特開 2017-202885 搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2017-202885(P2017-202885A)

(43)【公開日】2017年11月16日

(54)【発明の名称】搬送装置

(51)【国際特許分類】

   B65G 1/04 20060101AFI20171020BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20171020BHJP

【ＦＩ】

   B65G1/04 551B

   H01L21/68 A

【審査請求】有

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2016-93739(P2016-93739)

(22)【出願日】2016年5月9日

(71)【出願人】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107836

【弁理士】

【氏名又は名称】西 和哉

(74)【代理人】

【識別番号】100105946

【弁理士】

【氏名又は名称】磯野 富彦

(72)【発明者】

【氏名】小林 誠

【テーマコード（参考）】

3F022

5F131

【Ｆターム（参考）】

3F022JJ02

3F022JJ11

3F022KK02

3F022KK07

3F022KK14

3F022LL12

3F022MM52

3F022MM57

3F022PP06

3F022QQ11

5F131AA02

5F131CA12

5F131DA05

5F131DA23

5F131DA42

5F131DB87

5F131DC06

5F131DC26

5F131DD02

5F131DD44

5F131DD57

5F131DD59

5F131DD94

5F131GA14

5F131GA88

5F131HA02

5F131HA43

5F131KA05

5F131KA16

5F131KA33

5F131KA34

5F131KA35

5F131KA72

5F131KB32

(57)【要約】

【課題】容器に備える蓋の有無または蓋の外れを簡単な構成で確実に判別することが可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１は、側面３ｂに蓋２を有する容器３を搬送する装置であって、搬送位置に位置する容器３の蓋２の上端部２ｂに対向するように配置される蓋落下防止部材１９と、蓋落下防止部材１９に配置されて蓋２の上端部２ｂの有無を検出する蓋検出部２０と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

側面に蓋を有する容器を搬送する搬送装置であって、
搬送位置に位置する前記容器の前記蓋の上端部に対向するように配置される蓋落下防止部材と、
前記蓋落下防止部材に配置されて前記蓋の上端部の有無を検出する蓋検出部と、を備える搬送装置。

【請求項2】

前記蓋検出部は、前記蓋の上端部の中央から横方向に離れた部分と対向するように配置される、請求項１に記載の搬送装置。

【請求項3】

前記蓋の上端部の接近を検出する蓋接近検出部を備える、請求項１または請求項２に記載の搬送装置。

【請求項4】

前記蓋接近検出部は、前記蓋に形成された平坦部と対向するように配置される、請求項３に記載の搬送装置。

【請求項5】

前記蓋落下防止部材は、前記蓋を除いた前記容器の一部に当接して前記容器の接近を阻止するストッパを備える、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の搬送装置。

【請求項6】

前記容器を保持して昇降させる昇降駆動部を備え、
前記蓋落下防止部材は、前記昇降駆動部に設けられる、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送装置に関する。

【背景技術】

【0002】

天井走行車などの搬送装置は、例えばＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod：フープ）等のように側面等に着脱可能な蓋を有する容器の搬送などに利用されている（例えば、特許文献１参照）。搬送装置においては、容器内の半導体ウエハ等の被収容物の汚染防止や飛び出し、または蓋の落下防止などの観点から、蓋の有無または蓋の外れを検出することが望まれる。特許文献１には、蓋の前方に押さえ部材が配置され、この押さえ部材に蓋の外れを検出する光学センサを備える搬送装置が提案されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１５−７０００４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載のものでは、搬送中の容器において蓋の有無を検出することができないといった問題がある。上記した天井走行車は、自動倉庫等からホイスト等の昇降駆動部により容器を上昇させ、容器を吊り下げた状態で移送するが、自動倉庫内で既に蓋が外れている場合、あるいは容器を上昇させる途中で蓋が外れて落下した場合など、天井走行車の搬送位置に容器を配置した段階で既に蓋がない可能性がある。このような場合、特許文献１の光学センサでは容器の蓋がないといった異常を検出できない。その結果、天井走行車の走行中に被収容物の汚染や飛び出しを招く可能性がある。

【0005】

また、天井走行車は、横出し機構により昇降駆動部を横方向に突出させた状態で容器を昇降させるものがある。このような天井走行車は、吊り下げた容器を横方向に移動させるため、容器の蓋の有無または蓋の外れを検出する検出部を、容器の移動のじゃまにならないように配置する必要がある。

【0006】

本発明は、上述の事情に鑑みなされたもので、容器に備える蓋の有無または蓋の外れを簡単な構成で確実に判別することが可能な搬送装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明は、側面に蓋を有する容器を保持して搬送する搬送装置であって、搬送位置に位置する容器の蓋の上端部に対向するように配置される蓋落下防止部材と、蓋落下防止部材に配置されて蓋の上端部の有無を検出する蓋検出部と、を備える。

