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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】特開2017-183408(P2017-183408A)
(43)【公開日】2017年10月5日
(54)【発明の名称】ロードポート
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20170908BHJP
H01L 21/673 20060101ALI20170908BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 A
H01L21/68 T
【審査請求】未請求
【請求項の数】9
【出願形態】ＯＬ
【全頁数】25
(21)【出願番号】特願2016-66084(P2016-66084)
(22)【出願日】2016年3月29日
(71)【出願人】
【識別番号】000002059
【氏名又は名称】シンフォニアテクノロジー株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001841
【氏名又は名称】特許業務法人梶・須原特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】三浦 辰弥
(72)【発明者】
【氏名】小倉 源五郎
(72)【発明者】
【氏名】重田 貴司
(72)【発明者】
【氏名】小笠原 幸雄
(72)【発明者】
【氏名】河合 俊宏
(72)【発明者】
【氏名】谷山 育志
【テーマコード（参考）】
5F131
【Ｆターム（参考）】
5F131AA02
5F131AA03
5F131CA12
5F131CA55
5F131DA02
5F131DA32
5F131DA42
5F131DB52
5F131DB62
5F131DB76
5F131FA02
5F131FA14
5F131FA32
5F131FA33
5F131GA14
5F131GA15
5F131GA16
5F131GA22
5F131GA76
5F131GA83
5F131GA88
5F131GA92
5F131GB13
5F131HA04
5F131HA06
5F131HA29
5F131JA04
5F131JA08
5F131JA16
5F131JA23
5F131JA25
5F131JA27
5F131JA32
5F131JA33
5F131JA35
5F131KA05
5F131KA24
5F131KB32
5F131KB44
(57)【要約】
【課題】ＦＯＵＰをドアに向かって移動させたときに、ＦＯＵＰとドアとが接触するのを防止し、ロードポートと、ＦＯＵＰまたはドアとのシールが解除されるのを防ぐことができるロードポートを提供する。【解決手段】ベース２１と、開口部４３と、ドア５１と、ベース２１と容器７との間をシールする第１シール部材４３と、ベース２１とドア５１との間をシールする第２シール部材４４とを備え、容器７を載置する載置台２４に容器７が載置された後、ドア５１が第２シール部材４４と当接し、かつドア５１の容器７側の端面がドア５１と第２シール部材４４との当接面よりも容器７側にある初期位置から、容器７と反対方向にドア５１を退避させる。
【選択図】図１１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
搬送空間を外部空間から隔離する壁の一部を構成するベースと、
前記ベースに設けられた開口部と、
前記開口部の開閉と、収容物を収容した容器に対する蓋体の固定及び固定の解除が可能なドアと、
前記ベースと前記容器との間をシールする第１シール部材と、
前記ベースと前記ドアとの間をシールする第２シール部材と、
を備え、
前記容器を載置する載置台に前記容器が載置された後、前記ドアが前記第２シール部材と当接し、かつ前記ドアの前記容器側の端面が前記ドアと前記第２シール部材との当接面よりも前記容器側にある初期位置から、前記容器と反対方向に前記ドアを退避させることを特徴とするロードポート。
前記ベースに設けられた開口部と、
前記開口部の開閉と、収容物を収容した容器に対する蓋体の固定及び固定の解除が可能なドアと、
前記ベースと前記容器との間をシールする第１シール部材と、
前記ベースと前記ドアとの間をシールする第２シール部材と、
を備え、
前記容器を載置する載置台に前記容器が載置された後、前記ドアが前記第２シール部材と当接し、かつ前記ドアの前記容器側の端面が前記ドアと前記第２シール部材との当接面よりも前記容器側にある初期位置から、前記容器と反対方向に前記ドアを退避させることを特徴とするロードポート。
【請求項2】
前記ドアを退避させたドア退避位置で、前記ドアが前記第２シール部材と当接していることを特徴とする請求項１に記載のロードポート。
【請求項3】
前記ドアがドア退避位置にあり、
前記第１シール部材を介して前記容器が前記開口部と当接する状態にあるとき、少なくとも前記第１シール部材、前記第２シール部材、前記蓋体、および前記ドアによって密閉空間が形成され、
前記密閉空間がガスで充填された後、前記退避位置から前記容器に向かって前記ドアを前進させることを特徴とする請求項２に記載のロードポート。
前記第１シール部材を介して前記容器が前記開口部と当接する状態にあるとき、少なくとも前記第１シール部材、前記第２シール部材、前記蓋体、および前記ドアによって密閉空間が形成され、
前記密閉空間がガスで充填された後、前記退避位置から前記容器に向かって前記ドアを前進させることを特徴とする請求項２に記載のロードポート。
【請求項4】
前記ドアを前進させたドア前進位置で、前記ドアが前記蓋体と接触していることを特徴とする請求項３に記載のロードポート。
【請求項5】
前記ドアが進退する方向における前記第２シール部材の寸法が、前記ドアが進退する方向における前記第１シール部材の寸法よりも大きいことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のロードポート。
【請求項6】
搬送空間を外部空間から隔離する壁の一部を構成するベースと、
前記ベースに設けられた開口部と、
前記開口部の開閉と、収容物を収容した容器に対する蓋体の固定及び固定の解除が可能なドアと、
前記ベースと前記容器との間をシールする第１シール部材と、
前記ベースと前記ドアとの間をシールする第２シール部材と、
を備え、
前記容器を載置する載置台に前記容器が載置された後、載置位置から、前記容器が前記第１シール部材と当接し、かつ前記第２シール部材と当接する前記ドアの前記容器側の端面と前記容器とが所定の間隔を隔てた容器退避位置まで、前記ドアに向かって前記容器を前進させることを特徴とするロードポート。
前記ベースに設けられた開口部と、
前記開口部の開閉と、収容物を収容した容器に対する蓋体の固定及び固定の解除が可能なドアと、
前記ベースと前記容器との間をシールする第１シール部材と、
前記ベースと前記ドアとの間をシールする第２シール部材と、
を備え、
前記容器を載置する載置台に前記容器が載置された後、載置位置から、前記容器が前記第１シール部材と当接し、かつ前記第２シール部材と当接する前記ドアの前記容器側の端面と前記容器とが所定の間隔を隔てた容器退避位置まで、前記ドアに向かって前記容器を前進させることを特徴とするロードポート。
【請求項7】
前記容器が容器退避位置にあるとき、少なくとも前記第１シール部材、前記第２シール部材、前記蓋体、および前記ドアによって密閉空間が形成され、
前記密閉空間がガスで充填された後、前記容器退避位置から前記ドアに向かって前記容器を前進させることを特徴とする請求項６に記載のロードポート。
