特開 2017-19204 研磨パッド用の材料の溶融装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2017-19204(P2017-19204A)

(43)【公開日】2017年1月26日

(54)【発明の名称】研磨パッド用の材料の溶融装置

(51)【国際特許分類】

   B29C 39/24 20060101AFI20170105BHJP

【ＦＩ】

   B29C39/24

【審査請求】未請求

【請求項の数】2

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2015-138948(P2015-138948)

(22)【出願日】2015年7月10日

(71)【出願人】

【識別番号】000116127

【氏名又は名称】ニッタ・ハース株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100074332

【弁理士】

【氏名又は名称】藤本 昇

(74)【代理人】

【識別番号】100114432

【弁理士】

【氏名又は名称】中谷 寛昭

(72)【発明者】

【氏名】川瀬 克己

(72)【発明者】

【氏名】繁田 好胤

(72)【発明者】

【氏名】山越 雅仁

【テーマコード（参考）】

4F204

【Ｆターム（参考）】

4F204AC05

4F204AM32

4F204EA03

4F204EB01

4F204EF01

4F204EF23

4F204EF27

4F204EK07

(57)【要約】

【課題】 本発明は、溶融した材料の品質を安定させる研磨パッド用の材料の溶融装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 本発明に係る研磨パッド用の材料の溶融装置は、投入された固形の材料を溶融する溶融部と、該溶融部で溶融した材料を流通させる流通路と、該流通路に流体的に接続される濾過部であって、前記溶融部で溶融した材料を濾過する濾過部本体を有する濾過部と、を備え、前記流通路は、前記溶融部によって溶融した材料を循環させる循環路を有し、前記濾過部は、該循環路に流体的に接続される。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

投入された固形の材料を溶融する溶融部と、
該溶融部で溶融した材料を流通させる流通路と、
該流通路に流体的に接続される濾過部であって、前記溶融部で溶融した材料を濾過する濾過部本体を有する濾過部と、を備え、
前記流通路は、前記溶融部によって溶融した材料を循環させる循環路を有し、
前記濾過部は、該循環路に流体的に接続される
研磨パッド用の材料の溶融装置。

【請求項2】

前記濾過部本体は、それぞれの目の粗さが異なり且つ互いに重なり合う複数の濾材を有し、
該複数の濾材のそれぞれは、目の粗いものほど溶融した材料の流れる方向における上流に配置される請求項１に記載の研磨パッド用の材料の溶融装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、研磨パッドを製造するための材料を溶融する研磨パッド用の材料の溶融装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来から、研磨パッドは、種々の液状の材料を混ぜ合わせた混合液を硬化させることによって製造されている（例えば、特許文献１参照）。そのため、研磨パッドを製造するにあたり、固形の材料を溶融する研磨パッド用の材料の溶融装置（以下、溶融装置という）が用いられている。

【0003】

溶融装置は、例えば、固形の材料が投入される投入部と、該投入部に投入された固形の材料を溶融する溶融部と、溶融部によって溶融した材料を流通させる流通路であって、溶融した材料を溶融部の外部に送り出す流通路とを備える。

【0004】

このような溶融装置では、投入部に投入された固形の材料が溶融部によって溶融されて液状に変化し、液状に変化した材料が流通路を介して研磨パッド用の材料として送り出される。

【0005】

ところが、従来の溶融装置において、溶融部から送り出された材料には、投入部に投入された固形の材料に含まれる異物や、未溶融の材料等の固形物が含まれていることがあるため、製造した研磨パッドに該固形物が含まれることがある。そのため、製造した研磨パッドが研磨対象物に研磨傷を付け易くなることがある。

【0006】

また、従来の溶融装置では、投入部に投入される固形の材料の性質（例えば、大きさや、成分の分布等）が個々に異なるため、投入された固形の材料に応じて、吐出部から吐出される材料の溶け具合や混ざり具合にばらつきが生じることがある。そのため、製造した研磨パッドの性質がばらつくことがある。

【0007】

このように、従来の溶融装置で溶融した材料の品質がばらつく結果、製造した研磨パッドの品質もばらつくことがあった。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【特許文献1】特開２００８−１３７３５５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