【0008】

また、蓋検出部は、蓋の上端部の中央から横方向に離れた部分と対向するように配置されてもよい。また、蓋の上端部の接近を検出する蓋接近検出部を備えてもよい。また、蓋接近検出部は、蓋に形成された平坦部と対向するように配置されてもよい。また、蓋落下防止部材は、蓋を除いた容器の一部に当接して容器の接近を阻止するストッパを備えてもよい。また、容器を保持して昇降させる昇降駆動部を備え、蓋落下防止部材は、昇降駆動部に設けられてもよい。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、蓋落下防止部材に配置された蓋検出部により、容器に備える蓋の有無を検出するので、容器に蓋が付いていない異常な状態を簡単な構成で確実に判別することができる。

【0010】

また、蓋検出部が、蓋の上端部の中央から横方向に離れた部分と対向するように配置される場合、蓋がないときに容器に収容した円盤状の部材の端部を蓋検出部が検出し、蓋があるものと誤認識することを低減できる。また、蓋の上端部の接近を検出する蓋接近検出部を備える場合、容器から蓋が外れて倒れてきたことを蓋接近検出部で検出するので、蓋の外れを容易かつ確実に判別できる。また、蓋接近検出部が、蓋に形成された平坦部と対向するように配置される場合、平坦部によって蓋の接近を精度よく検出できる。また、蓋落下防止部材が、蓋を除いた容器の一部に当接して容器の接近を阻止するストッパを備える場合、搬送中の容器の揺れを抑制することができるだけでなく、搬送中の揺れによって容器全体が蓋接近検出部に接近することによって、蓋が外れていないにもかかわらず蓋が外れたと蓋接近検出部が誤検出するのを防止することができる。また、容器を保持して昇降させる昇降駆動部を備え、蓋落下防止部材が、昇降駆動部に設けられる場合、昇降駆動部を横方向に移動可能とするときでも、簡単な構成で蓋の有無を確実に検出できる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】第１実施形態に係る搬送装置の一例を概念的に示す図である。

【図2】蓋落下防止部材を容器の蓋側から見た斜視図である。

【図3】蓋落下防止部材を外側から見た斜視図である。

【図4】容器と蓋検出部及び蓋接近検出部との位置関係を示す図である。

【図5】（Ａ）は蓋検出部と蓋との位置関係を示す図であり、（Ｂ）は蓋接近検出部と蓋との位置関係を示す図である。

【図6】昇降駆動部を横出しした状態の一例を示す図である。

【図7】搬送装置の下部の構成の一例を示す斜視図である。

【図8】（Ａ）は蓋検出部により蓋の有無を検出する一例を示す図、（Ｂ）は蓋接近検出部により蓋の接近を検出する一例を示す図である。

【図9】ストッパに容器の一部が接触した状態を示す図である。

【図10】第２実施形態に係る搬送装置の一例を概念的に示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、鉛直方向をＺ方向とし、水平方向をＸ方向、Ｙ方向とする。Ｘ方向、Ｙ方向、及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の方向が＋方向であり、矢印の方向とは反対の方向が−方向であるものとして説明する。

【0013】

［第１実施形態］
図１は、第１実施形態に係る搬送装置１の一例を概念的に示す図である。この搬送装置１は、例えば、処理装置あるいは自動倉庫などの間において、蓋２を有する容器３の搬送に用いられる。容器３は、例えば、半導体ウエハを収容するＦＯＵＰであるが、半導体ウエハ以外の物を収容する容器であってもよい。

【0014】

容器３は、半導体ウエハなどの被収容物を容器３の内部へ搬入するための開口３ａを備える。開口３ａは、容器３の側面３ｂに設けられており、この側面３ｂは、鉛直方向と平行に配置され、開口３ａが水平方向（図１ではＹ方向）に向くように配置される。蓋２は、開口３ａを塞ぐように、容器３の側面３ｂに着脱可能に設けられる。蓋２の着脱機構は任意の構成が適用される。蓋２の外側の面（−Ｙ側の面）には、着脱用の吸盤等を吸着させる複数の平坦部２ａが形成される。平坦部２ａは、例えば円形状であるが、平坦部２ａの形状は任意である。

【0015】

容器３の頂部には、フランジ部３ｃが設けられている。フランジ部３ｃは、基端側の接続部３ｄと、接続部３ｄの上方に取り付けられる矩形板状の被係止部３ｅと、を有している。

【0016】

搬送装置１は、容器３を保持して鉛直方向に昇降させる昇降駆動部４と、昇降駆動部４を水平方向に移動させる天井走行車５と、容器３における蓋の有無を検出する蓋検出部２０と、搬送装置１の各部を制御する制御部７と、を備える。