前記密閉空間がガスで充填された後、前記容器退避位置から前記ドアに向かって前記容器を前進させることを特徴とする請求項６に記載のロードポート。
【請求項8】
前記容器を前進させた容器前進位置で、前記蓋体が前記ドアと接触していることを特徴とする請求項７に記載のロードポート。
【請求項9】
前記容器が前進し、かつ前進方向と反対に退避する方向における前記第１シール部材の寸法が、前記容器が進退する方向における前記第２シール部材の寸法よりも大きいことを特徴とする請求項６から８のいずれかに記載のロードポート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、搬送中のウェーハを外気に晒すことのないよう、ウェーハ搬送室内のガスを循環させることのできるロードポートに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、基板としてのウェーハに対し種々の処理工程が施されることにより半導体の製造がなされてきている。近年では素子の高集積化や回路の微細化がますます進められており、ウェーハ表面への酸素、水分やパーティクルの付着が生じないように、ウェーハ周辺を高いクリーン度に維持することが求められている。さらに、ウェーハ表面が酸化するなど表面の性状が変化することがないよう、ウェーハ周辺を不活性ガスである窒素雰囲気としたり、真空状態としたりすることも行われている。
【0003】
こうしたウェーハ周辺の雰囲気を適切に維持するために、ウェーハは、ＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）と呼ばれる密閉式の格納ポッドの内部に入れて管理され、この内部には窒素が充填される。さらに、ウェーハに処理を行う処理装置と、ＦＯＵＰとの間でウェーハの受け渡しを行うためのロードポート（Load Port）とが利用される。ロードポートは、ウェーハ処理装置を外部空間から隔離する壁の一部を構成し、処理装置とＦＯＵＰとの間でのインターフェース部として機能する。処理装置とロードポートとが直接、接続されることがある一方、処理装置とロードポートとの間には、ＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）が配置されることもある。ＥＦＥＭは、筐体の内部で略閉止されたウェーハ搬送室を構成するとともに、その対向壁面の一方にＦＯＵＰとの間でのインターフェース部として機能するロードポートを備えるとともに、他方に処理装置と搬送室とが直接連通することを防ぐためのロードロック室が接続される。ウェーハ搬送室内には、ウェーハを搬送するためのウェーハ搬送装置が設けられており、このウェーハ搬送装置を用いて、ロードポートに接続されるＦＯＵＰとロードロック室との間でウェーハの出し入れが行われる。ウェーハ搬送室は、通常、搬送室上部に配置したファンフィルタユニットから清浄な大気であるダウンフローを常時流している。
【0004】
さらに、近年では、ウェーハの最先端プロセスにおいては、ダウンフローとして用いられる清浄な大気に含まれる酸素、水分などですら、ウェーハの性状を変化させるおそれがある。このため特許文献１のように、不活性ガスをＥＦＥＭ内に循環させる技術の実用化が求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開２０１４―１１２６３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかし、特許文献１に記載のロードポートでは、ロードポートのドアの端面がＦＯＵＰ（容器）側に突出している。このため、ＦＯＵＰをドアに向かって移動させたときに、ＦＯＵＰとドアとが接触して衝突し、ロードポートと、ＦＯＵＰまたはドアとのシールが解除されるという問題がある。さらに、ロードポートのドアの端面がＦＯＵＰ側に突出している場合でなくとも、不活性ガスが注入されてＦＯＵＰ内の圧力が高くなった結果、その圧力によってＦＯＵＰの蓋の一部が膨張あるいは蓋全体がロードポート側に突出してしまう場合にも同様の問題が起こりうる。
【0007】
そこで、この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、ＦＯＵＰをドアに向かって移動させたときに、ＦＯＵＰとドアとが接触するのを防止し、ロードポートと、ＦＯＵＰまたはドアとのシールが解除されるのを防ぐことができるロードポートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
第１の発明に係るロードポートは、搬送空間を外部空間から隔離する壁の一部を構成するベースと、
前記ベースに設けられた開口部と、
前記開口部の開閉と、収容物を収容した容器に対する蓋体の固定及び固定の解除が可能なドアと、
前記ベースと前記容器との間をシールする第１シール部材と、
前記ベースと前記ドアとの間をシールする第２シール部材と、
を備え、
前記容器を載置する載置台に前記容器が載置された後、前記ドアが前記第２シール部材と当接し、かつ前記ドアの前記容器側の端面が前記ドアと前記第２シール部材との当接面よりも前記容器側にある初期位置から、前記容器と反対方向に前記ドアを退避させることを特徴とする。
【0009】
この発明では、載置台に容器が載置された後、ドアが第２シール部材と当接し、かつドアの容器側の端面がドアと第２シール部材との当接面よりも容器側にある初期位置から、容器と反対方向にドアを退避させる。これにより、第１シール部材と当接するまで容器をドアに向かって移動させたときに、容器とドアとが接触するのを防止できる。従って、ベースと、容器またはドアとの間のシールが解除されるのを防ぐことができる。
【0010】
第２の発明に係るロードポートは、前記ドアを退避させたドア退避位置で、前記ドアが前記第２シール部材と当接していることを特徴とする。
【0011】
この発明では、ドアを退避させたドア退避位置で、ドアが第２シール部材と当接している。これにより、容器をドアに向かって移動させ、容器が第１シール部材と当接したときに、少なくともベース、第１シール部材、第２シール部材、蓋体、およびドアによって密閉空間を形成できる。
【0012】
第３の発明に係るロードポートは、前記ドアがドア退避位置にあり、
前記第１シール部材を介して前記容器が前記開口部と当接する状態にあるとき、少なくとも前記第１シール部材、前記第２シール部材、前記蓋体、および前記ドアによって密閉空間が形成され、
前記密閉空間がガスで充填された後、前記退避位置から前記容器に向かって前記ドアを前進させることを特徴とする。
【0013】
この発明では、密閉空間がガスで充填された後、退避位置から容器に向かってドアを前進させる。これにより、容器とドアとを近づけ、容器に対する蓋体の固定の解除をドアが行って、容器から蓋体の取外しが可能な状態となる。
【0014】
第４の発明に係るロードポートは、前記ドアを前進させたドア前進位置で、前記ドアが前記蓋体と接触していることを特徴とする。
【0015】
この発明では、ドアを前進させたドア前進位置で、ドアが蓋体と接触している。これにより、容器に対する蓋体の固定の解除をドアが確実に行って、容器から蓋体の取外しをできる。またドアが蓋体と接触することで、仮にドアが傾いてドアと第２シール部材との間のシールが解除されたとしても、密閉空間がガスで充填されているため搬送空間に大気が侵入することはない。
【0016】
第５の発明に係るロードポートは、前記ドアが進退する方向における前記第２シール部材の寸法が、前記ドアが進退する方向における前記第１シール部材の寸法よりも大きいことを特徴とする。
【0017】
