特開 2017-209903 樹脂供給方法および樹脂供給装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2017-209903(P2017-209903A)

(43)【公開日】2017年11月30日

(54)【発明の名称】樹脂供給方法および樹脂供給装置

(51)【国際特許分類】

   B29C 39/42 20060101AFI20171102BHJP

   H01L 21/56 20060101ALI20171102BHJP

   B29C 39/10 20060101ALI20171102BHJP

【ＦＩ】

   B29C39/42

   H01L21/56 E

   B29C39/10

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】19

(21)【出願番号】特願2016-105543(P2016-105543)

(22)【出願日】2016年5月26日

(71)【出願人】

【識別番号】000144821

【氏名又は名称】アピックヤマダ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001726

【氏名又は名称】特許業務法人綿貫国際特許・商標事務所

(72)【発明者】

【氏名】中沢 英明

(72)【発明者】

【氏名】村松 吉和

(72)【発明者】

【氏名】池田 正信

(72)【発明者】

【氏名】藤沢 雅彦

【テーマコード（参考）】

4F204

5F061

【Ｆターム（参考）】

4F204AA33

4F204AA36

4F204AA39

4F204AC05

4F204AD02

4F204AD19

4F204AH37

4F204AM32

4F204AR15

4F204FA01

4F204FB01

4F204FB17

4F204FF01

4F204FF47

4F204FN11

4F204FN15

4F204FN17

5F061AA01

5F061BA07

5F061CA04

5F061DB00

5F061DE06

(57)【要約】

【課題】樹脂内におけるエアの抱え込みなどの不具合を防止することのできる技術を提供する。
【解決手段】チャンバ（３０）の内部（３０ａ）を真空引きする。次いで、真空状態となったチャンバ（３０）の内部（３０ａ）でノズル（２２）から被供給物であるワーク（Ｗ）へ液状樹脂（Ｒ）を吐出する。次いで、液状樹脂（Ｒ）の吐出を停止し、チャンバ（３０）の内部（３０ａ）の真空引きを停止した後に、チャンバ（３０）の内部（３０ａ）でノズル（２２）を往復動させる。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

（ａ）チャンバの内部を真空引きする工程と、
（ｂ）真空状態となった前記チャンバの前記内部でノズルから被供給物へ液状樹脂を吐出する工程と、
（ｃ）前記液状樹脂の吐出を停止し、前記チャンバの前記内部の真空引きを停止した後に、前記チャンバの前記内部で前記ノズルの液切りをする工程と、
を含むことを特徴とする樹脂供給方法。

【請求項2】

請求項１記載の樹脂供給方法において、
前記（ｃ）工程では、前記液状樹脂の吐出を停止し、前記チャンバの前記内部の真空引きを停止した後に、前記チャンバの前記内部で前記ノズルを往復動させることを特徴とする樹脂供給方法。

【請求項3】

請求項１または２記載の樹脂供給方法において、
前記（ｂ）工程では、前記チャンバの前記内部に設けられた重量計によって前記液状樹脂の重量を計測しながら、前記液状樹脂を吐出することを特徴とする樹脂供給方法。

【請求項4】

請求項１〜３のいずれか一項に記載の樹脂供給方法において、
前記（ｂ）工程では、前記被供給物に平行して前記ノズルを移動させながら前記液状樹脂を吐出することを特徴とする樹脂供給方法。

【請求項5】

（ａ）チャンバの内部でノズルから被供給物へ液状樹脂を吐出する工程と、
（ｂ）前記チャンバの前記内部を真空引きする工程と、
（ｃ）前記液状樹脂の吐出を停止し、前記チャンバの前記内部の真空引きを停止した後に、前記チャンバの前記内部で前記ノズルの液切りをする工程と、
を含むことを特徴とする樹脂供給方法。

【請求項6】

請求項１〜５のいずれか一項に記載の樹脂供給方法を用いて前記被供給物に前記液状樹脂を供給する工程と、
前記被供給物を用いてモールド金型で加熱加圧して所定の形状に樹脂封止する工程と、
を含むことを特徴とする樹脂封止方法。