【0017】

天井走行車５は、走行駆動部９を有し、走行駆動部９の駆動力によって走行レール（軌道）８に沿って走行する。走行レール８は、例えばクリーンルームの天井に設けられ、Ｘ方向に延びている。走行駆動部９は、不図示のリニアモータ、走行輪、エンコーダなどを有する。走行輪は、走行レール８に接するように配置される。エンコーダは、走行輪の回転数などを検出し、その検出結果を制御部７に出力する。制御部７は、エンコーダの検出結果に基づいてリニアモータを制御し、天井走行車５の速度あるいは停止位置の制御を行う。なお、天井走行車５の停止位置の設定は、走行レール８に沿って予め設置された指標板等を識別することによって行ってもよい。

【0018】

天井走行車５は、走行駆動部９から下方に延びる支持軸１０が取り付けられている。支持軸１０の下部はＹ方向移動部１１が取り付けられている。Ｙ方向移動部１１の下部には、横出し機構１２が取り付けられている。横出し機構１２の下部には昇降駆動部４が取り付けられている。

【0019】

Ｙ方向移動部１１は、不図示のＹ方向ガイド、Ｙ方向駆動部などを有する。Ｙ方向移動部１１は、電動モータ等のＹ方向駆動部からの駆動力によって、横出し機構１２をガイドに沿って＋Ｙ方向または−Ｙ方向に移動可能である。横出し機構１２は、上板１２ａと下板１２ｂとが重ねられて設けられ、上板１２ａがＹ方向移動部１１に対してＹ方向に移動可能であり、下板１２ｂが上板１２ａに対してＹ方向に移動可能である。下板１２ｂには、後に説明する昇降駆動部４が取り付けられている。これにより、昇降駆動部４をＹ方向に移動することができる。横方向移動部１１及び横出し機構１２の動作については、後に図６で説明する。なお、搬送装置１は、Ｙ方向移動部１１及び横出し機構１２を備えなくてもよい。

【0020】

また、天井走行車５は、不図示の回動部を備えている。回動部は、不図示の回動軸、回動駆動部などを有する。この回動軸はＺ方向と平行に配置され、昇降駆動部４に接続される。回動駆動部は、電動モータ等が用いられ、回動軸をＺ方向の周りで回動させる。回動部は、回動駆動部からの駆動力によって回動軸を回動し、昇降駆動部４をＺ方向に平行な軸周りに回動可能である。制御部７は、回動部を制御し、昇降駆動部４を目標位置に回動させる。なお、搬送装置１は、回動部を備えなくてもよい。

【0021】

昇降駆動部４は、容器３を保持する保持部１３と、保持部１３を鉛直方向に移動させる駆動部１４と、を備える。保持部１３は、容器３のフランジ部３ｃを把持することにより、容器３を吊り下げて保持する。保持部１３は、例えば、水平方向に移動可能な爪部１３ａを有するチャックであり、爪部１３ａを被係止部３ｅの下方に侵入させ、保持部１３を上昇させることで、容器３を保持する。保持部１３は、ワイヤあるいはベルトなどの吊り下げ部材１３ｂ（図６参照）と接続されている。駆動部１４は、例えばホイストであり、吊り下げ部材１３ｂを繰り出すことにより保持部１３を降下させ、吊り下げ部材１３ｂを巻き取ることにより保持部１３を上昇させる。

【0022】

制御部７は、昇降駆動部４を制御して、所定の速度で保持部１３を降下あるいは上昇させる。また、制御部７は、昇降駆動部４を制御して、保持部１３を目標の高さに保持させる。制御部７は、昇降駆動部４を制御することにより、保持部１３に保持された容器３の高さを制御する。以下の説明において、保持部１３に保持された容器３が昇降範囲の上端まで上昇した状態を、適宜、搬送位置における吊り上げ保持状態という。

【0023】

上述のＹ方向移動部１１、横出し機構１２、及び昇降駆動部４は、天井走行車５に支持されており、天井走行車５と一体となってＸ方向に移動する。Ｙ方向移動部１１、横出し機構１２、及び昇降駆動部４の−Ｘ側の側方にはカバー１５が設けられており、＋Ｘ側の側方にはカバー１６が設けられている。カバー１５およびカバー１６は、それぞれ、支持軸１０を介して天井走行車５に支持されており、天井走行車５と一体となってＸ方向に移動する。

【0024】

カバー１５及びカバー１６は、容器３の吊り上げ保持状態において、それぞれの下端部が容器３の底面より下方に位置する。カバー１５の下端部およびカバー１６の下端部には、それぞれ、バー１７ａを介して落下防止片１７が設けられている。カバー１５及びカバー１６の下部であって−Ｙ側には、それぞれ蓋押さえ片１８が設けられている。落下防止片１７、蓋押さえ片１８については、後に図７においても説明する。