この発明では、ドアが進退する方向における第２シール部材の寸法が、ドアが進退する方向における第１シール部材の寸法よりも大きい。これにより、ドアと第２シール部材とが当接しシールした状態で、ドアの進退（移動）距離を大きく確保できる。
【0018】
第６の発明に係るロードポートは、搬送空間を外部空間から隔離する壁の一部を構成するベースと、
前記ベースに設けられた開口部と、
前記開口部の開閉と、収容物を収容した容器に対する蓋体の固定及び固定の解除が可能なドアと、
前記ベースと前記容器との間をシールする第１シール部材と、
前記ベースと前記ドアとの間をシールする第２シール部材と、
を備え、
前記容器を載置する載置台に前記容器が載置された後、載置位置から、前記容器が前記第１シール部材と当接し、かつ前記第２シール部材と当接する前記ドアの前記容器側の端面と前記容器とが所定の間隔を隔てた容器退避位置まで、前記ドアに向かって前記容器を前進させることを特徴とする。
【0019】
この発明では、容器を載置する載置台に容器が載置された後、載置位置から、容器が第１シール部材と当接し、かつ第２シール部材と当接するドアの容器側の端面と容器とが所定の間隔を隔てた容器退避位置まで、ドアに向かって容器を前進させる。これにより、第１シール部材と当接するまで容器をドアに向かって移動させたときに、容器とドアとが接触するのを防止できる。従って、ベースと、容器またはドアとの間のシールが解除されるのを防ぐことができる。
【0020】
第７の発明に係るロードポートは、前記容器が容器退避位置にあるとき、少なくとも前記第１シール部材、前記第２シール部材、前記蓋体、および前記ドアによって密閉空間が形成され、
前記密閉空間がガスで充填された後、前記容器退避位置から前記ドアに向かって前記容器を前進させることを特徴とする。
【0021】
この発明では、密閉空間がガスで充填された後、容器退避位置からドアに向かって容器を前進させる。これにより、容器とドアとを近づけ、容器に対する蓋体の固定の解除をドアが行って、容器から蓋体の取外しが可能な状態となる。
【0022】
第８の発明に係るロードポートは、前記容器を前進させた容器前進位置で、前記蓋体が前記ドアと接触していることを特徴とする。
【0023】
この発明では、容器を前進させた容器前進位置で、蓋体がドアと接触している。これにより、容器に対する蓋体の固定の解除をドアが確実に行って、容器から蓋体の取外しをできる。またドアが蓋体と接触することで、仮にドアが傾いてドアと第２シール部材との間のシールが解除されたとしても、密閉空間がガスで充填されているため搬送空間に大気が侵入することはない。
【0024】
第９の発明に係るロードポートは、前記容器が前進し、かつ前進方向と反対に退避する方向における前記第１シール部材の寸法が、前記容器が進退する方向における前記第２シール部材の寸法よりも大きいことを特徴とする。
【0025】
この発明では、容器が前進し、かつ前進方向と反対に退避する方向における第１シール部材の寸法が、容器が進退する方向における第２シール部材の寸法よりも大きい。これにより、容器と第１シール部材とが当接しシールした状態で、容器の進退（移動）距離を大きく確保できる。
【発明の効果】
【0026】
第１の発明では、載置台に容器が載置された後、ドアが第２シール部材と当接し、かつドアの容器側の端面がドアと第２シール部材との当接面よりも容器側にある初期位置から、容器と反対方向にドアを退避させる。これにより、第１シール部材と当接するまで容器をドアに向かって移動させたときに、容器とドアとが接触するのを防止できる。従って、ベースと、容器またはドアとの間のシールが解除されるのを防ぐことができる。
【0027】
第２の発明では、ドアを退避させたドア退避位置で、ドアが第２シール部材と当接している。これにより、容器をドアに向かって移動させ、容器が第１シール部材と当接したときに、少なくともベース、第１シール部材、第２シール部材、蓋体、およびドアによって密閉空間を形成できる。
【0028】
第３の発明では、密閉空間がガスで充填された後、退避位置から容器に向かってドアを前進させる。これにより、容器とドアとを近づけ、容器に対する蓋体の固定の解除をドアが行って、容器から蓋体の取外しが可能な状態となる。
【0029】
第４の発明では、ドアを前進させたドア前進位置で、ドアが蓋体と接触している。これにより、容器に対する蓋体の固定の解除をドアが確実に行って、容器から蓋体の取外しをできる。またドアが蓋体と接触することで、仮にドアが傾いてドアと第２シール部材との間のシールが解除されたとしても、密閉空間がガスで充填されているため搬送空間に大気が侵入することはない。
【0030】
第５の発明では、ドアが進退する方向における第２シール部材の寸法が、ドアが進退する方向における第１シール部材の寸法よりも大きい。これにより、ドアと第２シール部材とが当接しシールした状態で、ドアの進退（移動）距離を大きく確保できる。
【0031】
第６の発明では、容器を載置する載置台に容器が載置された後、載置位置から、容器が第１シール部材と当接し、かつ第２シール部材と当接するドアの容器側の端面と容器とが所定の間隔を隔てた容器退避位置まで、ドアに向かって容器を前進させる。これにより、第１シール部材と当接するまで容器をドアに向かって移動させたときに、容器とドアとが接触するのを防止できる。従って、ベースと、容器またはドアとの間のシールが解除されるのを防ぐことができる。
【0032】
第７の発明では、密閉空間がガスで充填された後、容器退避位置からドアに向かって容器を前進させる。これにより、容器とドアとを近づけ、容器に対する蓋体の固定の解除をドアが行って、容器から蓋体の取外しが可能な状態となる。
【0033】
第８の発明では、容器を前進させた容器前進位置で、蓋体がドアと接触している。これにより、容器に対する蓋体の固定の解除をドアが確実に行って、容器から蓋体の取外しをできる。またドアが蓋体と接触することで、仮にドアが傾いてドアと第２シール部材との間のシールが解除されたとしても、密閉空間がガスで充填されているため搬送空間に大気が侵入することはない。
【0034】
第９の発明では、容器が前進し、かつ前進方向と反対に退避する方向における第１シール部材の寸法が、容器が進退する方向における第２シール部材の寸法よりも大きい。これにより、容器と第１シール部材とが当接しシールした状態で、容器の進退（移動）距離を大きく確保できる。
【図面の簡単な説明】
【0035】
【図1】ＥＦＥＭの側面壁を取り外した状態を示す側面図。
【図3】ＦＯＵＰとロードポートを示す側面断面図。
【図4】ＥＦＥＭを構成するウインドウユニットとドア部を拡大して示す要部拡大斜視図。
【図5】第１実施形態の第１Ｏリングの断面図。
【図6】第１実施形態の第２Ｏリングの断面図。
【図7】密閉空間を形成する各部材の断面図。
【図8】制御部と各センサおよび各駆動部の接続状態を示すブロック図。
【図9】ＦＯＵＰ内のウェーハを取り出し、また取り入れるときの第１実施形態のフローチャート。
【図10】ＦＯＵＰを載置台に載置した状態を示す断面図。
【図14】第２実施形態の第１Ｏリングの断面図。
【図15】第２実施形態の第２Ｏリングの断面図。
【図16】ＦＯＵＰ内のウェーハを取り出し、また取り入れるときの第２実施形態のフローチャート。
【図17】ＦＯＵＰを退避位置まで前進させたときの状態を示す断面図。
【図19】第３実施形態の第１Ｏリングの断面図。
【図20】第３実施形態の第２Ｏリングの断面図。
【図21】ＦＯＵＰ内のウェーハを取り出し、また取り入れるときの第３実施形態のフローチャート。
【図22】ＦＯＵＰを退避位置まで前進させ、ドア部を退避位置まで後退させた状態を示す断面図。
【図24】第１Ｏリングおよび第２Ｏリングの変形例を示す断面図。
