特開 2017-19290 スクライブ方法及びスクライブ装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2017-19290(P2017-19290A)

(43)【公開日】2017年1月26日

(54)【発明の名称】スクライブ方法及びスクライブ装置

(51)【国際特許分類】

   B28D 5/00 20060101AFI20170105BHJP

   C03B 33/037 20060101ALI20170105BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20170105BHJP

   B28D 5/04 20060101ALN20170105BHJP

【ＦＩ】

   B28D5/00 Z

   C03B33/037

   H01L21/78 G

   H01L21/78 C

   B28D5/04 A

【審査請求】有

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】9

(21)【出願番号】特願2016-203947(P2016-203947)

(22)【出願日】2016年10月17日

(62)【分割の表示】特願2013-141069(P2013-141069)の分割

【原出願日】2012年7月12日

(71)【出願人】

【識別番号】000174220

【氏名又は名称】坂東機工株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100098095

【弁理士】

【氏名又は名称】高田 武志

(72)【発明者】

【氏名】船城 明

【テーマコード（参考）】

3C069

4G015

5F063

【Ｆターム（参考）】

3C069AA03

3C069BA01

3C069BC07

3C069CA05

3C069CA06

3C069CA11

3C069CB01

3C069CB05

3C069EA02

4G015FA03

4G015FB01

4G015FC02

4G015FC11

4G015FC14

5F063AA02

5F063BA48

5F063DD34

5F063DE06

5F063DE33

(57)【要約】

【課題】ガラス基板の位置決めにおける位置ズレ、角度ズレ等に関係がなく、更に、スクライブヘッドの移動機構部の熱膨張機械誤差に影響されることなく、アライメントマークの実際の位置に基準し、予定位置へ精確にスクライブラインが形成できるスクライブ方法及びスクライブ装置を提供すること。
【解決手段】スクライブ方法及びスクライブ装置１は、スクライブヘッドと一体として座標系を移動するＣＣＤカメラ１０を備え、３点のアライメントマークについて、ＣＣＤカメラ１０のカメラセンサーを合せ、３点のアライメントマークのマークセンターの座標を計測し、このマークセンター座標とカメラセンターとの誤差を検出し、この誤差に基いて、かつ、座標回転、直角度補正、移動量補正等の演算処理を行い、アライメントマークのマークセンターの実際の座標をワーク座標系Ｚ’に変換し、この変換ワーク座標系Ｚ’においてスクライブを動作させる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

テーブル上面に、ガラス基板を位置決めするところの直交Ｘ、Ｙ基準線が設けられ、この基準線に基づいてＸ、Ｙ座標系をスクライブヘッドが移動して、位置決めしたガラス基板にスクライブラインを形成するスクライブ方法において、スクライブヘッドと一体として座標系を移動するＣＣＤカメラを備え、ガラス基板を位置決めした状態で、ＣＣＤカメラを移動し、ガラス基板上に記され、直交配置関係にある少なくとも３点のアライメントマークの設定座標Ｍ１（Ｘ＝Ｘ１、Ｙ＝Ｙ１）、Ｍ２（Ｘ＝Ｘ２、Ｙ＝Ｙ１）、Ｍ３（Ｘ＝Ｘ１，Ｙ＝Ｙ３）に、ＣＣＤカメラを合わせ、それぞれの少なくとも３点のアライメントマークのマークセンターの座標を計測し、前期アライメントマークの設定座標との誤差を検出し、この誤差に基づいて、また、座標回転、直角度補正、移動量補正等の演算処理を行い、アライメントマークＭ１のマークセンター実際の座標を（Ｘ＝０、Ｙ＝０）に、アライメントマークＭ２のマークセンター実際の座標を（Ｘ＝Ｘ２−Ｘ１、Ｙ＝０）に、アライメントマークＭ３のマークセンター実際の座標を（Ｘ＝０、Ｙ＝Ｙ３−Ｙ１）としたワーク座標系Ｚ’に変換し、この変換ワーク座標系Ｚ’においてスクライブを動作させるスクライブ方法。