そこで、本発明は、斯かる実情に鑑み、溶融した材料の品質を安定させる研磨パッド用の材料の溶融装置を提供することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明に係る研磨パッド用の材料の溶融装置は、
投入された固形の材料を溶融する溶融部と、
該溶融部で溶融した材料を流通させる流通路と、
該流通路に流体的に接続される濾過部であって、前記溶融部で溶融した材料を濾過する濾過部本体を有する濾過部と、を備え、
前記流通路は、前記溶融部によって溶融した材料を循環させる循環路を有し、
前記濾過部は、該循環路に流体的に接続される。

【0011】

かかる構成によれば、溶融部で溶融した材料を流通させる流通路に対して濾過部が流体的に接続されるため、溶融部で溶融した材料を濾過部に流通させることができる。これにより、溶融部に投入された固形の材料に含まれる異物や未溶融の材料等の固形物が濾過部本体に留まるため、該固形物が溶融した材料から分けられる。

【0012】

また、濾過部が溶融した材料を循環させる循環路に対して流体的に接続されるため、溶融した材料が循環路を循環する。これにより、溶融した材料が撹拌されて分子レベルで均質化される。さらに、溶融した材料は、循環路を循環するに伴って、何度も濾過部を通過するため、溶融した材料から固形物がより確実に分けられる。

【0013】

このように、前記研磨パッド用の材料の溶融装置は、固形物を分けるとともに、溶融した材料を均質化することによって、該材料の品質を安定させることができる。

【0014】

本発明に係る研磨パッド用の材料精製システムの他態様として、
前記濾過部本体は、それぞれの目の粗さが異なり且つ互いに重なり合う複数の濾材を有し、
該複数の濾材のそれぞれは、目の粗いものほど溶融した材料の流れる方向における上流に配置されていてもよい。

【0015】

このようにすれば、溶融した材料に含まれる固形物が大きいものから順に濾材に留まるため、各濾材の目詰まりを抑えることができる。

【発明の効果】

【0016】

以上のように、本発明の研磨パッド用の材料の溶融装置によれば、溶融した材料の品質を安定させることができるという優れた効果を奏し得る。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】図１は、本発明の一実施形態に係る研磨パッド用の材料の溶融装置を含む材料精製システムの概要図である。

【図2】図２は、同実施形態に係る溶融装置の概要図である。

【図3】図３は、同実施形態に係る溶融装置の説明図であって、溶融装置が投入された固形の材料を溶融している状態の説明図である。

【図4】図４は、同実施形態に係る溶融装置の説明図であって、溶融装置が溶融した材料を送り出している状態の説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明の一実施形態について、添付図面を参照して説明する。

【0019】

本実施形態に係る溶融装置は、投入された固形の材料を溶融することによって、液体の材料を精製する。本実施形態では、図１に示すように、溶融装置１が研磨パッド用の材料を精製する材料精製システム（以下、材料精製システムという）の一部に用いられることを前提に以下の説明を行う。

【0020】

より具体的に説明する。本実施形態に係る材料精製システムは、投入された固形の材料を溶融することによって、液体の材料を精製する溶融装置１と、溶融装置１に固形の材料を投入するための投入装置２と、溶融した材料を撹拌して均質化する均質化装置３とを備える。また、材料精製システムは、均質化装置３によって均質化された材料を吐出するための吐出装置４が接続される。なお、本実施形態では、固形の材料を固形材料とし、溶融して固体から液体に変化した材料を液体材料として以下の説明を行う場合がある。

【0021】

まず、投入装置２について説明する。投入装置２は、固形材料を供給するための供給口、及び供給された固形材料を溶融装置１（溶融装置１の後述する投入部）に排出する排出口を有するホッパー２０を有する。また、投入装置２は、ホッパー２０の排出口と、溶融装置１との間に配置される開閉弁２１を有する。そして、投入装置２は、固形材料が貯蔵される貯蔵タンク２２であって、管部材２３を介してホッパー２０の供給口に接続される貯蔵タンク２２を有する。

【0022】

投入装置２では、上述のように、開閉弁２１がホッパー２０の排出口と溶融装置１との間に配置される。そのため、投入装置２では、開閉弁２１が開かれると、ホッパー２０から溶融装置１への固形材料の投入が許容され、開閉弁２１が閉じられると、ホッパー２０から溶融装置１への固形材料の投入が規制される。