【図25】第１Ｏリングおよび第２Ｏリングを一体とした変形例を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【0036】
以下、本発明の実施形態を添付図面に従って説明する。
【0037】
＜第I実施形態＞図１は、ＥＦＥＭ１の側面の壁を取り除くことで内部が見えるようにした側面図である。図１に示すように、ＥＦＥＭ１は、所定の受け渡し位置間でウェーハＷの搬送を行うウェーハ搬送装置２と、このウェーハ搬送装置２を囲むように設けられた箱型の筐体３と、筐体３の前面側の壁の外側に接続されるロードポート４と、制御手段５とから構成されている。ここで、本願においては筐体３より見てロードポート４が接続される側の向きを前方、筐体３より見てロードポート４が接続される側と反対側の向きを後方と定義する。
【0038】
制御手段５がウェーハ搬送装置２の動作を制御することによって、ロードポート４に載置されたＦＯＵＰ（容器）７に収容されているウェーハ（収容物）Ｗを筐体３内部の搬送空間９へ搬送すること及び、各処理が行われた後のウェーハＷをＦＯＵＰ７内へ再び搬送することが可能となっている。
【0039】
ロードポート４はドア部５１（図２参照）を備えており、このドア部５１がＦＯＵＰ７に設けられた蓋体３２と連結してともに移動することで、ＦＯＵＰ７が搬送空間９に対して開放されるようになっている。ＦＯＵＰ７内には載置部が上下方向に多数設けられており、これによって多数のウェーハＷを収容することができる。また、ＦＯＵＰ７内には通常窒素が充填されるとともに、制御手段５の制御によってロードポート４を介してＦＯＵＰ７内の雰囲気を窒素置換することも可能となっている。
【0040】
制御手段５は、筐体３の上部空間に設けられたコントローラユニットとして構成されている。また制御手段５は、ウェーハ搬送装置２の駆動制御、ロードポート４によるＦＯＵＰ７の窒素置換制御、ドア部５１の開閉制御及び、筐体３内における窒素循環制御等を行っている。制御手段５は、ＣＰＵ、メモリ及びインターフェースを備えた通常のマイクロプロセッサ等により構成されるもので、メモリには予め処理に必要なプログラムが格納してあり、ＣＰＵは逐次必要なプログラムを取り出して実行し、周辺ハードリソースと協働して所期の機能を実現するものとなっている。なお、窒素循環制御については後述する。
【0041】
筐体３の内部空間は、仕切り部材８によってウェーハ搬送装置２が駆動する空間である搬送空間９と、ガス帰還路１０とに仕切られている。搬送空間９とガス帰還路１０とは、搬送空間９の上部に幅方向に延在して設けられたガス送出口１１と搬送空間９の下部に幅方向に延在して設けられたガス吸引口１２とにおいてのみ連通している。そして、ガス送出口１１とガス吸引口１２とが搬送空間９内に下降気流を生じさせ、ガス帰還路１０内に上昇気流を生じさせることで、不活性ガスが循環するようになっている。なお、本実施形態においては、不活性ガスとして窒素を用いることとするが、循環させるガスはこれに限られるものではなく、他のガスを用いることもできる。
【0042】
帰還路１０の背面側上部には筐体３内に窒素を導入するガス供給手段１６が接続されている。ガス供給手段１６は、制御手段５からの命令に基づいて窒素の供給と供給の停止を制御することが可能となっている。そのため、窒素の一部が筐体３の外部に流出した場合には、ガス供給手段１６が流出分の窒素を供給することによって、筐体３内の窒素雰囲気を一定に保つことができる。また、背面側下部には筐体３内の窒素ガスを排出するガス排出手段１７が接続されている。ガス排出手段１７は、制御手段５からの命令に基づいて動作して、図示しないシャッタを開放することによって筐体３の内部と外部に設けられた窒素ガス排出先とを連通させることが可能となっている。そして、上述したガス供給手段１６による窒素の供給と併用することにより、筐体３内を窒素雰囲気に置換したり筐体３内の圧力を制御することが可能となっている。なお、本実施形態においては、循環させるガスを窒素とするため、ガス供給手段１６は窒素を供給するが、他のガスを循環させる場合は、ガス供給手段１６はその循環させるガスを供給する。
【0043】
また、ガス送出口１１には第１の送風手段としてのファン１３ａとフィルタ１３ｂとから構成されるファンフィルタユニット１３（ＦＦＵ１３）が設けられている。ファンフィルタユニット１３は、筐体３内を循環する窒素ガス内に含まれるパーティクルを除去するとともに、搬送空間９内へ下方に向けて送風することによって搬送空間９内に下降気流を生じさせている。なお、ＦＦＵ１３は、仕切り部材８に連結され水平方向に延びる支持部材１８によって支持されている。
【0044】
そして、上述したＦＦＵ１３のファン１３ａ及びファン１５によって、筐体３内の窒素ガスは搬送空間９内を下降し、ガス帰還路１０内を上昇することで循環するようになっている。ガス送出口１１は下方に向かって開口されていることから、ＦＦＵ１３によって窒素ガスが下方に向かって送り出される。ガス吸引口１２は上方に向かって開口されていることから、ＦＦＵ１３によって生じさせた下降気流を乱すことなくそのまま下方に向かって窒素ガスを吸引させることができ、これらによって円滑な窒素ガスの流れを作り出すことができる。なお、搬送空間９内に下降気流が生じていることで、ウェーハＷ上部に付着したパーティクルや処理済みウェーハから一時的に放出される放出ガスを除去するとともに、搬送空間９内のウェーハ搬送装置２などの装置が移動することにより、それらの放出ガスやパーティクルが浮遊することを防止している。
【0045】
図２は、ロードポート４の斜視図を示す。以下、ロードポート４の構成を説明する。
【0046】
ロードポート４は、キャスタ及び設置脚の取り付けられる脚部２５の後方よりベース２１を垂直に起立させ、このベース２１の約６０％程度の高さ位置より前方に向けて水平基部２３が設けられている。さらに、この水平基部２３の上部には、ＦＯＵＰ７を載置するための載置台２４が設けられている。
【0047】
ＦＯＵＰ７は、図３に模式的に示すように、ウェーハＷ（図１参照）を収容するための内部空間Ｓｆを備えた本体３１と、ウェーハＷの搬出入口となるべく本体３１の一面に設けられた開口３１ａを開閉する蓋体３２とから構成されている。ＦＯＵＰ７は、載置台２４に正しく載置された場合には蓋体３２がベース２１と対向するようになっている。
【0048】
図２に戻って、載置台２４上には、ＦＯＵＰ７の位置決めを行うための位置決めピン２４ａが設けられるとともに、載置台２４に対してＦＯＵＰ７の固定を行うためのロック爪２４ｂが設けられている。ロック爪２４ｂは、載置台２４上にＦＯＵＰ７が適切に位置決めされた後、ロック動作を行うことでＦＯＵＰ７を固定することができ、アンロック動作を行うことでＦＯＵＰ７を載置台２４より離間可能な状態とすることができる。なお、載置台２４はＦＯＵＰ７を載置した状態で、載置台駆動部（図示せず）により前後方向に移動することが可能となっている。
【0049】
ＦＯＵＰ７が適正な位置に位置決めされたか否かは、位置決めピン２４ａの近傍に配設された位置決めセンサ６０により検知される。この位置決めセンサ６０は、各位置決めピン２４ａの近傍に、それぞれ配置することが好ましい。ここで、適切に位置決めされるとは、載置台２４に対するＦＯＵＰ７の底面の高さが、載置台２４の上面から所定範囲内にあることを意味する。
【0050】
また、載置台２４には、ＦＯＵＰ７内に窒素ガスを供給するガス注入部７０と、ＦＯＵＰ７内より窒素ガスを排出するガス排気部７１がそれぞれ２箇所に設けられている。ガス注入部７０とガス排気部７１とは通常、適切に位置決めされた状態にあるＦＯＵＰ７の底面より下方に位置し、使用の際に上方に進出してＦＯＵＰ７の備えるガス供給弁３３（図３参照）とガス排出弁３４にそれぞれ連結するようになっている。