【0025】

次に、蓋落下防止部材１９について説明する。蓋落下防止部材１９は、蓋２の−Ｙ方向（前面側）に設けられ、容器３から蓋２が外れて落下するのを防止する。蓋落下防止部材１９は、例えば、昇降駆動部４の下部に設けられ、昇降駆動部４の移動とともに移動する。蓋落下防止部材１９は、搬送位置に位置する容器３の蓋２の上端部２ｂに対向するように配置される。搬送位置は、例えば、昇降駆動部４による容器３の可動範囲内で、容器３が最も上昇した位置である。蓋落下防止部材１９は、容器３が可動範囲内で最も上昇した状態（搬送位置）で、蓋２の上端部２ｂに対向する位置に配置される。この場合、蓋２の下方向への位置ずれ量が小さい状態でも蓋２の位置ずれを容易に検出することができる。

【0026】

蓋落下防止部材１９は、蓋検出部２０と、蓋接近検出部２１と、を備える。蓋検出部２０は、蓋２の上端部２ｂの有無を検出する。蓋検出部２０は、容器３に蓋２がついていない状態であるか否かを検出する。蓋接近検出部２１は、蓋２の上端部２ｂの接近を検出する。蓋接近検出部２１は、例えば、容器３から蓋２が外れて倒れてきたことを検出する。蓋接近検出部２１は、蓋２に形成された平坦部２ａと対向するように配置される。この場合、例えば平坦部２ａを光学的に検出すること（後に図５で説明する）が容易であるので、蓋２の接近を精度よく検出できる。なお、搬送装置１は、蓋接近検出部２１を備えなくてもよい。

【0027】

図２は、蓋落下防止部材１９を容器３の蓋側（＋Ｙ方向）から見た斜視図である。図３は、蓋落下防止部材１９を外側（−Ｙ方向）から見た斜視図である。図２に示すように、蓋検出部２０及び蓋接近検出部２１は、それぞれ、蓋落下防止部材１９における容器３側に配置される。蓋検出部２０及び蓋接近検出部２１は、それぞれ、例えば蓋２に対して凹んだ凹部に配置される。この場合、蓋２が外れて蓋落下防止部材１９と衝突した場合でも、蓋検出部２０あるいは蓋接近検出部２１よりも凸の部分が蓋２に接触して蓋２を支えるので、蓋検出部２０あるいは蓋接近検出部２１と蓋２とが衝突することが抑制される。

【0028】

蓋検出部２０及び蓋接近検出部２１は、それぞれ、例えば、コントローラ２２と電気的に接続される。コントローラ２２は、例えば、蓋検出部２０及び蓋接近検出部２１の動作の制御、蓋検出部２０及び蓋接近検出部２１の検出結果の処理、蓋検出部２０及び蓋接近検出部２１の検出結果に基づいた各部の制御などを行う。蓋検出部２０、蓋接近検出部２１及びコントローラ２２の動作については、後に図５において説明する。なお、蓋検出部２０を制御するコントローラと蓋接近検出部２１を制御するコントローラとが個別に設けられてもよい。

【0029】

図４は、容器３と蓋検出部２０及び蓋接近検出部２１との位置関係を示す図である。蓋検出部２０は、例えば、蓋２のうち上端部２ｂの中央から横方向（Ｘ方向）に離れた部分と対向するように配置される。例えば、蓋検出部２０は、蓋２のうち上端部２ｂの中央に対して−Ｘ方向に離れた部分と対向するように配置される。図４の符号ＯＢは、容器３に収容された被収容物である。被収容物ＯＢは、例えば、円盤状あるいは円柱状の形状である。被収容物ＯＢの表面は、蓋２の上端部２ｂの中央から横方向に向かうにつれて蓋２から離れる凸形状である。蓋検出部２０は、その検出範囲ＡＲ１が被収容物ＯＢと被らないように、上端部２ｂの中央から横方向に離れた部分と対向する位置に配置される。蓋２のうち上端部２ｂの中央から横方向に離れた部分と蓋検出部２０とが対向する場合、蓋２が外れている状態で蓋検出部２０が被収容物ＯＢを検出することが回避されるので、蓋２の有無を正確に検出することができる。