【請求項2】

上面に、ガラス基板を位置決めするＸ方向ストッパー、Ｙ方向ストッパーを設けたテーブル上方において、スクライブヘッドが上記Ｘ方向ストッパーの端辺であるＸ軸及びＹ方向ストッパーの端辺であるＹ軸からなる座標系Ｚを移動してガラス基板にスクライブラインを形成するスクライブ方法において、スクライブヘッドと一体として上記座標系を移動するＣＣＤカメラを備え、ガラス基板をテーブル上面の上記Ｘ軸、Ｙ軸に位置決めした状態において、上記スクライブヘッドとＣＣＤカメラを一体として移動し、上記ガラス基板に記され、直交配置関係にある少なくとも３点のアライメントマークＭ１、Ｍ２、Ｍ３のそれぞれについて、上記Ｘ軸、Ｙ軸からの座標Ｍ１（Ｘ＝Ｘ１、Ｙ＝Ｙ１）、Ｍ２（Ｘ＝Ｘ２、Ｙ＝Ｙ１）、Ｍ３（Ｘ＝Ｘ１、Ｙ＝Ｙ３）に上記ＣＣＤカメラのカメラセンターを合わせ、上記３点のアライメントマークＭ１、Ｍ２、Ｍ３のマークセンターの座標を計測し、それぞれのアライメントマークＭ１、Ｍ２、Ｍ３について、このマークセンターとカメラセンターとの誤差を検出し、この誤差に基づいて、かつ、座標回転、直角度補正、移動量補正等の演算処理を行い、アライメントマークＭ１のマークセンター実際の座標を（Ｘ＝０、Ｙ＝０）に、アライメントマークＭ２のマークセンター実際の座標を（Ｘ＝Ｘ２−Ｘ１、Ｙ＝０）に、アライメントマークＭ３のマークセンター実際の座標を（Ｘ＝０、Ｙ＝Ｙ３−Ｙ１）としたワーク座標系Ｚ’に変換し、この変換ワーク座標系Ｚ’においてスクライブを動作させる手段とを備えたスクライブ方法。

【請求項3】

上面に、ガラス基板を位置決めするＸ方向ストッパー、Ｙ方向ストッパーを設けたテーブル上方において、スクライブヘッドが上記Ｘ方向ストッパーの端辺であるＸ軸及びＹ方向ストッパーの端辺であるＹ軸からなる座標系Ｚを移動してガラス基板にスクライブラインを形成するスクライブ装置において、スクライブヘッドと一体として上記座標系を移動するＣＣＤカメラを備え、ガラス基板をテーブル上面の上記Ｘ軸、Ｙ軸に位置決めした状態において、上記スクライブヘッドとＣＣＤカメラを一体として移動し、上記ガラス基板に記され、直交配置関係にある少なくとも３点のアライメントマークＭ１、Ｍ２、Ｍ３のそれぞれについて、上記Ｘ軸、Ｙ軸からの座標Ｍ１（Ｘ＝Ｘ１、Ｙ＝Ｙ１）、Ｍ２（Ｘ＝Ｘ２、Ｙ＝Ｙ１）、Ｍ３（Ｘ＝Ｘ１、Ｙ＝Ｙ３）に上記ＣＣＤカメラのカメラセンターを合わせ、上記３点のアライメントマークＭ１、Ｍ２，Ｍ３のマークセンター座標を計測する手段と、この誤差に基づいて、座標回転、直角度補正、移動量補正等の演算処理を行い、アライメントマークＭ１のマークセンター実際の座標を（Ｘ＝０、Ｙ＝０）に、アライメントマークＭ２のマークセンター実際の座標を（Ｘ＝Ｘ２−Ｘ１、Ｙ＝０）に、アライメントマークＭ３のマークセンター実際の座標を（Ｘ＝０、Ｙ＝Ｙ３−Ｙ１）としたワーク座標系Ｚ’に変換し、この変換ワーク座標系Ｚ’においてスクライブを動作させる手段とを備えたスクライブ装置。

【請求項4】

スクライブヘッドがＸ軸移動し、ガラス基板を位置決め載置するテーブルがＹ軸移動する請求項１又は２に記載のスクライブ方法。

【請求項5】

スクライブヘッドがＸ軸移動し、ガラス基板を位置決め載置するテーブルがＹ軸移動する請求項３に記載のスクライブ装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ガラス基板、半導体基板、太陽電池用の基板等脆性材料基板上にスクライブラインを形成するに適するスクライブ方法及びスクライブ装置に関する。