【0051】
使用時には、ガス注入部７０の上端がＦＯＵＰ７のガス供給弁３３に接触し、同様に、ガス排気部７１の上端がＦＯＵＰ７のガス排気弁３４に接触する。そして、ガス供給弁３３を介してガス注入部７０よりＦＯＵＰ７の内部空間Ｓｆに乾燥窒素ガス等のガスを供給し、ガス排出弁３４を介してガス排気部７１より内部空間Ｓｆの窒素ガスを排出可能となっている。また、窒素ガス供給量を窒素ガス排出量よりも多くすることで、外部や筐体３の搬送空間９の圧力に対して内部空間Ｓｆの圧力を高めた陽圧設定とすることもできる。
【0052】
ロードポート４を構成するベース２１は、搬送空間９を外部空間から隔離する前面壁の一部を構成している。図２に示すようにベース２１は、両側方に起立させた支柱２１a，２１ａと、これらにより支持されたベース本体２１ｂと、このベース本体２１ｂに略矩形状に開放された窓部２１ｃに取り付けられたウインドウユニット４０とから構成されている。ここで、本願でいう略矩形とは、四辺を備える長方形を基本形状としながら四隅を円弧によって滑らかにつないだ形状をいう。
【0053】
ウインドウユニット４０は、上述したＦＯＵＰ７の蓋体３２（図３参照）と対向する位置に設けられている。ウインドウユニット４０は、後に詳述するように略矩形状の開口部４２（図４参照）が設けられていることから、この開口部４２を介して筐体３の搬送空間９を開放することができる。
【0054】
ウインドウユニット４０は、窓枠部４１と、これに取り付けられる弾性材としての第１Ｏリング（第１シール部材）４３，第２Ｏリング（第２シール部材）４４と、第１Ｏリング４３を介してＦＯＵＰ７を窓枠部４１に対して密着させるための引き込み手段としてのクランプユニット４５とから構成されている。
【0055】
窓枠部４１は、内側に略矩形状の開口部４２が形成された枠形状をなしている。窓枠部４１は、ウインドウユニット４０の構成要素として上述したベース２１（図２参照）の一部を構成するものであることから、開口部４２は筐体３の前面壁を開放するものということができる。
【0056】
窓枠部４１の前面には、開口部４２の周縁近傍を周回するように第１Ｏリング４３が配設されている。窓枠部４１の後面には、開口部４２の周縁近傍を周回するように第２Ｏリング４４が配設されている。
【0057】
図５は、第１Ｏリング４３の長さ方向に直交する方向に第１Ｏリング４３を切った断面図、図６は、第２Ｏリング４４の長さ方向に直交する方向に第２Ｏリング４４を切った断面図を示す。第１Ｏリング４３および第２Ｏリング４４の断面形状は、凸状である。図中、矢印はウインドウユニット４０の前後方向、すなわちＦＯＵＰ９およびドア部５１の後述する進退方向を示す。寸法Ｌ１は、ドア部５１の進退方向における第１Ｏリング４３の高さ寸法を示す。寸法Ｌ２は、ドア部５１の進退方向における第２Ｏリング４４の高さ寸法を示す。すなわち本実施形態では、第２Ｏリング４４の寸法Ｌ２が第１Ｏリング４３の寸法Ｌ１よりも大きい。
【0058】
開口部４２はＦＯＵＰ７の蓋体３２の外周よりも僅かに大きく、この開口部４２を通って蓋体３２は移動可能となっている。また、ＦＯＵＰ７を載置台２４に載置させた状態において、図７に示すように蓋体３２の周囲をなす本体３１の前面は当接面３１ｂとして、第１Ｏリング４３を介して窓枠部４１（ベース２１）の前面に当接する。これにより、ＦＯＵＰ７がウインドウユニット４０に取付けられた際に、第１Ｏリング４３は開口部４２（ベース２１）の周縁とＦＯＵＰ７との間をシール（閉止）する。
【0059】
また、窓枠部４１の後面には、上述したドア部５１が第２Ｏリング４４を介して当接するようになっている。これにより、第２Ｏリング４４が開口部４２の周縁とドア部５１との間をシールする。
【0060】
クランプユニット４５は、窓枠部４１の両側部において上下方向に離間して配された合計４箇所に設けられている。各クランプユニット４５は、概ね係合片４６とこれを動作させるシリンダ４７とから構成され、ＦＯＵＰ７がウインドウユニット４０に取付けられた状態で、ＦＯＵＰ７をベース２１側に押圧する。
【0061】
そして、係合片４６が前方に飛び出した場合にはその先端が上方向を向き、後方に引き込まれた状態となった場合には先端が内側のＦＯＵＰ７に向かう方向となる。クランプ操作により、係合片４６は先端が内側を向くことで、ＦＯＵＰ７より側方に張り出した鍔部に係合することが可能となっている。
【0062】
また、ロードポート４は、ＦＯＵＰ７を取り付け可能に構成されたウインドウユニット４０を開閉するための開閉機構５０を備えている。
【0063】
図３に示すように開閉機構５０は、開口部４２を開閉するためのドア部５１と、これを支持するための支持フレーム５２と、この支持フレーム５２がスライド支持手段５３を介して前後方向に移動可能に支持する可動ブロック５４と、この可動ブロック５４をベース本体２１ｂに対して上下方向に移動可能に支持するスライドレール５５を備えている。
【0064】
ドア部５１は、ＦＯＵＰ７の蓋体３２を吸着する吸着部５６（図４参照）と、ＦＯＵＰ７の蓋体３２を開閉するためのラッチ操作や、蓋体３２の保持を行うための連結手段５７とを備えている。ドア部５１は蓋体３２の固定および固定の解除を行って、ＦＯＵＰ７から蓋体３２の取り外し、および取り付けが可能となっている。連結手段５７では、蓋体３２のアンラッチ動作を行うことで蓋体３２を開放可能な状態とするとともに、蓋体３２をドア部５１に連結して一体化した状態とすることができる。これとは逆に、連結手段５７では、蓋体３２のラッチ動作を行うことで蓋体３２とドア部５１との連結を解除するとともに、蓋体３２を本体３１に取付けて閉止状態とすることもできる。
【0065】
図３に示すようにドア部５１には、ＦＯＵＰ７がウインドウユニット４０に取付けられた際に、ＦＯＵＰ７とドア部５１との間に窒素ガスを注入するガス注入ノズル７３と、ＦＯＵＰ７とドア部５１との間の窒素ガスを排出するガス排出ノズル７４とが設けられている。ガス注入ノズル７３の上端がドア部５１の外表面まで延び、下端がガス供給装置（図示せず）に接続されている。同様に、ガス排出ノズル７４の上端がドア部５１の外表面まで延び、下端がガス排出装置（図示せず）に接続されている。ＦＯＵＰ７とドア部５１とをクランプユニット４５により一体にした状態で、ガス注入ノズル７３が密閉空間Ｓｄ（図７参照）に連通して窒素を供給し、ガス排出ノズル７４が密閉空間Ｓｄに連通して窒素を排出することで、密閉空間Ｓｄを窒素に置換および充填できる。
【0066】
さらに、ドア部５１の前後方向への移動及び上下方向への移動を行わせるためのアクチュエータ（図示せず）が、各方向毎に設けられており、これらに制御部Ｃｐからの駆動指令を与えることで、ドア部５１を前後方向及び上下方向に移動させることができるようになっている。このようにロードポート４は制御部Ｃｐによって、各部に駆動指令が与えられることで動作するようになっている。
【0067】
図８に示すように、制御部Ｃｐの入力側は、位置決めセンサ６０とドア位置検知センサ８１と載置台検知センサ８２と雰囲気センサ８３とに接続されている。位置決めセンサ６０は、ＦＯＵＰ７が載置台２４の適正な位置に位置決めされたか否か検知する。ドア位置検知センサ８１は、ドア部５１の進退の位置を検知する。載置台検知センサ８２は、載置台２４の進退方向の位置を検知する。雰囲気センサ８３は、密閉空間Ｓｄ内の湿度や酸素濃度を検出し、密閉空間Ｓｄが窒素に置換された否かを検知する。
【0068】