【0030】

図２の説明に戻り、蓋落下防止部材１９は、ストッパ２３を備える。ストッパ２３は、例えば、蓋落下防止部材１９のうち容器３側（＋Ｙ側）の面の−Ｘ側及び＋Ｘ側に配置される。これらのストッパ２３は、容器３側（＋Ｙ側）に突出している。ストッパ２３は、容器３が揺れなどによって蓋落下防止部材１９に接近した際に容器３と接触し、それ以上に容器３が接近することを防止する。ストッパ２３は、容器３が揺れなどによって移動した際に、蓋接近検出部２１と蓋２との距離が閾値以下になることを防止する。この閾値は、例えば、蓋接近検出部２１の検出範囲に応じて設定され、容器３とストッパ２３が接触した際に蓋接近検出部２１の検出結果が蓋２の接近を示すレベルにならないように設定される。ストッパ２３の機能については、後に図９においても説明する。なお、ストッパ２３の数、形状及び位置は、それぞれ、上記したものに限定されず、任意に変更可能である。例えば、蓋落下防止部材１９は、３つ以上のストッパ２３を備えてもよい。また、蓋落下防止部材１９がストッパ２３を備えるか否かは任意であり、ストッパ２３が蓋落下防止部材１９以外の部分に設けられてもよいし、ストッパ２３がない搬送装置１であってもよい。

【0031】

図３に示すように、蓋落下防止部材１９は、接触検出部２４を備える。接触検出部２４は、蓋落下防止部材１９のうち容器３と反対側（−Ｙ方向）の面に配置される。接触検出部２４は、例えばテープスイッチ等の圧力センサであり、蓋落下防止部材１９が別の物体と接触したことを検出する。接触検出部２４は、コントローラ２５と電気的に接続される。接触検出部２４は、検出結果として、例えば受けた圧力に応じたレベルの信号をコントローラ２５に出力する。コントローラ２５は、接触検出部２４の検出結果（信号のレベル）に基づいて、接触検出部２４（蓋落下防止部材１９）と他の物体との接触があったか否かを判定する。例えば、蓋落下防止部材１９の横方向（−Ｙ方向）の移動等により接触検出部２４が他の部材に接触したと判定した場合、例えば、蓋落下防止部材１９が他の物体と接触した状態であることを作業者等に音声や表示等で報知（例、警告）する。コントローラ２５は、例えば、接触検出部２４の検出結果に基づき、横出し機構１２の駆動を制御してもよい。また、コントローラ２５は、蓋落下防止部材１９に接触があるとの判定結果を受けた場合、制御部７に指令して、容器３の搬送を停止するようにしてもよいし、容器３の搬送速度を低下させてもよい。

【0032】

次に、蓋検出部２０の構成および動作について説明する。図５は、（Ａ）は蓋検出部２０と蓋２との位置関係を示す図である。蓋検出部２０は、発光部２０ａと、光センサ（受光部）２０ｂと、を有する。発光部２０ａは、例えば発光ダイオード（ＬＥＤ）あるいはレーザーダイオード（ＬＤ）などの固体光源であり、蓋２が配置される方向（＋Ｙ方向）に光を射出する。光センサ２０ｂは、例えばフォトダイオードであり、光を検出する。発光部２０ａ及び光センサ２４は、それぞれ、蓋２が所定の位置に配置された状態で発光部２０ａからの光が蓋２で反射して光センサ２０ｂに入射するように、配置される。例えば、蓋２（実線で示す）が容器３に正常に付いている正常状態の場合、発光部２０ａが射出した光は、蓋２で反射し光センサ２０ｂに入射する。また、蓋２（二点鎖線で示す）が容器３から外れた異常状態の場合、発光部２０ａが射出した光は、蓋２に入射しないこと、あるいは蓋２で反射するが反射後の方向が図５（Ａ）から変化することによって、光センサ２０ｂに入射しない。

【0033】

コントローラ２２は、発光部２０ａを制御して、発光部２０ａから光を射出させる。コントローラ２２は、容器３の吊り上げ保持状態において、発光部２０ａから光を連続的にまたは間欠的（パルス状）に射出させるように、発光部２０ａを制御する。コントローラ２２は、光センサ２０ｂを制御して、発光部２０ａから光を射出しているタイミングで光の検出動作を光センサ２０ｂに実行させる。コントローラ２２は、光センサ２０ｂから検出結果を取得し、この検出結果に基づいて、蓋２が容器３から外れた状態か否か（蓋２が容器３に正常に付いているか否か）を判定する。コントローラ２２は、発光部２０ａから光を射出させている状態で、光センサ２０ｂからの検出信号のレベルが閾値以上である場合に、蓋２が容器３に正常に付いている状態と判定する。コントローラ２２は、発光部２０ａから光を射出させている状態で、光センサ２０ｂにより光が検出されない場合（例、検出信号のレベルが閾値未満の場合）に、蓋２が容器３から外れた状態と判定する。