【0023】

図２に示すように、溶融装置１は、固形材料が投入される投入部１０と、該投入部１０に投入された固形材料を溶融する溶融部１１とを備える。また、溶融装置１は、溶融部１１によって溶融させた材料を貯留する貯留部１２を有する。そして、溶融装置１は、溶融部１１によって溶融した材料を流通させる流通系１３を有する。さらに、溶融装置１は、貯留部１２及び流通系１３が内部に配置される筺体１４と、該筺体１４の内部の温度を所定の温度（溶融した材料を液体の状態で維持できる温度）で保つための保温部１５とを備える。

【0024】

投入部１０は、円筒状である。投入部１０の中心線方向における一方の端部には、溶融部１１に接続される。そのため、本実施形態に係る投入部１０では、開閉弁２１を介してホッパー２０内から排出された固形材料が該投入部１０の中心線方向における他方の端部から投入される。

【0025】

投入部１０には、熱溶融性を有する材料が投入される。例えば、本実施形態に係る投入部１０には、４，４’−メチレンビス（ｏ−クロロアニリン）（いわゆる、ＭＯＣＡ）が材料として投入される。なお、投入部１０には、ＭＯＣＡを含む材料や、４，４’−ジアミノジフェニルメタン、ｍ−フェニレンジアミン、ジエチレントルエンジアミン（いわゆるＤＥＴＤＡ）、トリメチロールプロパン等の材料が投入されてもよい。

【0026】

溶融部１１は、投入部１０に投入された固形材料を加熱することによって、該材料を固体から液体に変化させる。そして、貯留部１２には、溶融部１１によって固体から液体に変化させた材料が貯留される。

【0027】

流通系１３は、貯留部１２に対して流体的に接続される流通路１３０を有する。また、流通系１３は、流通路１３０に接続され且つ流通路１３０を流通する材料を濾過する濾過部１３１を有する。さらに、流通系１３は、該流通路１３０に接続されるストレーナ１３２と、該流通路１３０に接続され且つストレーナ１３２よりも下流に配置される送出ポンプ１３３と、を有する。

【0028】

流通路１３０は、貯留部１２内の液体材料が流入する送出管１３０ａと、該送出管１３０ａ及び貯留部１２のそれぞれに流体的に接続される接続管１３０ｂと、を有する。また、流通路１３０は、送出管１３０ａに流体的に接続され且つ外部（本実施形態では、均質化装置３）に液体材料を送り出す供給管１３０ｃを有する。

【0029】

本実施形態に係る流通系１３は、送出管１３０ａと接続管１３０ｂとを連通させた状態と、送出管１３０ａと供給管１３０ｃとを連通させた状態とに切替可能な供給弁１３４をさらに有する。

【0030】

そのため、供給弁１３４が送出管１３０ａと接続管１３０ｂとを連通させた状態に切り替えられると、送出管１３０ａと、接続管１３０ｂと、貯留部１２と、が互いに連通することによって、溶融装置１内で液体材料を循環させる循環路としての溶融路が形成される。そして、送出管１３０ａから供給管１３０ｃへの液体材料の流通（すなわち、均質化装置３に対する液体材料の供給）が規制される。

【0031】

一方、供給弁１３４が送出管１３０ａと供給管１３０ｃとを連通させた状態に切り替えられると、送出管１３０ａから供給管１３０ｃへの液体材料の流通（均質化装置３に対する液体材料の供給）が許容される。そして、送出管１３０ａから接続管１３０ｂへの液体材料の流通が規制される。

【0032】

濾過部１３１は、内部に液体材料を流通させるホルダ１３１ａと、該ホルダ１３１ａ内に配置される濾過部本体１３１ｂとを有する。この濾過部１３１は、流通路１３０（送出管１３０ａ）における送出ポンプ１３３よりも下流に配置される。

【0033】

ホルダ１３１ａは、流通路１３０内の液体材料が流入する流入口と、内部の液体材料を流通路１３０に送り出す流出口と、を有する。

【0034】

濾過部本体１３１ｂは、流入口と、流出口との間に配置される。濾過部本体１３１ｂは、それぞれの目の粗さが異なり且つ互いに重なり合う複数の濾材１３１ｃを有する。各濾材１３１ｃは、平板状である。

【0035】

各濾材１３１ｃの目の粗さは、ストレーナ１３２の目の粗さよりも細かい。さらに、複数の濾材１３１ｃは、目の粗さが粗いものほど流入口に近い位置（すなわち、溶融した材料が流れる方向における上流側）に配置される。なお、濾材１３１ｃには、不織布や、濾紙等が採用される。

