特開2017-133070(P2017-133070A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2017-133070酸化亜鉛薄膜製造装置、マルチプラズマ酸化亜鉛薄膜製造装置、酸化亜鉛薄膜製造方法
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