【請求項7】

被供給物が内部にセットされるチャンバと、
前記被供給物に向けて液状樹脂を吐出するノズルを有し、前記ノズルが前記チャンバの前記内部に設けられる吐出部と、
前記チャンバの前記内部を真空引きする真空部と、
前記ノズルを往復動させるノズル昇降駆動部と、
前記吐出部、前記真空部、および前記ノズル昇降駆動部を制御する制御部と、
を備え、
前記吐出部からの前記液状樹脂の吐出が停止され、前記真空部による真空引きが停止された状態において、前記制御部によって前記ノズルを往復動させるよう前記ノズル昇降駆動部が制御されることを特徴とする樹脂供給装置。

【請求項8】

請求項７記載の樹脂供給装置において、
前記被供給物がセットされるよう前記チャンバの前記内部に設けられ、吐出される前記液状樹脂の重量を計測する重量計を更に備えることを特徴とする樹脂供給装置。

【請求項9】

請求項７または８記載の樹脂供給装置において、
前記チャンバは、一方および他方のチャンバ部と、前記一方のチャンバ部と前記他方のチャンバ部との間をシールするシール部と、を備えて開閉可能に構成され、
前記吐出部が前記一方のチャンバ部に設けられ、
前記他方のチャンバ部に対して前記一方のチャンバ部を進退動および平行移動させるチャンバ駆動部を更に備えることを特徴とする樹脂供給装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、樹脂供給技術に関する。

【背景技術】

【0002】

特開２０１２−１２６０７５号公報（以下「特許文献１」という）には、液状樹脂供給装置が記載されている。この液状樹脂供給装置は、シリンジに充填された液状樹脂をチューブノズルからワークに吐出して供給するものである。

【0003】

特開２００７−１１１８６２号公報（以下「特許文献２」という）には、真空ディスペンス装置が記載されている。この真空ディスペンス装置は、被塗布品を真空室内に配置し、真空環境下において液状樹脂を供給するものである。また、この真空ディスペンス装置には、ノズルからの液垂れによる装置汚れを防止するために、真空チャンバの外部に液垂れ受け容器が設けられる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１２−１２６０７５号公報

【特許文献2】特開２００７−１１１８６２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

被供給物（例えば、ワークやフィルム）に対して樹脂成形を行うにあたり、特許文献１に記載の液状樹脂供給装置を用いて被供給物上に液状樹脂を供給することができる。しかしながら、例えば被供給物として複数のチップ部品（チップ状の電子部品）が実装された基板であるワークに液状樹脂を供給すると、複数のチップ部品を覆う液状樹脂がしずく状の塊となる場合がある。この場合、基板と液状樹脂との間にエアが残ってしまい、結果として成形品には未充填が発生しやすくなる問題がある。更に、ワークとして基板上にフリップチップ接続されたチップ部品では、いわゆるアンダーフィルが適切に行われないおそれがある。

【0006】

そこで、液状樹脂の供給について、特許文献１に記載の技術のように大気雰囲気下ではなく、特許文献２に記載の技術のように真空雰囲気下で行い、残留エアを除去することが考えられる。しかしながら、特許文献２に記載の技術は、真空チャンバを大気開放した後、ノズル下に液垂れ容器を移動させる構成であるため（特にその明細書段落［００２６］参照）、ワーク上の液状樹脂にホコリが付着するおそれがある。

【0007】

本発明の一目的は、樹脂内におけるエアの抱え込みなどの不具合を防止することのできる技術を提供することにある。本発明の一目的および他の目的ならびに新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかとなる。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。

【0009】

本発明の一解決手段に係る樹脂供給方法は、（ａ）チャンバの内部を真空引きする工程と、（ｂ）真空状態となった前記チャンバの前記内部でノズルから被供給物へ液状樹脂を吐出する工程と、（ｃ）前記液状樹脂の吐出を停止し、前記チャンバの前記内部の真空引きを停止した後に、前記チャンバの前記内部で前記ノズルの液切りをする工程と、を含むことを特徴とする。前記（ｃ）工程では、前記液状樹脂の吐出を停止し、前記チャンバの前記内部の真空引きを停止した後に、前記チャンバの前記内部で前記ノズルを往復動させることがより好ましい。これによれば、樹脂内におけるエアの抱え込みなどの不具合を防止することができる。

【0010】

ここで、前記（ｂ）工程では、前記チャンバの前記内部に設けられた重量計によって前記液状樹脂の重量を計測しながら、前記液状樹脂を吐出することがより好ましい。これによれば、液状樹脂の重量を正確に計測することができる。

【0011】

また、前記（ｂ）工程では、前記被供給物に平行して前記ノズルを移動させながら前記液状樹脂を吐出することがより好ましい。これによれば、任意の吐出位置において被供給物の表面内に液状樹脂を供給することができる。