【0036】

ストレーナ１３２は、例えば、金属製のメッシュや、パンチングメタル等によって構成される。

【0037】

本実施形態に係る流通系１３では、送出ポンプ１３３として、ギヤポンプが採用される。なお、送出ポンプ１３３は、貯留部１２内の材料を流通系１３に流通させることができれば、ギヤポンプに限定されない。

【0038】

筺体１４は、内外に亘って貫通する排気口１４０を有する。筺体１４には、内外に亘って連通する接続口１４１であって、保温部１５が接続される接続口１４１を有する。筺体１４は、排気口１４０を通じて内部の空気を外部に排出することができる。

【0039】

保温部１５は、接続口１４１を介して筺体１４内に熱風を送るように構成される。そのため、溶融装置１は、接続口１４１を介して保温部１５から筺体１４内に送り込まれた熱風によって該筺体１４内の温度を所定の温度に維持することができる。従って、溶融装置１は、溶融した材料を液体の状態で維持しつつ溶融路に循環させることができる。

【0040】

図１に示すように、均質化装置３は、溶融装置１から送り出された液体材料を貯留する貯留槽３０と、該貯留槽３０内の液体材料を流通させる移送系３１とを有する。

【0041】

貯留槽３０には、溶融装置１の供給管１３０ｃが流体的に接続される。

【0042】

移送系３１は、貯留槽３０に対して流体的に接続される移送路３１０を有する。また、移送系３１は、貯留槽３０内の液体材料を移送路３１０内に送り込むための吸引ポンプ３１１を有する。

【0043】

移送路３１０は、貯留槽３０内の液体材料が流入する流入管３１０ａと、該流入管３１０ａ及び貯留槽３０のそれぞれに流体的に接続される連結管３１０ｂとを有する。また、移送路３１０は、該送出管１３０ａと吐出装置４とのそれぞれに流体的に接続される吐出管３１０ｃを有する。

【0044】

本実施形態に係る移送系３１は、流入管３１０ａと連結管３１０ｂとを連通させた状態と、流入管３１０ａと吐出管３１０ｃとを連通させた状態とに切替可能な吐出弁３１２を有する。

【0045】

そのため、吐出弁３１２が流入管３１０ａと連結管３１０ｂとを連通させた状態に切り替えられると、流入管３１０ａと、連結管３１０ｂと、貯留槽３０と、が互いに連通することによって、均質化装置３内で液体材料を循環させる循環路としての均質路が形成される。そして、流入管３１０ａから吐出管３１０ｃへの液体材料の流通（すなわち、吐出装置４に対する液体材料の供給）が規制される。

【0046】

一方、吐出弁３１２が流入管３１０ａと吐出管３１０ｃとを連通させた状態に切り替えられると、流入管３１０ａから吐出管３１０ｃへの液体材料の流通（吐出装置４に対する液体材料の供給）が許容される。そして、流入管３１０ａから連結管３１０ｂへの液体材料の流通が規制される。

【0047】

なお、本実施形態において、均質化装置３が均質化可能な材料の処理量は、溶融装置１が溶融可能な材料の処理量よりも多い。本実施形態において、均質化装置３が均質化可能な材料の処理量は、溶融装置２が溶融可能な材料の処理量よりも多い。より具体的に説明する。均質化装置３の均質路を循環する液体材料の量は、溶融装置２の溶融路を循環する液体材料の量よりも多い。

【0048】

吐出装置４は、均質化装置３における移送系３１から液体材料が供給される本体部４０と、該本体部４０内の液体材料を吐出する吐出部４１とを備える。

【0049】

本体部４０には、移送路３１０の吐出管３１０ｃが流体的に接続される。そのため、吐出装置４では、吐出管３１０ｃを介して均質化装置３から本体部４０に供給された液体材料が吐出部４１から吐出される。なお、本体部４０には、均質化装置３から供給される材料とは別の材料が供給されてもよい。すなわち、本体部４０には、異なる種類の材料が供給されてもよい。

【0050】

本実施形態に係る材料精製システムは、以上の通りである。続いて、本実施形態に係る材料精製システムの動作について、添付図面を参照して説明を行う。

【0051】

図３に示すように、本実施形態に係る溶融装置１によって固形の材料を溶融するにあたり、投入装置２によって、溶融装置１に固形材料を投入する。

【0052】

より具体的に説明する。まず、開閉弁２１を閉じた後に、管部材２３を介して貯蔵タンク２２からホッパー２０に固形材料を供給する。そして、開閉弁２１を開いてホッパー２０内の固形材料を投入部１０に投入した後に、開閉弁２１を閉じる。

