ａ）は、本発明の一実施形態に係る搬送ロボットにおける図３（ｂ）のＶＡ−ＶＡ線に沿った断面図である。（ｂ）は、図５（ａ）に示す領域ＶＢの部分拡大図である。（ｃ）は、中空Ｏリングが膨らんだ状態を示す、図５（ｂ）に対応する部分拡大図である。

【図6】本発明の一実施形態に係る搬送装置の電気的構成を示すブロック図である。

【図7】本発明の一実施形態に係る搬送装置の制御方法を示すフロー図である。

【図8】本発明の別の実施形態に係る搬送ロボットの封止部材を示す、図４（ｂ）に対応する部分拡大図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

本発明の一実施形態に係る搬送装置１は、細胞の培養や試験、基板（例えば、半導体ウェハ、液晶ディスプレイ）の処理等に用いられるものであり、図１に示すように、搬送ロボット１０と、搬送ロボット１０が配置される搬送空間２０ｘを画定する筐体２０とを有する。搬送装置１は、さらに、図６に示すように、搬送空間２０ｘにガス（例えば、過酸化水素ガス等の滅菌ガス）を供給するガス供給部４０と、搬送ロボット１０及びガス供給部４０を制御する制御部１００とを有する。ガス供給部４０は、ガスタンク（図示略）に貯留されたガスを搬送空間２０ｘに供給するためのポンプ等を含む。

【0016】

筐体２０は、鉛直方向に延在した側壁２０ａ〜２０ｄ（図１参照）と、水平方向に延在した下壁及び上壁（図示略）とを有する。一対の側壁２０ａ，２０ｂは、搬送空間２０ｘを挟んで対向し、且つ、それぞれ搬送ロボット１０が走行する方向（水平面に沿った方向であり、以下、「走行方向」という。）に延在している。一対の側壁２０ｃ，２０ｄは、搬送空間２０ｘを挟んで対向し、且つ、それぞれ鉛直方向と走行方向との両方と直交する方向（以下、「直交方向」という。）に延在している。

【0017】

搬送空間２０ｘの周辺には、搬送ロボット１０による搬送物（細胞が収容された容器、基板等）の搬送先となる複数の周辺空間５０が配置されている。本実施形態では、一対の側壁２０ａ，２０ｂに対してそれぞれ４つの周辺空間５０が対向するように配置されている。搬送空間２０ｘは、一対の側壁２０ａ，２０ｂのそれぞれに形成された４つの連通口２１を介して、各周辺空間５０と連通している。一対の側壁２０ａ，２０ｂの一方（側壁２０ａ）の内側面には、搬送ロボット１０をガイドするための走行方向に延在したガイド部材３０が設けられている。

【0018】

搬送ロボット１０は、図２〜図５に示すように、搬送物を保持するためのアーム１１ａ及びアーム１１ａを支持するアームベース１１ｂを有するアーム部１１と、アーム部１１を昇降可能且つ回転可能に支持する支持部１２と、支持部１２をアーム部１１と共に走行方向に走行させるための走行モータ１２Ｍ１と、支持部１２に対してアーム部１１を昇降させるための昇降駆動部（昇降モータ１２Ｍ２及び昇降機構１３）と、支持部１２に対してアーム部１１を回転させるための回転駆動部（回転モータ１２Ｍ３、シャフト１２Ｓ等）と、アームベース１１ｂに対してアーム１１ａを回転させるためアーム回転駆動部（アームモータ１１Ｍ、アームシャフト１１Ｓ１〜１１Ｓ３等）とを有する。