【0012】

本発明の他の解決手段に係る樹脂供給方法は、（ａ）チャンバの内部でノズルから被供給物へ液状樹脂を吐出する工程と、（ｂ）前記チャンバの前記内部を真空引きする工程と、（ｃ）前記液状樹脂の吐出を停止し、前記チャンバの前記内部の真空引きを停止した後に、前記チャンバの前記内部で前記ノズルの液切りをする工程と、を含むことを特徴とする。これによれば、樹脂内におけるエアの抱え込みなどの不具合を防止することができる。

【0013】

本発明の一解決手段に係る樹脂封止方法は、前述したいずれかの樹脂供給方法を用いて前記被供給物に前記液状樹脂を供給する工程と、前記被供給物を用いてモールド金型で加熱加圧して所定の形状に樹脂封止する工程と、を含むことを特徴とする。これによれば、エアの抱え込みによるボイドや未充填を防止した高品質な樹脂封止をすることができる。

【0014】

本発明の一解決手段に係る樹脂供給装置は、被供給物が内部にセットされるチャンバと、前記被供給物に向けて液状樹脂を吐出するノズルを有し、前記ノズルが前記チャンバの前記内部に設けられる吐出部と、前記チャンバの前記内部を真空引きする真空部と、前記ノズルを往復動させるノズル昇降駆動部と、前記吐出部、前記真空部、および前記ノズル昇降駆動部を制御する制御部と、を備え、前記吐出部からの前記液状樹脂の吐出が停止され、前記真空部による真空引きが停止された状態において、前記制御部によって前記ノズルを往復動させるよう前記ノズル昇降駆動部が制御されることを特徴とする。これによれば、チャンバの内部において、吐出された液状樹脂を液切りして被供給物から切り離すことができる。

【0015】

ここで、前記被供給物がセットされるよう前記チャンバの前記内部に設けられ、吐出される前記液状樹脂の重量を計測する重量計を更に備えることがより好ましい。これによれば、液状樹脂の重量を正確に計測することができる。

【0016】

また、前記チャンバは、一方および他方のチャンバ部と、前記一方のチャンバ部と前記他方のチャンバ部との間をシールするシール部と、を備えて開閉可能に構成され、前記吐出部が前記一方のチャンバ部に設けられ、前記他方のチャンバ部に対して前記一方のチャンバ部を進退動および平行移動させるチャンバ駆動部を更に備えることがより好ましい。これによれば、任意の吐出位置において被供給物の表面内に液状樹脂を供給することができる。

【発明の効果】

【0017】

本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次のとおりである。本発明の解決手段によれば、樹脂内におけるエアの抱え込みなどの不具合を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明の一実施形態に係る樹脂供給装置を説明するための図である。

【図2】図１に続く動作に係る樹脂供給装置を説明するための図である。

【図3】図２に続く動作に係る樹脂供給装置を説明するための図である。

【図4】図３に続く動作に係る樹脂供給装置を説明するための図である。

【図5】図４に続く動作に係る樹脂供給装置を説明するための図である。

【図6】図５に続く動作に係る樹脂供給装置を説明するための図である。

【図7】図６に続く動作に係る樹脂供給装置を説明するための図である。

【図8】図７に続く動作に係る樹脂供給装置を説明するための図である。

【図9】本発明の他の実施形態に係る樹脂供給装置を説明するための図である。

【図10】図９に続く動作に係る樹脂供給装置を説明するための図である。

【図11】図１０に続く動作に係る樹脂供給装置を説明するための図である。

【図12】図１１に続く動作に係る樹脂供給装置を説明するための図である。

【図13】図１２に続く動作に係る樹脂供給装置を説明するための図である。

【図14】図１３に続く動作に係る樹脂供給装置を説明するための図である。

【図15】図１４に続く動作に係る樹脂供給装置を説明するための図である。

【図16】液状樹脂が供給された被供給物の平面図である。

【図17】液状樹脂が供給された被供給物の側面図である。

【図18】シリンジの構造の一例を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下の本発明における実施形態では、必要な場合に複数のセクションなどに分けて説明するが、原則、それらはお互いに無関係ではなく、一方は他方の一部または全部の変形例、詳細などの関係にある。このため、全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。また、構成要素の数（個数、数値、量、範囲などを含む）については、特に明示した場合や原理的に明らかに特定の数に限定される場合などを除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも良い。また、構成要素などの形状に言及するときは、特に明示した場合および原理的に明らかにそうではないと考えられる場合などを除き、実質的にその形状などに近似または類似するものなどを含むものとする。