【0053】

このように、本実施形態では、ホッパー２０から投入部１０に固形材料を間欠的に投入するにあたり、固形材料をホッパー２０に一旦貯留する。これにより、本実施形態では、ホッパー２０から投入部１０への固形材料の投入量を均一化している。

【0054】

そして、投入部１０に投入された固形材料を溶融部１１によって溶融する。これにより、投入部１０に投入された固形材料は、溶融部１１で固体から液体に変化し、貯留部１２に流れ込む。そして、貯留部１２内の液体材料は、送出ポンプ１３３の動力によって送出管１３０ａに送り出され、ストレーナ１３２を通過した後に濾過部１３１を通過する。

【0055】

このとき、液体材料が濾過部１３１を通過するに伴い、該液体材料に含まれる異物や、未溶融の材料等の固形物が濾過部本体１３１ｂに留まる。これにより、液体材料と固形物とが分けられる。さらに、未溶融の材料は、濾過部本体１３１ｂに留まった状態において液体材料に曝されるため、液体材料の熱によって溶融されると、濾過部本体１３１ｂを通過する。

【0056】

さらに、本実施形態では、溶融部１１によって固形材料を溶融するにあたり、供給弁１３４の状態を切り替えて送出管１３０ａと、接続管１３０ｂとを連通させる。すなわち、送出管１３０ａと、接続管１３０ｂと、貯留部１２と、によって溶融路を形成した状態において、溶融部１１によって固形材料を溶融する。

【0057】

そのため、送出ポンプ１３３の動力によって貯留部１２から送出管１３０ａに送り出された液体材料は、濾過部１３１を通過した後に、接続管１３０ｂを介して貯留部１２に送り出される。

【0058】

このようにして、溶融装置１では、液体材料が溶融路を循環するため、該液体材料が何度も濾過部１３１を通過する。そのため、溶融装置１は、液体材料に含まれる異物や、未溶融の材料等の固形物を濾過部本体１３１ｂにより確実に留めることができる。

【0059】

また、濾過部本体１３１ｂに留まる未溶融の材料は、溶融路を循環する液体材料に曝され続けることによって、より確実に溶融される。さらに、本実施形態に係る溶融装置１では、保温部１５によって筺体１４内の温度が前記所定の温度で維持されるため、濾過部本体１３１ｂに留まる未溶融の材料は、溶融路を循環する液体材料によってさらに確実に溶融される。

【0060】

そして、濾過部本体１３１ｂの複数の濾材１３１ｃは、上述のように、目が粗いものほど流入口に近い位置に配置される。そのため、液体材料は、流入口からホルダ１３１ａ内に流れこんだ後に、目の粗い濾材１３１ｃから順に各濾材１３１ｃを通過して流出口からホルダ１３１ａ外に流れ出る。

【0061】

そして、供給弁１３４の状態を切り替えることによって、送出管１３０ａと供給管１３０ｃとを連通させると、図４に示すように、送出ポンプ１３３の動力によって貯留部１２から送出管１３０ａに送り出された液体材料が、供給管１３０ｃを介して均質化装置３の貯留槽３０に送り出される。これにより、液体材料が溶融装置１から均質化装置３に供給される。

【0062】

本実施形態では、溶融装置１から均質化装置３に液体材料を供給するにあたり、吐出弁３１２の状態を切り替えて流入管３１０ａと、連結管３１０ｂとを連通させる。すなわち、流入管３１０ａと、連結管３１０ｂと、貯留槽３０とによって均質路を形成する。

【0063】

そのため、供給管１３０ｃから貯留槽３０に流入した液体材料は、吸引ポンプ３１１によって流入管３１０ａに送り出された後に、連結管３１０ｂを通じて貯留槽３０に送り出される。このように、均質化装置３では、吸引ポンプ３１１の動力によって液体材料が均質路を循環する。これにより、均質化装置３内で液体材料が撹拌されることによって、均質化される。

【0064】

さらに、溶融装置１から均質化装置３に液体材料を供給した後に、管部材２３を介して貯蔵タンク２２からホッパー２０内に新たに固形材料を供給する。そして、開閉弁２１を再び開くことによって、ホッパー２０内の固形材料を投入部１０に投入した後に、開閉弁２１を閉じる。