【0002】

また、本発明は、アライメントマークを記したガラス基板、半導体基板、太陽電池用基板に、スクライブラインを形成するスクライブ方法及びスクライブ装置に係る。

【0003】

なお、上記ガラス基板、半導体基板、太陽電池用基板を一括して以下ガラス基板と称する。

【0004】

また、本発明は、ガラス基板を取り換える度に位置決めしたガラス基板のアライメントマークをＣＣＤカメラにより撮像、画像処理し、アライメントマークの位置又は座標等を計測し、必要な処理を行った後に、スクライブ動作を行うスクライブ方法及びスクライブ装置の改良に係る。

【背景技術】

【0005】

特許文献１には、アライメントマークが記されたガラス基板のスクライブ方法が記載されている。

【0006】

特許文献１によれば、まず、位置決め用アライメントマークを記した例えばガラス基板をテーブル上に、位置決めし、吸着固定する。次に、スクライブ装置の上方に設置された２台のＣＣＤカメラを用いて、基板上の左右２ケ所の上記アライメントマークを夫々撮像し、画像処理を行う。次に、画像処理により、テーブルの基準線から基板が、どれだけの角度傾いて載置しているか、また基板がテーブルの基準となる原点位置からどれだけずれているかを検出する。次に、検出結果に基き、基板の傾きは、テーブルの回転によって補正し、テーブルの原点位置からのずれは、テーブルをＹ軸方向に移動し、また、スクライブヘッドをＸ軸方向に移動させて補正する。

【0007】

この補正作業は、基板を取替える度に行い。この補正作業が終了次第、スクライブ動作を開始するものである。

【0008】

即ち、特許文献１の技術は、ガラス基板にスクライブラインを形成せずに、先ず、ガラス基板の位置決め状況を確認し、位置決めの補正作業を経た後ちに、スクライブ動作を行うものである。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0009】

【特許文献1】特開２０１１−２５１９００

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0010】

しかしながら、スクライブラインの形成は主に、スクライブヘッドが移動して行われる。このとき、スクライブヘッドの移動機構部に熱膨張、機械誤差が影響して、スクライブヘッドの移動値に誤差が生じ、予定位置に精確にスクライブラインを形成することは困難となる。

【0011】

設定数値と実際の移動量が一致しないことになる。さらに、ガラス基板とスクライブヘッド移動機構部、またテーブル移動機構部とはその熱膨張が相異するため、ガラス基板のアライメントマーク位置に精確に合わせての、また準拠してのスクライブラインの形成は困難である。何回もの補正作業が必要となる。

【0012】

そこで、本発明は、ガラス基板の位置決めにおける位置ズレ、角度ズレ等に関係がなく、更に、スクライブヘッドの移動機構部の熱膨張機械誤差に影響されることなく、アライメントマークの実際の位置に基準し、予定位置へ精確にスクライブラインが形成できるスクライブ方法及びスクライブ装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0013】