【0019】

アーム１１ａは、図２〜図５に示すように、互いに回転可能に連結された３つのアーム要素１１ａ１〜１１ａ３と、搬送物が載置されるプレート１１ｘとを含む。アーム要素１１ａ１は、一端がアームベース１１ｂの上面に取り付けられており、当該一端を通って鉛直方向に延在したアーム軸線１１ａｘ（図３（ａ），（ｂ）及び図４（ａ）参照）を中心として、アームベース１１ｂに対して回転可能である。アーム要素１１ａ２は、一端がアーム要素１１ａ１の他端の上面に取り付けられており、当該一端を通って鉛直方向に延在した軸線を中心として、アーム要素１１ａ１に対して回転可能である。アーム要素１１ａ３は、一端がアーム要素１１ａ２の他端の上面に取り付けられており、当該一端を通って鉛直方向に延在した軸線を中心として、アーム要素１１ａ２に対して回転可能である。プレート１１ｘは、アーム要素１１ａ３の他端の側面に固定されている。

【0020】

アーム要素１１ａ１の一端の下方におけるアームベース１１ｂの内部に、減速機１１Ｒ付きのアームモータ１１Ｍが配置されている（図５（ａ）参照）。また、アーム要素１１ａ１の一端及び他端のそれぞれにプーリ１１Ｐ１，１１Ｐ２が配置され、プーリ１１Ｐ１，１１Ｐ２にベルト１１Ｂ１が巻回され、アーム要素１１ａ２の一端及び他端のそれぞれにプーリ１１Ｐ３，１１Ｐ４が配置され、プーリ１１Ｐ３，１１Ｐ４にベルト１１Ｂ２が巻回され、プーリ１１Ｐ１がアームモータ１１Ｍの駆動軸（アームシャフト１１Ｓ１）に固定され、プーリ１１Ｐ２がアームシャフト１１Ｓ２を介してプーリ１１Ｐ３に固定され、プーリ１１Ｐ４がアームシャフト１１Ｓ３を介してアーム要素１１ａ３の一端に固定されている。

【0021】

アームモータ１１Ｍの駆動力がアーム要素１１ａ１〜１１ａ３に順次伝達され、各アーム要素１１ａ１〜１１ａ３が回転することで、アーム１１ａの伸縮動作が実現される（図３（ａ），（ｂ）参照）。搬送ロボット１０を連通口２１と対向させた状態でアーム１１ａを伸長させることで、プレート１１ｘが連通口２１を通過し、周辺空間５０に搬送物を搬送することができる。

【0022】

アームベース１１ｂは、図４（ａ）に示すように、アーム１１ａと支持部１２との間に介在し、アーム１１ａと共に昇降可能且つ回転可能に支持部１２に支持されている。アーム部１１は、プレート１１ｘが連通口２１の鉛直方向の範囲内となるように昇降する。

【0023】

アームベース１１ｂは、回転モータ１２Ｍ３の駆動により、ベース軸線１１ｂｘを中心として支持部１２に対して回転する。回転モータ１２Ｍ３は、アームベース１１ｂ及び支持部１２の内部であって、アームベース１１ｂにおける水平面の中央に配置されている。ベース軸線１１ｂｘは、アームベース１１ｂにおける水平面の中央において鉛直方向に延在している。また、図５（ａ）に示すように、回転モータ１２Ｍ３は減速機１２Ｒ付きであり、回転モータ１２Ｍ３の駆動軸（シャフト１２Ｓ）がアームベース１１ｂに固定されている。