制御部Ｃｐの出力側は、載置台駆動部８５とドア駆動部８６とクランプユニット駆動部８７とガス供給装置８８とガス排出装置８９とに接続されている。ガス供給装置８８は、ガス注入ノズル７３に接続され、密閉空間Ｓｄに窒素を供給する。ガス排出装置８９は、ガス排出ノズル７４に接続され、密閉空間Ｓｄから窒素を排出する。
【0069】
以下、本第１実施形態のロードポート４を用いた場合のＦＯＵＰ７およびドア部５１の動作について説明する。
【0070】
まず図９に示すステップＳ１で、図示しない天井走行型無人搬送機が載置台２４の容器受渡位置にＦＯＵＰ７を載置する。容器受渡位置とは載置台２４の移動範囲のうち、載置台２４にＦＯＵＰ７を載置できる位置を指す。
【0071】
このとき、図１０に示すように、ドア部５１はドア閉止位置に配置されている。ドア閉止位置とは、ドア部５１が第２シール部材４４と当接し、かつドア部５１のＦＯＵＰ７側の端面５１ａがドア部５１と第２シール部材４４との当接面よりもＦＯＵＰ７側にある初期位置を指す。ドア部５１の端面５１ａは具体的には、ロードポート４のベース２１よりもＦＯＵＰ７側に位置し、かつ第１Ｏリング４３の前後方向寸法の範囲内にある。
【0072】
ステップＳ２で位置決めセンサ６０が、載置台２４の適切な位置にＦＯＵＰ７が位置決めされたか否かを検知する。ＦＯＵＰ７が適切に位置決めされていなければ、上位コントローラにエラーを送信して繰り返す。
【0073】
ＦＯＵＰ７が適切に位置決めされていればステップＳ３に進んで、ドア駆動部８６が、ドア閉止位置からドア退避位置までＦＯＵＰ７と反対方向にドア部５１を退避させる（図１１参照）。ドア退避位置とは、ドア閉止位置（初期位置）から、ＦＯＵＰ７と反対方向にドア部５１を退避させ、かつドア部５１が第２シール部材４４と当接している位置を指す。ドア部５１はロードポート４の後方から前方に向かって前進し、ロードポート４の前方から後方に向かって退避する。これら前進および退避方向は、水平方向である。ドア部５１を退避させることで、第２Ｏリング４４は図１０と比べて伸長する。ドア部５１がドア退避位置まで退避したか否かは、ドア位置検知センサ８１で検知する。
【0074】
ステップＳ４では、載置台駆動部８５が、容器受渡位置からドア開閉位置に載置台２４およびＦＯＵＰ７を前進させる（図１１参照）。このドア開閉位置とは、ドア部５１の移動範囲のうち、連結手段５７によりＦＯＵＰ７に対する蓋体３２の固定または固定の解除、および蓋体３２の着脱を行う位置を指す。容器受渡位置からドア開閉位置までのＦＯＵＰ７の移動量は７１ｍｍである。載置台２４がドア開閉位置に移動したか否かは、載置台検知センサ８２が検知する。載置台検知センサ８２によって載置台２４がドア開閉位置にあることを検知すると、クランプユニット駆動部８７からの信号により、クランプユニット４５が作動する。これにより、ＦＯＵＰ７をロードポート４側に引き寄せ、ＦＯＵＰ７とベース２１と第１Ｏリング４３とのシール性を高める。なお、ＦＯＵＰ７はロードポート４の前方から後方に向かって前進し、ロードポート４の後方から前方に向かって退避（後退）する。これら前進および退避方向は、水平方向である。
【0075】
ドア部５１がドア退避位置にあり、かつＦＯＵＰ７がドア開閉位置にあって第１Ｏリング４３を介してロードポート４の窓枠部４１と当接するとき、密閉空間Ｓｄが形成される。この密閉空間Ｓｄは、ベース２１、第１シール部材４３、第２シール部材４４、蓋体３２、ＦＯＵＰ７およびドア部５１によって形成されている。またステップＳ５で密閉空間Ｓｄは、ガス注入ノズル７３とガス排出ノズル７４とにより大気から窒素ガスに置換される。密閉空間Ｓｄが窒素ガスに置換されたか否かは、雰囲気センサ８３が検知する。
【0076】
この後、ステップＳ６ではドア駆動部８６が、ドア退避位置からドア開閉位置（ドア前進位置）までＦＯＵＰ７に向かってドア部５１を前進させる（図１２参照）。ドア部５１がドア開閉位置にあるとき、ドア部５１と蓋体３２とは接触し、連結手段５７がＦＯＵＰ７に対する蓋体３２の固定を解除し、蓋体３２を保持する。また、ドア退避位置とドア開閉位置との距離は３ｍｍに設定している。
【0077】
ステップＳ７でドア駆動部８６が、ドア開閉位置からドア開放位置までドア部５１およびドア部５１に保持された蓋体３２を移動させ、ロードポート４の開口部４２を開放する（図１３参照）。ドア開放位置とは、開口部４２が開放され、ウェーハ搬送装置２がＦＯＵＰ７内にアクセス可能な位置を指す。この状態でウェーハ搬送装置２は、ＦＯＵＰ７内のウェーハＷの取り出し、および取り入れを行う。
【0078】
ウェーハＷの取り出し、および取り入れが終了すると、ステップＳ８でドア駆動部８６がドア開放位置からドア開閉位置までドア部５１を移動させる。このとき、連結手段５７が、ＦＯＵＰ７に対して蓋体３２を取り付け、固定する。そして、クランプユニット４５によるＦＯＵＰ７とロードポート４との固定を解除し、ステップＳ９で、載置台駆動部８５が載置台２４およびＦＯＵＰ７を容器受渡位置まで後退させる。
【0079】
[本実施形態のロードポートの特徴]本実施形態のロードポート４には以下の特徴がある。
【0080】
本実施形態のロードポート４では、載置台２４にＦＯＵＰ７が載置された後、ドア部５１が第２シール部材４４と当接し、かつドア部５１のＦＯＵＰ７側の端面５１ａがドア部５１と第２シール部材４３との当接面よりもＦＯＵＰ７側にある初期位置から、ＦＯＵＰ７と反対方向にドア部５１を退避させる。これにより、第１シール部材４３と当接するまでＦＯＵＰ７をドア部５１に向かって移動させたときに、ＦＯＵＰ７とドア部５１とが接触するのを防止できる。従って、接触によりＦＯＵＰ７またはドア部５１が仮に押し出され、又は傾斜したとしても、ベース２１と、ＦＯＵＰ７またはドア部５１との間のシールが解除されるのを防ぐことができる。
【0081】
本実施形態のロードポート４では、ドア部５１を退避させたドア退避位置で、ドア部５１が第２シール部材４４と当接している。これにより、ＦＯＵＰ７をドア部５１に向かって移動させ、ＦＯＵＰ７が第１シール部材４３と当接したときに、少なくともベース、第１シール部材４３、第２シール部材４４、蓋体３２、およびドア部５１によって密閉空間Ｓｄを形成できる。
【0082】
本実施形態のロードポート４では、密閉空間Ｓｄが窒素ガスで充填された後、退避位置からＦＯＵＰ７に向かってドア部５１を前進させる。これにより、ＦＯＵＰ７とドア部５１とを近づけ、ＦＯＵＰ７に対する蓋体３２の固定の解除をドア部５１の連結手段５７が行って、ＦＯＵＰ７から蓋体３２の取外しが可能な状態となる。
【0083】
本実施形態のロードポート４では、ドア部５１を前進させたドア前進位置で、ドア部５１が蓋体３２と接触している。これにより、ＦＯＵＰ７に対する蓋体３２の固定の解除をドア部５１の連結手段５７が確実に行って、ＦＯＵＰ７から蓋体３２の取外しをできる。またドア部５１が蓋体３２と接触することで、仮にドア部５１が傾いてドア部５１と第２シール部材４４との間のシールが解除されたとしても、密閉空間Ｓｄが窒素ガスで充填されているため搬送空間９に大気が侵入することはない。
【0084】
本実施形態のロードポート４では、ドア部５１が進退する方向における第２シール部材４４の寸法が、ドア部５１が進退する方向における第１シール部材４３の寸法よりも大きい。これにより、ドア部５１と第２シール部材４４とが当接しシールした状態で、ドア部５１の進退（移動）距離を大きく確保できる。
【0085】
＜第２実施形態＞第２実施形態の、例えばロードポート４などの各構成は第１実施形態と同様であるので説明を省略する。ただし、第１実施形態では第２Ｏリング４４の寸法Ｌ２が第１Ｏリング４３の寸法Ｌ１よりも大きい。しかし図１４および図１５に示すように第２実施形態では、第１Ｏリング４３の寸法Ｌ１が第２Ｏリング４４の寸法Ｌ２よりも大きい点で第１実施形態と異なる。