本発明は、上面に、ガラス基板を位置決めするＸ方向ストッパー、Ｙ方向ストッパーを設けたテーブル上方において、スクライブヘッドが上記Ｘ方向ストッパーの端辺であるＸ軸及びＹ方向ストッパーの端辺であるＹ軸からなる座標系Ｚを移動してガラス基板にスクライブラインを形成するスクライブ方法において、スクライブヘッドと一体として上記座標系を移動するＣＣＤカメラを備え、ガラス基板をテーブル上面の上記Ｘ軸、Ｙ軸に位置決めした状態において、上記スクライブヘッドとＣＣＤカメラを一体として移動し、上記ガラス基板に記され、直交配置関係にある少なくとも３点のアライメントマークＭ１、Ｍ２，Ｍ３のそれぞれについて、上記Ｘ軸、Ｙ軸からの座標Ｍ１（Ｘ＝Ｘ１，Ｙ＝Ｙ１）、Ｍ２（Ｘ＝Ｘ２，Ｙ＝Ｙ１）、Ｍ３（Ｘ＝Ｘ１，Ｙ＝Ｙ３）に上記ＣＣＤカメラのカメラセンサーを合せ、上記３点のアライメントマークＭ１、Ｍ２、Ｍ３のマークセンターの座標を計測し、それぞれアライメントマークＭ１、Ｍ２、Ｍ３について、このマークセンター座標とカメラセンターとの誤差を検出し、この誤差に基いて、かつ、座標回転、直角度補正、移動量補正等の演算処理を行い、アライメントマークＭ１のマークセンターの実際の座標を（Ｘ＝０、Ｙ＝０）に、アライメントマークＭ２のマークセンターの実際の座標を（Ｘ＝Ｘ２−Ｘ１、Ｙ＝０）に、アライメントマークＭ３のマークセンターの実際の座標を（Ｘ＝０、Ｙ＝Ｙ３−Ｙ１）としたワーク座標系Ｚ’に変換し、この変換ワーク座標系Ｚ’においてスクライブを動作させるスクライブ方法である。

【0014】

また、本発明は、上面に、ガラス基板を位置決めするＸ方向ストッパー、Ｙ方向ストッパーを設けたテーブル上方において、スクライブヘッドが上記Ｘ方向ストッパーの端辺であるＸ軸及びＹ方向トッパーの端辺であるＹ軸からなる座標系Ｚを移動してガラス基板にスクライブラインを形成するスクライブ装置において、スクライブヘッドと一体として上記座標系を移動するＣＣＤカメラを備え、ガラス基板をテーブル上面の上記Ｘ軸、Ｙ軸に位置決めした状態において、上記スクライブヘッドとＣＣＤカメラを一体として移動し、上記ガラス基板に記され、直交配置関係にある少なくとも３点のアライメントマークＭ１、Ｍ２、Ｍ３のそれぞれについて、上記Ｘ軸、Ｙ軸からの座標Ｍ１（Ｘ＝Ｘ１、Ｙ＝Ｙ１）、Ｍ２（Ｘ＝Ｘ２、Ｙ＝Ｙ１）、Ｍ３（Ｘ＝Ｘ１、Ｙ＝Ｙ３）に上記ＣＣＤカメラのカメラセンターを合せ、上記３点のアライメントマークＭ１、Ｍ２、Ｍ３のマークセンターの座標を計測する手段と、この誤差に基いて、座標回転、直角度補正、移動量補正等の演算処理を行い、アライメントマークＭ１のマークセンターの実際の座標を（Ｘ＝０、Ｙ＝０）に、アライメントマークＭ２のマークセンターの実際の座標を（Ｘ＝Ｘ２−Ｘ１、Ｙ＝０）に、アライメントマークＭ３のマークセンターの実際の座標を（Ｘ＝０、Ｙ＝Ｙ３−Ｙ１）としたワーク座標系Ｚ’に変換し、この変換ワーク座標系Ｚ’においてスクライブを動作させる手段とを備えたスクライブ装置である。

【0015】

なお、上述において、ガラス基板のアラインメントマークＭ１、Ｍ２、Ｍ３のテーブル上に設定のＸ軸、Ｙ軸からの座標Ｍ１（Ｘ＝Ｘ１、Ｙ＝Ｙ１）、Ｍ２（Ｘ＝Ｘ２、Ｙ＝Ｙ１）、Ｍ３（Ｘ＝Ｘ１、Ｙ＝Ｙ３）は設定座標のことでもある。

【発明の効果】

【0016】

テーブル上に設定されたＸ軸上、Ｙ軸上に合せて位置決めしたガラス基板上を、スクライブヘッドと共に一体としてＣＣＤカメラが座標系移動し、ガラス基板上に直行配置関係にある少なくとも３点のアライメントマークのそれぞれのマークセンターの実際の位置座標を、それぞれのアライメントマークの設定座標に基づいて計測し、この計測されたマークセンターの実際の座標値を上記設定座標に置き換えたうえで、かつ、上記３点のアライメントマークをそのマークセンターの実際の座標をもって座標軸上及び原点上に分けて配置したところのワーク座標系変換し、この変換されたワーク座標系において、スクライブを行う。すると、スクライブの指定数値はマークセンターの実際位置に基づいて換算されて実行される。