【0024】

各アームシャフト１１Ｓ１〜１１Ｓ３の周囲には、図５（ａ）に示すように、中空Ｏリング１５ｂが設けられている。中空Ｏリング１５ｂは、ゴム等の弾性材料からなる中空部を有する環状の部材であり、制御部１００の制御によりインフレータ１５ｂｘ（図６参照）が駆動すると、中空部に圧力が供給され、膨張する（図５（ｂ），（ｃ）参照）。これにより、アームシャフト１１Ｓ１〜１１Ｓ３の周囲空間が密閉され、アーム回転駆動部（アームモータ１１Ｍ、アームシャフト１１Ｓ１〜１１Ｓ３、プーリ１１Ｐ１〜１１Ｐ４、ベルト１１Ｂ１，１１Ｂ２等）が搬送ロボット１０の外部から封止される。中空Ｏリング１５ｂは本発明に係る「中空部材」に該当し、インフレータ１５ｂｘは本発明に係る「圧力供給部」に該当する。即ち、搬送ロボット１０は、アーム部１１における駆動部（アーム回転駆動部）によって駆動される駆動部分（アームシャフト１１Ｓ１〜１１Ｓ３）と当該駆動部分に対向する部材との間に介在することでアーム回転駆動部を搬送ロボット１０の外部から封止することが可能な封止部材（中空Ｏリング１５ｂ）を有し、封止部材（中空Ｏリング１５ｂ）によってアーム回転駆動部が搬送ロボット１０の外部から封止される封止状態（図５（ｃ）に示す状態）と、封止部材（中空Ｏリング１５ｂ）によってアーム回転駆動部が搬送ロボット１０の外部から封止されない非封止状態（図５（ｂ）に示す状態）とを選択的に取り得る。図５（ｂ）に示す状態において、中空Ｏリング１５ｂは膨張しておらず、アームシャフト１１Ｓ１〜１１Ｓ３の周囲空間が密閉されておらず、アーム回転駆動部は搬送ロボット１０の外部から封止されていない。

【0025】

支持部１２には、図４（ａ）に示すように、昇降機構１３が設けられている。昇降機構１３は、プーリ１３ｐ、プーリ１３ｐと昇降モータ１２Ｍ２とに巻回されたベルト（図示略）、プーリ１３ｐの回転軸に固定され且つ鉛直方向に延在したボールねじ１３ｘ、ボールねじ１３ｘの周面に形成された雄ねじ部に噛み合う雌螺子部が内周面に形成された筒部１３ｙ、及び、筒部１３ｙとアームベース１１ｂとを連結する連結部１３ｚを含む。昇降モータ１２Ｍ２の駆動により、プーリ１３ｐ及びボールねじ１３ｘが回転し、連結部１３ｚが昇降するのに伴い、アーム部１１が昇降する。

【0026】

支持部１２の上部の周囲（アームベース１１ｂの下端と鉛直方向に対向する部分）には、Ｏリング１５ａが設けられている（図４（ａ），（ｂ）及び図５（ａ）参照）。Ｏリング１５ａは、ゴム等の弾性材料からなる環状の部材であり、昇降駆動部（昇降モータ１２Ｍ２及び昇降機構１３）の駆動によりアーム部１１が最も下方（支持部１２に対して最も近く）に配置されたときに、アーム部１１と支持部１２との間に介在する。アーム部１１が最も下方に配置されたとき、アームベース１１ｂと支持部１２との間にＯリング１５ａが介在し、昇降駆動部（昇降モータ１２Ｍ２及び昇降機構１３）と回転駆動部（回転モータ１２Ｍ３、シャフト１２Ｓ等）とが搬送ロボット１０の外部から封止される。即ち、搬送ロボット１０は、アーム部１１における駆動部（昇降駆動部及び回転駆動部）によって駆動される駆動部分（アームベース１１ｂ）と当該駆動部分に対向する部材との間に介在することで昇降駆動部及び回転駆動部を搬送ロボット１０の外部から封止することが可能な封止部材（Ｏリング１５ａ）を有し、封止部材（Ｏリング１５ａ）によって昇降駆動部及び回転駆動部が搬送ロボット１０の外部から封止される封止状態（図４（ａ），（ｂ）及び図５（ａ）に示す状態）と、封止部材（Ｏリング１５ａ）によって昇降駆動部及び回転駆動部が搬送ロボット１０の外部から封止されない非封止状態（図４（ａ），（ｂ）及び図５（ａ）に示す状態よりもアーム部１１が上方に位置する状態）とを選択的に取り得る。