【0034】

コントローラ２２は、蓋２が容器３から外れた状態と判定した場合に、例えば搬送装置１の制御部（図示せず）などに判定結果を出力する。制御部は、蓋２が容器３から外れた状態の判定結果を受けた場合、例えば、蓋２が容器３から外れた状態であることを作業者等に音声や表示等で報知（例、警告）する。また、制御部は、蓋２が容器３から外れた状態の判定結果を受けた場合、容器３の搬送を停止してもよいし、容器３の搬送速度を低下させてもよい。なお、制御部は、コントローラ２５の代わりに、光センサ２４の検出結果に基づいて、蓋２が容器３に取り付けられているか否かを判定してもよい。

【0035】

次に、蓋接近検出部２１の構成および動作について説明する。図５（Ｂ）は、蓋接近検出部２１と蓋２との位置関係を示す図である。蓋接近検出部２１は、発光部２１ａと、光センサ（受光部）２１ｂと、を有する。例えば、発光部２１ａ及び光センサ（受光部）２１ｂは、それぞれ、蓋検出部２０の発光部２０ａ、光センサ２０ｂと同様の構成である。発光部２１ａは、蓋２が設置される方向（＋Ｙ方向）に光を射出する。光センサ２１ｂは、光を検出する。発光部２１ａ及び光センサ２１ｂは、それぞれ、蓋２が所定の位置に配置された状態で発光部２１ａからの光が蓋２で反射して光センサ２１ｂに入射するように、配置される。例えば、蓋２（実線で示す）が容器３に正常に取り付けられている正常状態の場合、発光部２１ａが射出した光は蓋２で反射し光センサ２１ｂに入射する。蓋２（二点鎖線で示す）が容器３から外れて、蓋落下防止部材１９に接近した異常状態の場合、光センサ２１ｂで検出される光の強度が正常状態から変化する。例えば、発光部２１ａとしてＬＥＤなどを用いる場合、発光部２１ａからの光は拡散光であり、異常状態において、正常状態よりも蓋２が接近していることで、光センサ２１ｂで検出される光の強度が強くなる。また、発光部２１ａとしてレーザダイオードなどを用いる場合、発光部２１ａからの光は直進性が強いレーザ光であり、異常状態において、蓋２で反射後の光の方向が正常状態から変化することで、光センサ２１ｂで検出される光の強度が弱くなる。

【0036】

発光部２１ａ及び光センサ２１ｂは、コントローラ２２により、それぞれ、発光部２０ａ、光センサ２１ｂと同様に制御される。コントローラ２２は、光センサ２１ｂから検出結果を取得し、この検出結果に基づいて、蓋２が容器３から外れているか否かを判定する。例えば、光センサ２１ｂは、検出結果として、受光した光の強度に相当するレベルの検出信号をコントローラ２５に出力する。コントローラ２５は、発光部２１ａが光を射出している状態において、光センサ２１ｂの検出信号のレベルを閾値と比較して、蓋２が容器３から外れているか否かを判定する。

【0037】

次に、昇降駆動部４の横方向の移動（本明細書において、横出しという）について説明する。図６は、昇降駆動部４を横出しした状態の一例を示す図である。昇降駆動部４は、容器３を収容するスペースに対してカバー１５、１６（図１参照）が設けられていない横方向（Ｙ方向）に移動可能である。昇降駆動部４を−Ｙ方向に移動させる場合、Ｙ方向移動部１１は、電動モータ等のＹ方向駆動部（図示せず）からの駆動力によって、横出し機構１２の上板１２ａをＹ方向移動部１１に対して−Ｙ方向に駆動する。また、Ｙ方向移動部１１は、下板１２ｂを上板１２ａに対して、−Ｙ方向に駆動し目的位置に移動させる。昇降駆動部４は、下板１２ｂの下面側に設けられており、昇降駆動部４は、吊り下げ部材１３ｂを下方向に繰り出すことによって保持部１３を降下させ、容器３を目的位置に載置する。このように、搬送装置１が昇降駆動部４を横出し可能である場合、例えば、目的位置に他の物品が配置されている際にＳＴＢ（サイドトラックバッファ）などに容器３を仮置きすることができ、搬送装置１を効率的に運用することができる。また、蓋落下防止部材１９が昇降駆動部４に設けられる場合、例えば降駆動部４が横方向に移動中においても、簡単な構成で蓋２の有無を確実に検出できる。