【0017】

よって製作図面数値を用いて、スクライブすると、アライメントマーク同士のマークセンターの実際の位置、距離、角度に合わされ、また準拠したスクライブラインが形成される。

【0018】

なお、以下、アライメントマークＭ１、Ｍ２、Ｍ３のそれぞれのマークセンターを、Ｍ１Ｃ、Ｍ２Ｃ、Ｍ３Ｃと称す。

【0019】

また、直交３点のアライメントＭ１、Ｍ２、Ｍ３のマークセンターＭ１Ｃ、Ｍ２Ｃ、Ｍ３Ｃを座標軸上に位置させた変換ワーク座標において、スクライブを行うので、位置決めされたガラス基板が位置ズレ、角度ズレの状態にあっても、アライメントマークの実際の位置に基準してスクライブラインが形成される。

【0020】

また、上記マークセンターＭ１Ｃ、Ｍ２Ｃ、Ｍ３Ｃ計測はスクライブヘッドとＣＣＤカメラとを一体として移動して行うため、その計測値は、スクライブヘッド移動機構部の熱膨張機械誤差を含んでの計測値である。このため、計測に基くスクライブヘッドへの指令数値と移動量とは一致し、予定位置に精確にスクライブを形成される。

【0021】

例えば、本発明のスクライブ方法によると、図面寸法でマークＭ１とマークＭ２とのセンター間寸法が３００ｍｍであるにもかかわらず、実際の中心間距離が３００．５ｍｍであった場合、Ｍ１と通るＸ＝０の直線と、Ｍ２を通るＸ＝３００の直線のスクライブラインを形成した場合、２つのスクライブラインの間隔は３００．５ｍｍとなる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】図１は、本発明の一実施例を示すスクライブ装置の平面図。

【図2】図２は、図１に示すスクライブ装置の側面図。

【図3】図３は、ガラス基板の直交３点のアライメントマークのセンタ座標を基準として、ワーク座標系を補正変換した説明図。

【図4】図４は、本発明のスクライブ方法のフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0023】

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。

【実施例】

【0024】

図１及び図２は、スクライブ装置１を示す。

【0025】

２は、スクライブヘッドである。

【0026】

３は、このスクライブヘッド２をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動手段である。

【0027】

４は、上記スクライブヘッド２をＹ軸方向に移動させるＹ軸移動手段である。

【0028】

なお、上記Ｘ軸移動手段３とＹ軸移動手段４とは後で詳述する。

【0029】

５は、アライメントマークを記したガラス基板である。

【0030】

６は、上面に上記ガラス基板５を位置決めセットし、吸着固定するテーブルである。このテーブル６は本実施例では固定である。また、このテーブル６の上面には、ガラス基板５を位置決めするためのＸ方向ストッパー７、７及びＹ方向ストッパー８が配設されている。