【0027】

支持部１２には、さらに、ガイド部材３０のラックと噛合するピニオン（図示略）が設けられている。走行モータ１２Ｍ１の駆動によってピニオンが回転し、ピニオンがラック上を移動することで、搬送ロボット１０が走行方向に移動する。

【0028】

次いで、図７を参照し、制御部１００による制御内容について説明する。

【0029】

制御部１００は、先ず、外部からの指令に基づき、搬送ロボット１０を駆動させる（Ｓ１：駆動処理・駆動ステップ）。Ｓ１において、制御部１００は、搬送ロボット１０の走行、昇降及び／又は回転が実現されるよう、走行モータ１２Ｍ１、昇降モータ１２Ｍ２、回転モータ１２Ｍ３及びアームモータ１１Ｍを制御する。

【0030】

なお、Ｓ１において搬送ロボット１０が搬送空間２０ｘ内で駆動する間、搬送空間２０ｘ内の雰囲気は清浄に維持されている。

【0031】

Ｓ１の間、制御部１００は、搬送ロボット１０を非封止状態（封止部材（Ｏリング１５ａ）によって昇降駆動部及び回転駆動部が搬送ロボット１０の外部から封止されず、且つ、封止部材（中空Ｏリング１５ｂ）によってアーム回転駆動部が搬送ロボット１０の外部から封止されない状態）に維持する。即ち、アームベース１１ｂの下端がＯリング１５ａと接触しない範囲でアーム部１１を昇降させ、且つ、中空Ｏリング１５ｂの中空部に圧力を供給せず、中空Ｏリング１５ｂを図５（ｂ）の状態に維持する。

【0032】

Ｓ１の後、制御部１００は、外部からガス供給指令を受信したか否かを判断する（Ｓ２）。ガス供給指令を受信していないと判断した場合（Ｓ２：ＮＯ）、制御部１００は、Ｓ２の処理を繰り返す。ガス供給指令を受信したと判断した場合（Ｓ２：ＹＥＳ）、制御部１００は、昇降モータ１２Ｍ２、回転モータ１２Ｍ３及びアームモータ１１Ｍの駆動を停止させることで搬送ロボット１０の昇降及び回転を停止させた後、走行モータ１２Ｍ１を駆動することで搬送ロボット１０を搬送空間２０ｘに定められた待機位置に移動させる（Ｓ３）。

【0033】

Ｓ３の後、制御部１００は、搬送ロボット１０を非封止状態（封止部材（Ｏリング１５ａ）によって昇降駆動部及び回転駆動部が搬送ロボット１０の外部から封止されず、且つ、封止部材（中空Ｏリング１５ｂ）によってアーム回転駆動部が搬送ロボット１０の外部から封止されない状態）から封止状態（封止部材（Ｏリング１５ａ）によって昇降駆動部及び回転駆動部が搬送ロボット１０の外部から封止され、且つ、封止部材（中空Ｏリング１５ｂ）によってアーム回転駆動部が搬送ロボット１０の外部から封止される状態）に切り換える（Ｓ４）。Ｓ４において、制御部１００は、昇降モータ１２Ｍ２を駆動することでアーム部１１を最も下方に配置して、アームベース１１ｂと支持部１２との間をＯリング１５ａによって封止し（図４（ａ），（ｂ）及び図５（ａ）参照）、且つ、インフレータ１５ｂｘを駆動することで、中空Ｏリング１５ｂの中空部に圧力を供給して中空Ｏリング１５ｂを膨張させ、アームシャフト１１Ｓ１〜１１Ｓ３の周囲空間を密閉する（図５（ｃ）参照）。

【0034】

Ｓ４の後、制御部１００は、搬送ロボット１０の駆動を停止させた状態で、ガス供給部４０を駆動させ、搬送空間２０ｘにガスを供給する（Ｓ５：ガス供給処理・ガス供給ステップ）。当該ガスは、搬送ロボット１０の駆動部（昇降駆動部、回転駆動部及びアーム回転駆動部）に対して腐食性を有するガス（例えば、過酸化水素ガス）である。