【0086】
以下、第２実施形態のロードポート４を用いた場合のＦＯＵＰ７およびドア部５１の動作について説明する。なお、ＦＯＵＰ７の例えば容器受渡位置およびドア部５１の例えばドア閉止位置などの各位置の定義は第１実施形態と同様であるので説明を省略する。
【0087】
まず図１６に示すステップＳ１で、図示しない天井走行型無人搬送機が載置台２４の容器受渡位置にＦＯＵＰ７を載置する。
【0088】
このとき、図１７に示すように、ドア部５１はドア閉止位置に配置され、ドア押出機構９０によるドアクランプが作動している。このドア押出機構９０は、ベース２１の搬送空間９側の壁面において、開口部４２の開口周縁に沿って複数配置される。このドア押出機構９０は、シリンダ９１と、このシリンダ９１から突没可能なロッド９２と、ロッド９２の先端部に回転可能に設けられたローラ９３とを主要構成要素としている。シリンダ９１は、ドア部５１にローラ９３を適切に押し当てられるように、ベース２１から傾斜をつけて配置できるようにした台座９４に取り付けられている。ドア部５１にローラ９３を適切に押し当てることで、ベース２１、ドア部５１および第２Ｏリング４４によるシール性を高めることができる。
【0089】
ステップＳ２で位置決めセンサ６０が、載置台２４の適切な位置にＦＯＵＰ７が位置決めされたか否かを検知する。ＦＯＵＰ７が適切に位置決めされていなければ、繰り返す。
【0090】
ＦＯＵＰ７が適切に位置決めされていればステップＳ３に進む。ステップＳ３では、載置台２４およびＦＯＵＰ７が、容器受渡位置から容器退避位置までドア部５１に向かって前進する（図１７参照）。容器退避位置とは、ＦＯＵＰ７が第１Ｏリング４３と当接し、かつ第２Ｏリング４４と当接するドア部５１のＦＯＵＰ７側の端面とＦＯＵＰ７とが所定の間隔を隔てた位置を指す。また容器退避位置は、後述する容器開閉位置と容器受渡位置の間に位置する。
【0091】
このとき、密閉空間Ｓｄが形成されるので、ステップＳ４で密閉空間Ｓｄは、ガス注入ノズル７３とガス排出ノズル７４とにより大気から窒素ガスに置換されて充填される。
【0092】
ステップＳ５で、載置台駆動部８５が、容器退避位置から容器開閉位置（容器前進位置）までドア部５１に向かって載置台２４およびＦＯＵＰ７を前進させる（図１８参照）。容器開閉位置とは、載置台２４の移動範囲のうち、開口部４２を介してウェーハ搬送装置２がＦＯＵＰ７内のウェーハＷを取り出すことができる位置を指す。ＦＯＵＰ７が容器開閉位置にあるとき、ドア部５１と蓋体３２とは接触し、連結手段５７がＦＯＵＰ７に対する蓋体３２の固定を解除し、蓋体３２を保持する。容器退避位置から容器開閉位置までのＦＯＵＰ７の移動量は８ｍｍに設定している。
【0093】
この後、ドアクランプを解除し、ステップＳ６で、ドア開閉位置からドア開放位置にドア部５１および蓋体３２を移動させる。この状態でウェーハ搬送装置２は、ＦＯＵＰ７内のウェーハＷの取り出し、および取り入れを行う。
【0094】
ウェーハＷの取り出し、および取り入れが完了すればステップＳ７に進む。ステップＳ７でドア駆動部８６がドア開放位置からドア開閉位置までドア部５１を移動させる。このとき、連結手段５７がＦＯＵＰ７に対して蓋体３２を取り付けると共に、ドアクランプを作動する。
【0095】
そして、クランプユニット４５によるＦＯＵＰ７とロードポート４との固定を解除し、ステップＳ８で、載置台駆動部８５が載置台２４およびＦＯＵＰ７を容器受渡位置まで後退させる。
【0096】
[本実施形態のロードポートの特徴]本実施形態のロードポート４には以下の特徴がある。
【0097】
本実施形態のロードポート４では、ＦＯＵＰ７を載置する載置台２４にＦＯＵＰ７が載置された後、載置位置から、ＦＯＵＰ７が第１Ｏリング４３と当接し、かつ第２Ｏリング４４と当接するドア部５１のＦＯＵＰ７側の端面とＦＯＵＰ７とが所定の間隔を隔てた容器退避位置まで、ドア部５１に向かってＦＯＵＰ７を前進させる。これにより、第１Ｏリング４３と当接するまでＦＯＵＰ７をドア部５１に向かって移動させたときに、ＦＯＵＰ７とドア部５１とが接触するのを防止できる。従って、接触によりＦＯＵＰ７またはドア部５１が仮に傾斜したとしても、ベース２１と、ＦＯＵＰ７またはドア部５１との間のシールが解除されるのを防ぐことができる。
【0098】
本実施形態のロードポート４では、密閉空間Ｓｄが窒素ガスで充填された後、容器退避位置からドア部５１に向かってＦＯＵＰ７を前進させる。これにより、ＦＯＵＰ７とドア部５１とを近づけ、ＦＯＵＰ７に対する蓋体３２の固定の解除をドア部５１の吸着部５６が行って、ＲＯＵＰ７から蓋体３２の取外しが可能な状態となる。
【0099】
本実施形態のロードポート４では、ＦＯＵＰ７を前進させた容器前進位置で、蓋体３２がドア部５１と接触している。これにより、ＦＯＵＰ７に対する蓋体３２の固定の解除をドア部５１の吸着部５６が確実に行って、ＦＯＵＰ７から蓋体３２の取外しをできる。またドア部５１が蓋体３２と接触することで、仮にドア部５１が傾いてドア部５１と第２Ｏリング４４との間のシールが解除されたとしても、密閉空間Ｓｄが窒素ガスで充填されているため搬送空間９に大気が侵入することはない。
【0100】
＜第３実施形態＞第３実施形態の、例えばロードポート４などの各構成は第１実施形態と同様であるので説明を省略する。ただし、第１実施形態では第２Ｏリング４４の寸法Ｌ２が第１Ｏリング４３の寸法Ｌ１よりも大きい。しかし図１９および図２０に示す第３実施形態では、第１Ｏリング４３の寸法Ｌ１と第２Ｏリング４４の寸法Ｌ２とが略等しい点で第１実施形態と異なる。
【0101】
以下、第３実施形態のロードポート４を用いた場合のＦＯＵＰ７およびドア部５１の動作について説明する。なお、ＦＯＵＰ７の例えば容器受渡位置およびドア部５１の例えばドア閉止位置などの各位置の定義は第１実施形態と同様であるので説明を省略する。
【0102】
まず図２１に示すステップＳ１で、図示しない天井走行型無人搬送機が載置台２４の容器受渡位置にＦＯＵＰ７を載置する。
【0103】
ステップＳ２で位置決めセンサ６０が、載置台２４の適切な位置にＦＯＵＰ７が位置決めされたか否かを検知する。ＦＯＵＰ７が適切に位置決めされていなければ、繰り返す。
【0104】
ＦＯＵＰ７が適切に位置決めされていればステップＳ３に進んで、ドア閉止位置からドア退避位置にドア部５１を後退させる（図２２参照）。これと同時に、または遅れてステップＳ４で容器受渡位置から容器退避位置まで載置台２４およびＦＯＵＰ７を前進させる。従って、ドア部５１が第２Ｏリング４４と当接し、かつＦＯＵＰ７が第１Ｏリング４３と当接した状態で、確実にドア部５１と蓋体３２との接触を防止できる。なお、ドア閉止位置とドア退避位置との距離は４ｍｍ以下が好ましい。
【0105】
このとき、密閉空間Ｓｄが形成されるので、ステップＳ５で密閉空間Ｓｄは、ガス注入ノズル７３とガス排出ノズル７４とにより大気から窒素ガスに置換されて充填される。
【0106】
次にステップＳ６で、載置台２４およびＦＯＵＰ７を容器載置位置からドア部５１に近づける。言い換えれば、載置台２４およびＦＯＵＰ７をドア部５１に向かって前進させる。これと同時にステップＳ７で、ドア部５１をドア退避位置からＦＯＵＰ７に近づける。言い換えれば、ドア部５１をＦＯＵＰ７に向かって前進させる。
【0107】
ステップＳ６およびステップＳ７により、図２３に示すように、蓋体３２とドア部５１とが接触する。このとき、載置台駆動部８５の駆動力と、ドア駆動部８６のドア部５１の閉止力とを等しく設定することで、仮に蓋体３２とドア部５１とが接触したとしても、蓋体３２およびドア部５１のいずれか一方が傾斜するのを防止できる。