【0031】

そして、Ｘ方向ストッパー７、７の先端辺７Ａ、７ＡがＸ軸７Ｂ、Ｙ方向ストッパー８の先端辺８ＡがＹ軸８Ｂとなっている。

【0032】

スクライブヘッド２は、Ｘ軸７Ｂ、Ｙ軸８Ｂで形成される座標系を移動する。

【0033】

なお、後述するが、スクライブヘッド２にはＣＣＤカメラ１０が並設され、ＣＣＤカメラ１０と一体となって移動する。

【0034】

また、このスクライブヘッド２は、下部にスクライブホイールを保持し、このスクライブホイールをガラス基板５に押付け、移動させてスクライブライン１１を形成する。

【0035】

１０は、ＣＣＤカメラである。

【0036】

このＣＣＤカメラ１０とスクライブヘッド２とは、後述するように共通の９に平行して取付けされている。

【0037】

そこで、本スクライブ装置１において、ＣＣＤカメラ１０とスクライブヘッド２を座標系移動させるところのＸ軸移動手段３とＹ軸移動手段４を詳述する。

【0038】

Ｘ軸移動手段３は、テーブル６を挟んで両側それぞれにおいてＸ軸方向に沿って設けたＸ１軸移動手段３の１とＸ２軸移動手段３の２とからなる。

【0039】

Ｘ１軸移動手段３の１とＸ２軸移動手段３の２のそれぞれは、Ｘ軸方向に沿って基台１１に取付けたガイドレール１２、このガイドレール１２に保持され移動自在のスライドブロックに取付けられた移動体１３と、ガイドレール１２に沿って装置され、元部にサーボモータ１４が連結されたボールネジ１５と備え、ボールネジ１５は移動体１３に連結されている。サーボモータ１４の駆動によってボールネジ１５を介して移動体１３がＸ軸方向に移動する。Ｘ１軸移動手段３の１とＸ２軸移動手段３の２のそれぞれのサーボモータ１４、１４は同期制御して、それぞれの移動体１３と１３は同期してＸ軸方向に移動する。

【0040】

Ｘ１軸移動手段３の１の移動体１３とＸ２軸移動手段３の２の移動体１３にＹ軸移動手段４がＸ軸方向に直交して架設されている。Ｙ軸移動手段４は、テーブル６上をまたいで架設されてＸ軸方向に移動する。

【0041】

このＹ軸移動手段４は、Ｘ１軸移動手段３の１の移動体１３、Ｘ２軸移動手段３の２の移動体１３とに架設したブリッチ体１６と、このブリッチ体１６にＹ軸方向に沿って設けられたガイドレール１７と、このガイドレール１７に保持され直動自在のスライドブロックに取付けられたＬ形のＹ軸ギヤリッジ１８と、元部にＹ軸サーボモータ１９が連結され、ガイドレール１７に沿って設けられたボールネジ２０とを備え、このボールネジ２０がＹ軸ギヤリッジ１８のナット部に螺入されている。Ｙ軸ギヤリッジ１８は、Ｙ軸サーボモータ１９の駆動によってボールネジ２０を介してＹ軸方向に移動する。

【0042】

このＹ軸ギヤリッジ１８の前面には、リニアモータ装置２２を介して、ヘッドプレート９が取付けられている。

【0043】

リニアモータ装置２２によりヘッドプレート９は上下動される。このヘッドプレート９の前面には、スクライブヘッド２とＣＣＤカメラ１０とが平行して並設されている。

【0044】

ヘッドプレート９はリニアモータ装置２２により、スクライブヘッド２とＣＣＤカメラ１０は一体となって、テーブル６上面延いてはセットされたガラス基板５に向かって数値指令されて、垂直に上下動する。また、必要位置に停止する。

【0045】

ＣＣＤカメラ１０の焦点調整のため、なお、リニアモータ装置２２に変えて、モータと逆ルネジとガイドレールとを備え、モータ駆動により上下動するスライド装置でもよい。

【0046】

スクライブ装置１によるスクライブ方法を図３、図４に基づいて説明する。

【0047】

ガラス基板５を取り換する度に、
（Ｉ）テーブル６の上面のＸ方向ストッパー７、７の先端辺７Ａ、７Ａ及びＹ方向ストッパー８の先端辺８Ａにガラス基板５を添当て、Ｘ軸７Ａ及びＹ軸８Ｂ上に吸着固定する。
（ＩＩ）ＮＣ装置を動作して、スクライブヘッド２と一体としてＣＣＤカメラ１０をワーク座標系移動し、位置決めされたガラス基板５上に記され、直交配置関係にある少なくとも３点のアライメントマークＭ１、Ｍ２、Ｍ３についての、Ｘ軸７Ａ及びＹ軸８Ｂからの座標Ｍ１（Ｘ＝Ｘ１、Ｙ＝Ｙ１）、Ｍ２（Ｘ＝Ｘ２、Ｙ＝Ｙ１）、Ｍ３（Ｘ＝Ｘ１、Ｙ＝Ｙ３）に、ＣＣＤカメラ１０のカメラセンター３１を合せ、３点のアライメントマークＭ１、Ｍ２、Ｍ３それぞれのマークセンターＭ１Ｃ、Ｍ２Ｃ、Ｍ３Ｃの実際の座標を計測する。