【0035】

Ｓ５の間、制御部１００は、搬送ロボット１０を封止状態に維持する。即ち、アームベース１１ｂの下端がＯリング１５ａと接触して支持部１２とアームベース１１ｂとの間にＯリング１５ａが介在し、Ｏリング１５ａによって昇降駆動部及び回転駆動部が外部から封止された状態（図４（ａ），（ｂ）及び図５（ａ）参照）と、中空Ｏリング１５ｂが膨張してアームシャフト１１Ｓ１〜１１Ｓ３の周囲空間が密閉され、アーム回転駆動部が搬送ロボット１０の外部から封止された状態（図５（ｃ）参照）とを維持する。

【0036】

Ｓ５の後、制御部１００は、当該ルーチンを終了する。

【0037】

以上に述べたように、本実施形態によれば、Ｓ１（駆動処理・駆動ステップ）において少なくとも駆動部（昇降駆動部、回転駆動部及びアーム回転駆動部）によってアーム部１１を駆動させるときには搬送ロボット１０を非封止状態に維持する一方、Ｓ５（ガス供給処理・ガス供給ステップ）の間は搬送ロボット１０を封止状態に維持する。これにより、Ｏリング１５ａ，１５ｂの摩耗を抑制しつつ、搬送ロボット１０の駆動部の腐食を防止することができる。

【0038】

駆動部は、支持部１２に対してアーム部１１を昇降させるための昇降駆動部（昇降モータ１２Ｍ２及び昇降機構１３）を含み、Ｏリング１５ａは、昇降駆動部の駆動によりアーム部１１が最も下方（支持部１２に対して最も近く）に配置されたときに、アーム部１１と支持部１２との間に介在する位置に設けられている（図４（ａ），（ｂ）及び図５（ａ）参照）。この場合、アーム部１１の昇降時に生じ得るＯリング１５ａの摩耗を抑制することができる。また、封止状態のときの搬送ロボット１０の昇降方向（鉛直方向）のサイズを小さくすることができる。さらに、封止状態のときの支持部１２の内部空間を小さくすることができるため、搬送ロボット１０の駆動時に搬送空間２０ｘに排出される支持部１２の内部空間の非滅菌ガスの量を少なくすることができる。

【0039】

駆動部は、支持部１２に対してアーム部１１を回転させるための回転駆動部（回転モータ１２Ｍ３、シャフト１２Ｓ等）を含む。この場合、アーム部１１の回転時に生じ得るＯリング１５ａの摩耗を抑制することができる。

【0040】

駆動部は、アームベース１１ｂに対してアーム１１ａを回転させるためのアーム回転駆動部（アームモータ１１Ｍ、アームシャフト１１Ｓ１〜１１Ｓ３等）を含み、封止部材は、各シャフト１１Ｓ１〜１１Ｓ３の周囲に設けられた中空Ｏリング１５ｂを含む。制御部１００は、中空Ｏリング１５ｂの中空部に圧力を供給するようインフレータ１５ｂｘを制御することで、搬送ロボット１０を非封止状態から封止状態に切り換える（図５（ａ），（ｂ）参照）。この場合、比較的簡単な構成で上記効果（封止部材の摩耗を抑制しつつ搬送ロボット１０の駆動部の腐食を防止することができるという効果）を得ることができる。

【0041】

続いて、図８を参照し、本発明の別の実施形態について説明する。本実施形態は、Ｏリング１５ａの配置、並びに、アームベース１１ｂ及び支持部１２におけるＯリング１５ａが配置される部分の構成が、上述の実施形態と異なる。