【0065】

投入部１０に新たに投入された固形材料も、溶融部１１で溶融されることによって固体から液体に変化し、貯留部１２に貯留される。そして、貯留部１２内の液体材料は、送出ポンプ１３３の動力によって送出管１３０ａに送り出され、ストレーナ１３２を通過した後に、濾過部１３１を通過する。

【0066】

本実施形態では、投入部１０に新たに投入された固形材料を溶融部１１で溶融するにあたり、供給弁１３４の状態を切り替えて送出管１３０ａと接続管１３０ｂとを再び連通させる。すなわち、送出管１３０ａと、接続管１３０ｂと、貯留部１２とによって、再び溶融路を形成する。そのため、送出ポンプ１３３の動力によって貯留部１２から送出管１３０ａに送り出された液体材料は、ストレーナ１３２及び濾過部１３１を通過した後に、接続管１３０ｂを通じて貯留部１２に送り出される。

【0067】

そして、供給弁１３４の状態を切り替えることによって、送出管１３０ａと供給管１３０ｃとを連通させると、送出ポンプ１３３の動力によって送り出された液体材料は、供給管１３０ｃを通過した後に均質化装置３の貯留槽３０に送り出される。

【0068】

上述のように、均質化装置３が均質化可能な材料の処理量は、溶融装置１が溶融可能な材料の処理量よりも多いため、後に溶融させた材料は、均質化装置３の貯留槽３０に送り出されると、先に均質化装置３に供給された液体材料（先に溶融させた材料）とともに均質路を循環する。これにより、均質化装置３において、先に溶融させた材料と、後に溶融させた材料とが撹拌されて混ぜ合わされて均質化される。

【0069】

そして、吐出弁３１２の状態を切り替えることによって、流入管３１０ａと、吐出管３１０ｃとを連通させると、均質化された液体材料が研磨パッド用の材料として吐出部４１から吐出される。

【0070】

以上のように、本実施形態に係る材料精製システムの溶融装置１では、溶融部１１で溶融した材料を濾過部１３１に流通させることによって、溶融部１１に投入された固形の材料に含まれる異物や未溶融の材料等の固形物を濾過部１３１の濾過部本体１３１ｂに留めることができる。従って、溶融装置１は、液体材料から固形物を分けることができる。

【0071】

そして、溶融装置１では、液体材料を溶融路に循環させることができるため、該液体材料を撹拌して分子レベルで均質化することができる。また、溶融装置１では、液体材料が循環路を循環することによって何度も濾過部１３１を通過するため、固形物が液体材料からより確実に分けられる。

【0072】

このように、溶融装置１は、液体材料に固形物が含まれることを抑えつつ、液体材料を均質化することができる。これにより、溶融装置１は、液体材料の品質を安定させることができる。

【0073】

また、濾過部本体１３１ｂに留まる未溶融の材料は、液体材料に曝されるため、該液体材料の熱によって溶融する。従って、溶融装置１は、未溶融の材料を濾過部本体１３１ｂに留めて液体材料に曝すことで溶融することができるため、投入部１０に投入された固形材料を無駄にすることなく、研磨パッド用の材料として用いることができる。

【0074】

さらに、本実施形態では、保温部１５によって、筺体１４内の温度が溶融した材料を液体の状態で維持できる温度で維持するため、濾過部本体１３１ｂに留まる未溶融の材料をより確実に溶融することができる。

【0075】

なお、本実施形態において、複数の濾材１３１ｃは、目の粗さが粗いものほど流入口に近い位置に配置される。そのため、濾過部１３１では、各濾材１３１ｃの目詰まりが抑えられつつ、固形物が液体材料から分けられる。

【0076】

また、本実施形態に係る溶融装置１は、供給弁１３４の状態を切り替えることによって、液体材料を溶融路内に循環させる状態と、液体材料を外部に送り出す状態とに切替可能であるため、投入部１０に投入された固形材料全体を完全に溶融したうえで、液体材料を外部に送り出すことができる。

【0077】

また、本実施形態に係る溶融装置１には、溶融した材料を均質化する均質化装置３が接続されるため、溶融装置１で固体から液体に変化させた材料が均質化装置３で撹拌されることによって均質化される。