【0108】
蓋体３２とドア部５１とが接触した状態で、連結手段５７がＦＯＵＰ７に対する蓋体３２の固定を解除し、蓋体３２を保持する。
【0109】
そしてステップＳ８で、ドア駆動部８６がドア開放位置までドア部５１および蓋体３２を移動させる。ステップＳ８の動作完了後または動作に連動させて、載置台２４をドア部５１に向かって前進させ、ウェーハＷを取り出すことができる所定位置に移動させる。この状態でウェーハ搬送装置２は、ＦＯＵＰ７内のウェーハＷの取り出し、および取り入れを行う。
【0110】
ウェーハＷの取り出し、および取り入れが完了すればステップＳ９に進む。ステップＳ７でドア駆動部８６がドア開放位置からドア開閉位置までドア部５１を移動させる。このとき、連結手段５７が、ＦＯＵＰ７に対して蓋体３２を取り付け、ドアクランプを作動する。
【0111】
そして、クランプユニット４５によるＦＯＵＰ７とロードポート４との固定を解除し、ステップＳ１０で、載置台駆動部８５が載置台２４およびＦＯＵＰ７を容器受渡位置まで後退させる。
【0112】
以上、本発明の実施形態について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、これらの実施形態に限定されるものでないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明だけではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【0113】
前記実施形態のロードポート４は、ＥＦＥＭ１に設けた。しかし、これらに限定されず、ＥＦＥＭ１を介さずに処理装置に直接適用したり、ＦＯＵＰ７内のウェーハＷを交換、並び替えを行なうソータ装置や、ＦＯＵＰ７内のウェーハＷを一時的に保管するストッカ装置に適用することができる。
【0114】
前記実施形態では、容器としてＦＯＵＰ７を例示的に用いたがこれに限定されない。例えば、ウェーハ搬送に使用されるＭＡＣ（Multi Application Carrier）やＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）を容器として用いても良い。また、ウェーハ搬送以外にも、外気よりも所定環境を維持したい物品を搬送する容器に本発明を適用しても良い。
【0115】
前記実施形態では、容器内に収納する収納物としてウェーハＷを例示したが、これに限定されない。例えば、電子部品やフラットパネルディスプレイに用いられる基板、細胞を保管するための細胞培養容器などを収納しても良い。
【0116】
前記実施形態では、ガスとして窒素を用いたが、これに限定されない。例えば、ドライガスやアルゴンガスなど所望の環境ガスを用いることができる。
【0117】
前記実施形態では、ドア部５１がドア退避位置まで退避したか否かは、ドア位置検知センサ８１で検知した。しかしこれに限定されず、ドア駆動部８６の駆動状態から検知しても良いし、タイマによって所定時間を経過したかどうかで検知しても良い。
【0118】
前記実施形態では、載置台２４がドック位置に移動したか否かは、載置台検知センサ８２が検知した。しかしこれに限定されず、載置台駆動部８５の信号によって検知しても良いし、タイマによって所定時間を経過したかどうかで検知しても良い。
【0119】
前記実施形態では、密閉空間Ｓｄが窒素ガスに置換されたか否かは、雰囲気センサ８３が検知した。しかしこれに限定されず、タイマによって所定時間を経過したかどうかで検知しても良い。
【0120】
前記実施形態では、載置台２４にＦＯＵＰ７が載置された直後から、載置台２４を容器開閉位置または容器退避位置まで前進させる間、ガス注入部７０から窒素ガスを噴き出した。しかしこれに限定されず、同時にガス排気部７１からドア部５１周辺の大気を排気しても良い。
【0121】
第１Ｏリング４３および第２Ｏリング４４の素材は、特に限定されない。シール部材は、フッ素ゴムやシリコンゴム製のＯリングやＥＰＤＭ(ethylene propylene diene monomer)などエチレンプロピレンゴム製のスポンジなど弾性部材であれば良い。フッ素ゴムやシリコンゴム製のＯリングの場合、弾性力を持たせるために中空構造にしても良い。中空構造とした場合、中空部内にガスを供給または排出すれば、シール性や他の部材の接触位置を調整することができる。
【0122】
前記実施形態では、断面が凸状の第１Ｏリング４３および第２Ｏリング４４を採用した。しかしこれに限定されず図２４に示すように、ゆるやかに湾曲する薄板状の断面を有するシール部材であっても良い。これにより、密閉空間Ｓｄ内の雰囲気が搬送空間９内に侵入しにくく、かつＦＯＵＰ７より外側の大気が密閉空間Ｓｄ内に侵入するのを防止できる。
【0123】
前記実施形態では、別体である第１Ｏリング４３および第２Ｏリング４４を採用した。しかし図２５に示すように、ベース２１の開口縁部に装着され、一端がＦＯＵＰ７と当接し、他端がドア部５１と当接することで、密閉空間Ｓｄをシールする一体型のＯリング４３を採用しても良い。このとき、少なくとも第１Ｏリングと第２Ｏリングとを一体としたＯリング４３、蓋体３２、およびドア部５１によって密閉空間Ｓｄが形成される。
【0124】
前記実施形態では、ＦＯＵＰ７の当接面３１ｂから蓋体３２がロードポート４側に突出しているが、この突出量は例えば設計された寸法に対して±５ｍｍに設定している。またＦＯＵＰ７に窒素ガスを注入したときに蓋体３２が突出する量は約３ｍｍに設定している。
【0125】
前記実施形態では、ＦＯＵＰ７に対する蓋体３２の取付けおよび取り外しを、ドア部５１が蓋体３２を保持した状態で、ＦＯＵＰ７に対してドア部５１を移動させることで行っている。しかし、これらに限定されず、ドア部５１が蓋体３２を固定した状態（図１８参照）で、載置台２４およびＦＯＵＰ７を図１７に示す位置まで移動させることで、ＦＯＵＰ７に対する蓋体３２の取付けおよび取り外しを行っても良い。また、載置台２４とドア部５１の両方を移動させて、ＦＯＵＰ７に対する蓋体３２の取付けおよび取り外しを行っても良い。つまり、ＦＯＵＰ７と蓋体３２との相対的な距離を変化させることで、蓋体３２の取付けおよび取外しを行えば良い。
【0126】
本発明は、第１Ｏリング４３および第２Ｏリング４４を設けていないロードポートにも適用できる。このロードポートでは、第１Ｏリング４３および第２Ｏリング４４を設けていない以外の構成は、前記実施形態と同様であるので説明を省略する。つまり、本出願の先行文献として例示した特許文献１のようにドアがロードポートのベース面よりも外部空間側に飛び出ている場合、または、ＦＯＵＰ内の圧力が高くなって蓋体の一部もしくは全部がロードポート側に飛び出ている、もしくは膨張している場合にも、ドアとＦＯＵＰとが接触して衝突したとき、ドアまたはＦＯＵＰのいずれかが傾斜していまい、ドアのラッチ動作が適切に行なうことができないという問題がある。しかしながら、本発明を適用して、ドアおよびＦＯＵＰのうち少なくともいずれかを待避位置に移動されることで、ドアおよびＦＯＵＰとの距離をラッチ動作前に相対的に調整することができる。もちろん第１Ｏリング４３、第２Ｏリング４４を設けている前記実施形態にも、この効果は生ずる。
【0127】
また本発明は、第１Ｏリング４３および第２Ｏリング４４のうち、いずれか一方のみを設けているロードポートにも適用できる。
【符号の説明】
【0128】
４ ロードポート７ ＦＯＵＰ（容器）
９ 搬送空間
２１ ベース
３２ 蓋体
４２ 開口部
４３ 第１Ｏリング（第１シール部材）
４４ 第２Ｏリング（第２シール部材）
５１ ドア部（ドア）
Ｓｄ 密閉空間
Ｗ ウェーハ（収容物）