【0042】

本実施形態では、アームベース１１ｂの下端に、内側に突出した内側突出部１１ｂｔが設けられている。支持部１２の上端に、外側に突出した外側突出部１２ｔが設けられている。内側突出部１１ｂｔの先端の上面と外側突出部１２ｔの先端の下面とが、鉛直方向に対向する。Ｏリング１５ａは、外側突出部１２ｔの下面に設けられている。アーム部１１は、内側突出部１１ｂｔがＯリング１５ａの下方に位置する範囲内で、昇降可能となっている。Ｏリング１５ａは、昇降駆動部（昇降モータ１２Ｍ２及び昇降機構１３）の駆動によりアーム部１１が最も上方（支持部１２に対して最も遠く）に配置されたときに、アーム部１１と支持部１２との間に介在する位置に設けられている。

【0043】

本実施形態によれば、アーム部１１の昇降時に生じ得るＯリング１５ａの摩耗を抑制することができる。また、支持部１２の外面においてガスに晒される面積が大きくなり、支持部１２の外面に対する広範囲の滅菌を行うことができる。

【0044】

以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、例えば以下のように、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。

【0045】

駆動処理（駆動ステップ）において、少なくとも駆動部によってアーム部を駆動させるときに、搬送ロボットが非封止状態に維持されればよく、例えば、搬送ロボットの走行時に搬送ロボットが封止状態となってもよい。
搬送空間に供給されるガスは、搬送ロボットの駆動部に対して腐食性を有する限り、過酸化水素ガスに限定されず、任意である。
ガスの供給タイミング及び供給時間は、任意である。例えば、ガスの供給タイミングは数週間に１度等であってよく、ガスの供給時間は数時間等であってよい。
封止部材は、任意の部材に対して固定されてよい。例えば、Ｏリング１５ａ（図４（ｂ）及び図８参照）は、支持部１２ではなくアームベース１１ｂに固定されてよい。
封止部材は、搬送空間に供給されるガスに対する耐性を有する材料（例えば、過酸化水素ガスの場合、フッ素系ゴム等）からなることが好ましいが、これに限定されない。
封止部材として、上述の実施形態ではＯリング１５ａ及び中空Ｏリング１５ｂを例示したが、これらのうち一方のみを設けてもよい。即ち、Ｏリング１５ａ及び中空Ｏリング１５ｂの一方を省略してもよい。
アームは、複数のアーム要素で構成されることに限定されず、１つのアーム要素で構成されてもよい。また、単数又は複数のアーム要素で構成されたアームを複数設けてもよい。
アームは、鉛直方向と交差する方向に延在する軸線を中心としてアームベースに対して回転してもよい。
ガイド部材は、筐体の側壁に設けられることに限定されず、例えば筐体の下壁に設けられてもよい。
複数の周辺空間は、搬送空間の周辺の任意の位置に配置されてよい。例えば、複数の周辺空間は、搬送空間の周囲全体に亘って配置されてもよい。或いは、複数の周辺空間は、搬送空間の一方側のみに設けられてもよい。複数の周辺空間は、互いに異なる構成であってもよいし、互いに同じ構成であってもよい。
「封止状態」とは、搬送ロボットの駆動部を収容した空間と搬送ロボットの外部との連通が駆動部の腐食を防止可能な程度に遮断された状態をいい、完全な密封状態に限定されるものではない。

【符号の説明】

【0046】

１ 搬送装置
１０ 搬送ロボット
１１ アーム部
１１ａ アーム
１１ｂ アームベース
１１Ｍ アームモータ（駆動部、アーム回転駆動部）
１１Ｓ１〜１１Ｓ３ アームシャフト（駆動部、アーム回転駆動部）
１２ 支持部
１２Ｍ２ 昇降モータ（駆動部、昇降駆動部）
１２Ｍ３ 回転モータ（駆動部、回転駆動部）
１２Ｓ シャフト（駆動部、回転駆動部）
１３ 昇降機構（駆動部、昇降駆動部）
１５ａ Ｏリング（封止部材）
１５ｂ 中空Ｏリング（封止部材、中空部材）
１５ｂｘ インフレータ（圧力供給部）
２０ｘ 搬送空間
４０ ガス供給部
１００ 制御部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】