【0048】

それぞれのマークＭ１、Ｍ２、Ｍ３について、ぞれぞれの
（ＩＩＩ）マークセンタＭ１Ｃ、Ｍ２Ｃ、Ｍ３Ｃの実際の位置の座標とカメラセンタ３１の座標Ｍ１（Ｘ＝Ｘ１、Ｙ＝Ｙ１）、Ｍ２（Ｘ＝Ｘ２、Ｙ＝Ｙ１）、Ｍ３（Ｘ＝Ｘ１、Ｙ＝Ｙ３）との誤差を計測する。

【0049】

（ＩＶ）上記の各誤差に基づいて、座標回転、直角度補正、移動量補正等演算処理を行い、アライメントマークＭ１のマークセンタＭ１Ｃの実際の位置の座標を（Ｘ＝０、Ｙ＝０）に、アライメントマークＭ２のマークセンタＭ２Ｃの実際の位置の座標を（Ｘ＝Ｘ２−Ｘ１、Ｙ＝０）に、アライメントマークＭ３のマークセンタＭ３Ｃの実際の位置の座標を（Ｘ＝０、Ｙ＝Ｙ３−Ｙ１）としたワーク座標系に変換する。

【0050】

（Ｖ）この変換ワーク座標系において、スクライブを動作する。

【0051】

スクライブ装置１によるスクライブ方法を図３、図４に基づいて説明する。

【0052】

ガラス基板５を取り換する度に、
（Ｉ）テーブル６の上面のＸ方向ストッパー７、７の先端辺７Ａ，７Ａ及びＹ方向ストッパー８の先端辺８Ａにガラス基板５を添当て、Ｘ軸７Ｂ及びＹ軸８Ｂ上に吸着固定する。
（ＩＩ）ＮＣ装置を動作して、スクライブヘッド２と一体としてＣＣＤカメラ１０をワーク座標系移動し、位置決めされたガラス基板５上に記され、直交配置関係にある少なくとも３点のアライメントマークＭ１、Ｍ２、Ｍ３についての、上記Ｘ軸７Ｂ及びＹ軸８Ｂからの座標Ｍ１（Ｘ＝Ｘ１、Ｙ＝Ｙ１）、Ｍ２（Ｘ＝Ｘ２、Ｙ＝Ｙ１）、Ｍ３（Ｘ＝Ｘ１、Ｙ＝Ｙ３）に、上記ＣＣＤカメラ１０のカメラセンター３１を合せ、上記３点のアライメントマークＭ１、Ｍ２、Ｍ３それぞれのマークセンタＭ１Ｃ、Ｍ２Ｃ、Ｍ３Ｃの実際位置の座標を検出する。

【0053】

（ＩＩＩ）それぞれのマークＭ１、Ｍ２、Ｍ３について、それぞれのマークセンターＭ１Ｃ、Ｍ２Ｃ、Ｍ３Ｃの実際の位置の座標とカメラセンター３１の座標Ｍ１（Ｘ＝Ｘ１、Ｙ＝Ｙ１）、Ｍ２（Ｘ＝Ｘ２、Ｙ＝Ｙ１）、Ｍ３（Ｘ＝Ｘ１、Ｙ＝Ｙ３）との誤差を計測する。

【0054】

（ＩＶ）上記の各誤差に基づいて、座標回転、直角度補正、移動量補正等演算処理を行い、アライメントマークＭ１のマークセンターＭ１Ｃの実際の位置の座標を（Ｘ＝０、Ｙ＝Ｏ）に、アライメントマークＭ２のマークセンターＭ２Ｃの実際の位置の座標を（Ｘ＝Ｘ２−Ｘ１、Ｙ＝０）に、アライメントマークＭ３のマークセンターＭ３Ｃの実際の位置の座標を（Ｘ＝０、Ｙ＝Ｙ３−Ｙ１）としたワーク座標系に変換する。

【0055】

（Ｖ）この変換ワーク座標系においてスクライブを動作する。

【符号の説明】

【0056】

１ スクライブ装置
２ スクライブヘッド
５ ガラス基板
７ Ｘ方向ストッパー
８ Ｙ方向ストッパー
１０ ＣＣＤカメラ
３１ カメラセンター

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】