【0078】

また、均質化装置３における均質化可能な材料の処理量が溶融装置１における溶融可能な材料の処理量よりも多いため、先に溶融させた材料を均質化装置３で撹拌しつつ、後に溶融させた材料を均質化装置３に供給することによって、双方の材料を均質化装置３で撹拌して混ぜ合わすことができる。このように、材料精製システム１は、先に溶融させた材料の質と、後に溶融させた材料の質とを均質化することによって、より均質性の高い材料を精製することができる。

【0079】

さらに、材料精製システム１は、均質化装置３が液体材料を循環させる均質路を有するため、溶融装置１によって新たに溶融した材料と、先に溶融装置１から均質化装置３に供給された液体材料とを混ぜ合わせたうえで、均質路に循環させて撹拌できる。従って、材料精製システム１は、精製された材料の均質性がより高まる。

【0080】

なお、本発明に係る溶融装置は、上記一実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更を行うことは勿論である。

【0081】

上記実施形態において、流通路１３０は、貯留部１２内の材料が流入する送出管１３０ａと、該送出管１３０ａ及び貯留部１２のそれぞれに流体的に接続される接続管１３０ｂと、送出管１３０ａと均質化装置３（均質化装置３の後述する貯留槽３０）とに流体的に接続される供給管１３０ｃとを有するが、この構成に限定されない。例えば、流通路１３０は、液体材料を濾過部１３１に通過させることができれば、接続管１３０ｂを備えていなくてもよい。

【0082】

また、上記実施形態において、溶融装置１は、液体材料を貯留槽３０に対して間欠的に供給していたが、液体材料を貯留槽３０に対して連続的に液体材料を供給してもよい。

【0083】

上記実施形態では、投入部１０に固形材料を間欠的に投入する場合について説明したが、この構成に限定されない。例えば、投入部１０に固形材料を連続的に投入しつつ、溶融部１１で固形材料を溶融してもよい。

【0084】

このように、溶融装置１は、液体材料を濾過部１３１に通過させることができれば、異物や、未溶融の材料を濾過部本体１３１ｂに留めることができ、さらに、濾過部本体１３１ｂに留めた材料を液体材料に曝して溶融することができるため、固形材料の投入の仕方や、外部への液体材料の送り出し方（本実施形態では、均質化装置３への液体材料の供給の仕方）が限定されるものではない。

【0085】

上記実施形態において、保温部１５は、筺体１４内に熱風を送り込むことによって、該筺体１４内の温度を所定の温度に維持していたが、筺体１４の内部の温度を所定の温度に維持することができれば、筺体１４内に熱風を送り込むように構成されたものに限定されない。

【0086】

上記実施形態において、濾過部本体１３１ｂは、複数の濾材１３１ｃを有するが、この構成に限定されない。例えば、濾過部本体１３１ｂは、単一の濾材１３１ｃを有していてもよい。なお、濾過部本体１３１ｂが単一の濾材１３１ｃを有する場合、互いに重なり合う複数の濾材１３１ｃのそれぞれを接合することによって、単一の濾材１３１ｃとしてもよい。

【0087】

上記実施形態において、溶融装置１には、溶融した材料を撹拌して均質化する均質化装置３が接続されるが、この構成に限定されない。例えば、溶融装置１は、吐出装置４に直接的に液体材料を供給するようにしたり、液体材料を型枠等に注ぐように構成したりしてもよい。そのため、供給管１３０ｃは、均質化装置３の貯留槽３０に流体的に接続される物に限定されない。

【符号の説明】

【0088】

１…溶融装置、２…投入装置、３…均質化装置、４…吐出装置、１０…投入部、１１…溶融部、１２…貯留部、１３…流通系、１４…筺体、１５…保温部、２０…ホッパー、２１…開閉弁、２２…貯蔵タンク、２３…管部材、３０…貯留槽、３１…移送系、４０…本体部、４１…吐出部、１３０…流通路、１３０ａ…送出管、１３０ｂ…接続管、１３０ｃ…供給管、１３１…濾過部、１３１ａ…ホルダ、１３１ｂ…濾過部本体、１３１ｃ…濾材、１３２…ストレーナ、１３３…送出ポンプ、１３４…供給弁、１４０…排気口、１４１…接続口、３１０…移送路、３１０ａ…流入管、３１０ｂ…連結管、３１０ｃ…吐出管、３１１…吸引ポンプ、３１２…吐出弁

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】