【0038】

次に、搬送装置１の下部の構成について説明する。図７は、搬送装置１の下部の構成の一例を示す斜視図である。搬送装置１の下部には、バー１７ａ、落下防止片１７及び蓋押さえ片１８が配置される。落下防止片１７は、容器３から外れた蓋２が落下するのを防止する。落下防止片１７は、容器３の下方において容器３の前面側（−Ｙ側）に張り出して設けられ（図８（Ａ）参照）、容器３から外れた蓋２を支持する。落下防止片１７は、容器３が昇降する際に通る範囲（通路）に対して、進退可能である。例えば、バー１７ａは、Ｚ方向と平行な回転軸を中心として、カバー１５に対して回転可能であり、落下防止片１７は、Ｚ方向と平行な回転軸を中心として、バー１７ａに対して回転可能である。落下防止片１７は、容器３が下方から吊り上げられる際、または、吊り上げ保持状態の容器３を降下させる際に、容器３が通る範囲外へ退避する。この際に、バー１７ａは、その長手方向がＹ方向と平行になるように回転し、且つ落下防止片１７は、その長手方向がＹ方向と平行になるように回転する。また、バー１７ａおよび落下防止片１７は、容器３が吊り上げ保持状態となった際に、退避した位置（点線で示す）から回転して、実線に示す位置に配置される。落下防止片１７およびバー１７ａは、駆動部（図示せず）により駆動されて回転する。この駆動部は、制御部７（図１参照）によって制御されて、落下防止片１７およびバー１７ａを回転させる。なお、落下防止片１７を設けるか否かは任意であり、落下防止片１７がない搬送装置１であってもよい。

【0039】

蓋押さえ片１８は、容器３から外れた蓋２が落下するのを防止する。蓋押さえ片１８は、例えば、吊り上げ保持状態において、容器３から外れた蓋２が−Ｙ方向に移動するのを規制する。蓋押さえ片１８は、横出しの際に容器３が通る範囲（通路）に対して、進退可能である。例えば、蓋押さえ片１８は、Ｙ方向と平行な回転軸を中心として、カバー１５に対して回転可能である。蓋押さえ片１８は、例えば、横出しなどによって容器３をＹ方向に移動させる際に、その長手方向がＺ方向と平行（点線で示す）になるように、カバー１５に近づく方向に回転して、容器３が通る範囲外へ退避する。また、蓋押さえ片１８は、容器３が吊り上げ保持状態となった際に、退避した位置（点線で示す）から回転して、実線に示す位置に配置される。なお、蓋押さえ片１８は、駆動部（図示せず）により駆動されて回転する。この駆動部は、制御部７（図１参照）によって制御されて、蓋押さえ片１８を回転させる。なお、蓋押さえ片１８を設けるか否かは任意であり、蓋押さえ片１８がない搬送装置１であってもよい。

【0040】

次に、蓋検出部２０及び蓋接近検出部２１による蓋２の検出について説明する。図８（Ａ）は、蓋検出部２０により蓋２の有無を検出する一例を示す図、（Ｂ）は蓋接近検出部２１により蓋２の接近を検出する一例を示す図である。図８（Ａ）には、蓋２の下部が押さえ部材１８に向かって滑った状態をＸ方向から見た図を示している。図８（Ｂ）には、蓋２の上部が蓋落下防止部材１９に向かって倒れた状態をＸ方向から見た図を示している。

【0041】

図８（Ａ）に示すように、蓋２の下端が容器３から外れると、蓋２が容器３からずり落ちて、押さえ部材１８に支持され、落下防止片１７に引っかかった状態となる。蓋２は、その下部を支点として容器３に向かって倒れている。この状態において、蓋検出部２０の発光部２０ａ（図２参照）からの光は、蓋２に入射せず蓋２で反射しない。したがって、光センサ２０ｂに入射する光の光量が正常状態よりも減少し、光センサ２０ｂの検出信号のレベルが減少することによって、蓋２の外れが検出される。押さえ部材１８のＹ方向の位置が、落下防止片１７の−Ｙ方向の端の位置、または落下防止片１７の−Ｙ方向の端よりも＋Ｙ方向の位置であると、蓋２の落下を確実に防止することができる。

【0042】

また、図８（Ｂ）に示すように、蓋２の上端が容器３から外れると、蓋２の下部を支点として、蓋２の上部が蓋落下防止部材１９に向かって倒れる状態になる。この状態において、蓋接近検出部２１と蓋２とが接近した状態となり、蓋接近検出部２１の光センサ２１ｂの検出信号のレベルが正常状態から変化するので、蓋２の外れが検出される。

【0043】

次に、ストッパ２３の機能について説明する。図９は、ストッパ２３と容器３の一部とを拡大して示す図である。搬送装置１は、走行中のカーブなどで容器３が揺れる場合がある。容器３が揺れると、容器３が蓋落下防止部材１９に接近する場合がある。容器３と蓋落下部材１９とがあるレベルまで接近すると、ストッパ２３は、蓋２を除いた容器３の一部に当接する。ストッパ２３が蓋２を除いた容器３の一部に当接する場合、搬送中の容器３の揺れが抑制され、且つ容器３の蓋落下防止部材１９への接近が阻止される。また、この場合、吊り下げた状態の容器３がＹ方向に移動した際に、容器３から蓋２が外れていない状態で、蓋２と蓋接近検出部２１との間隔が閾値以下になることが防止され、蓋接近検出部２１による検出を正常に行うことができる。また、これにより、蓋３が外れていないにもかかわらず蓋３が外れたと蓋接近検出部２１が検出するのを防止することができる。なお、ストッパ２３に容器３の接触を検出するセンサを設けてもよい。

【0044】

このように、本実施形態によれば、容器３に備える蓋２の有無または蓋２の外れを簡単な構成で確実に判別することが可能である。これにより、容器３に蓋２が付いていない異常状態を容易かつ確実に判別することができため、容器３の搬送中に誤って被収容物を容器３から落下させることを回避することができる。

【0045】

［第２実施形態］
第２実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。

【0046】

図１０は、第２実施形態に係る搬送装置の一例を概念的に示す図である。第１実施形態では、容器３の蓋２の検出を２つの検出部（蓋検出部２０及び蓋接近検出部２１）により行っていたが、１つの検出部で行ってもよい。例えば、本実施形態の搬送装置１Ａは、第１実施形態の蓋検出部２０及び蓋接近検出部２１に代えて、検出部３０を備える。なお、搬送装置１Ａの検出部３０以外のものについては、第１実施形態と同様である。

【0047】

検出部３０は、例えば、発光部３０ａと光センサ３０ｂとを備える。発光部３０ａ及び光センサ３０ｂは、それぞれ、第１実施形態の発光部２０ａ、光センサ２０ｂと同様の構成である。検出部３０は、例えば、第１実施形態の蓋検出部２０の位置に配置される。発光部３０ａは蓋２の上端部に光を射出する。光センサ３０ｂは、光の強度を検出し、その検出結果をコントローラ２２（図２参照）に出力にする。コントローラ２２は、光センサ３０ｂの検出結果（光の強度）に基づき、蓋２の有無および容器３の蓋２の外れを検出する。コントローラ２２は、発光部３０ａが光を射出している状態において、光センサ３０ｂの検出信号のレベルを閾値と比較して、蓋２が容器３から外れているか否かを判定する。例えば、コントローラ２２は、発光部３０ａから光を射出させている状態で、光センサ３０ｂからの検出信号のレベルが閾値以上である場合に、蓋２が容器３に正常に付いている状態と判定する。また、コントローラ２２は、発光部３０ａから光を射出させている状態で、光センサ３０ｂにより光が検出されない場合（例、検出信号のレベルが閾値未満の場合）に、蓋２が容器３から外れた状態と判定する。また、コントローラ２２は、第１実施形態のコントローラ２５と同様に、光センサ３０ｂで検出される光の強度が、蓋２が容器３に正常に付いている状態の光の強度から変化した場合に、蓋２が容器３から外れて接近した異常状態と判定する。

【0048】

このように、本実施形態によれば、容器３に備える蓋２の有無または蓋２の外れを簡単な構成で確実に判別することが可能である。これにより、容器３に蓋２が付いていない異常状態を容易かつ確実に判別することができため、容器３の搬送中に誤って収容物を容器３から落下させることを回避することができる。

【0049】

以上、実施形態について説明したが、本発明の技術範囲は、上述した説明に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。例えば、蓋検出部２０あるいは蓋接近検出部２１は、複数設けられていてもよい。複数の蓋検出部２０あるいは複数の蓋接近検出部２１を用いる場合、少なくとも１つを予備として用いることや、他の蓋検出部２０あるいは蓋接近検出部２１と比較に用いることが可能であり、他の蓋検出部２０あるいは蓋接近検出部２１の故障検出などに用いられてもよい。

【0050】

また、上記した実施形態では、蓋検出部２０及び蓋接近検出部２１は、それぞれ、光学的な検出手法を用いるが、他の検出手法により蓋２を検出してもよい。例えば、磁気センサ、静電容量センサ、超音波センサなどの非接触式のセンサが用いられてもよい。

【0051】

また、上記した実施形態では、搬送装置１として天井走行車５の例を記載しているが、これに代えて、床面に敷設された軌道に沿って走行する地上走行車や、床面上を走行する無軌道走行車などに適用されてもよい。

【0052】

また、上記した実施形態では、容器３として着脱可能な蓋２を備えているが、これに限定されない。例えば、蓋２として、開閉可能なシャッタが用いられてもよい。このシャッタを持つ容器の場合、蓋がない状態とは、シャッタが開けられた状態である。

【符号の説明】

【0053】

１、１Ａ・・・搬送装置、２・・・蓋、２ａ・・・平坦部、２ｂ・・・上端部、３・・・容器、３ａ・・・開口、４・・・昇降駆動部、１９・・・蓋落下防止部材、２０・・・蓋検出部、２１・・・蓋接近検出部、２３・・・ストッパ、３０・・・検出部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】