【0020】

（実施形態１）
本発明の実施形態に係る樹脂供給装置１０について、図１〜図８を参照して説明する。図１〜図８は、樹脂供給動作に係る樹脂供給装置１０を説明するための図である。なお、樹脂供給装置１０は、３次元（ＸＹＺ）直交座標系にあるものとして説明し、図中の上下方向（鉛直方向）がＺ軸に沿う方向に対応し、水平方向がＸ軸およびＹ軸に沿う方向となる。

【0021】

本実施形態では、液状樹脂Ｒが供給される被供給物としてワークＷを用いる。このワークＷは、直径１２インチ（約３０ｃｍ）の丸型の金属製（ＳＵＳ等）のキャリアプレートに熱剥離性を有する粘着シート（粘着テープ）が貼着され、該粘着シートに複数の半導体チップが行列状に粘着されたものである。このようなワークＷ上に液状樹脂Ｒが供給され、Ｅ−ＷＬＰ（Ｅｍｂｅｄｄｅｄ Ｗａｆｅｒ Ｌｅｖｅｌ Ｐａｃｋａｇｅ）、ｅＷＬＢ（ｅｍｂｅｄｅｄｄ Ｗａｆｅｒ Ｌｅｂｅｌ ＢＧＡ）と呼ばれる樹脂成形がなされる。また、液状樹脂Ｒとして、例えば、シリコーン樹脂やエポキシ樹脂といった熱硬化性樹脂が用いられる。

【0022】

樹脂供給装置１０は、制御部１１を備える。この制御部１１は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）と、ＲＯＭ、ＲＡＭなどの記憶部とを備え、記憶部に記録された各種制御プログラムをＣＰＵが読み出して実行することで、樹脂供給装置１０を構成する各部の動作を制御する。この各部が動作することが樹脂供給装置１０の動作となる。

【0023】

また、樹脂供給装置１０は、液状樹脂Ｒを吐出して供給する吐出部２０を備える。吐出部２０は、液状樹脂Ｒが貯留されるシリンジ２１と、シリンジ２１の先端に設けられるノズル２２と、シリンジ２１内に挿入され、液状樹脂Ｒを押し付け可能なプランジャ２３と、を備える。また、吐出部２０は、例えば弾性体で構成された管状のノズル２２を摘むように設けられ、図示しない駆動機構により開閉してノズル２２の開閉を行うピンチバルブ２４を備える。なお、ノズル２２において、ノズル２２の開閉（換言すれば、液状樹脂の通過の可否）を任意に切り替え可能であれば、上述したように弾性体で構成されたノズル２２を摘むことでノズル２２の開閉を行うピンチバルブ２４を用いなくてもよい。例えば、ノズル先端にシャッタを備えた構成や開閉弁を備えた構成としてもよい。

【0024】

吐出部２０は、図示しない駆動機構によりピンチバルブ２４を開閉しプランジャ２３が下動してシリンジ２１内の液状樹脂Ｒを押し出す方向に流動させることでノズル２２から液状樹脂Ｒを吐出する。他方、吐出部２０は、プランジャ２３の下動が停止すると共にピンチバルブ２４が閉じられてノズル２２より液状樹脂Ｒの吐出を停止する。

【0025】

また、樹脂供給装置１０は、ワークＷ（被供給物）が内部３０ａにセットされるチャンバ３０を備える。チャンバ３０は、一対のチャンバ部３１、３２（一方を上チャンバ部３１、他方を下チャンバ部３２とする）を備えて開閉可能に構成される。また、樹脂供給装置１０は、上チャンバ部３１と下チャンバ部３２との間をシールするシール部３３（例えばＯリング）を備える。これにより、チャンバ３０が閉じられた状態となると、上チャンバ部３１と下チャンバ部３２とがシール部３３を介して接するような状態となり、チャンバ３０の内部３０ａが形成される（閉鎖状態となる）。なお、チャンバ３０には、その内部の温度を任意に調整する温度調節部（不図示）が設けられている。また、下チャンバ部３２は、例えば装置筐体のテーブル部分として構成されてもよいし、板状の部材が装置筐体に固定された構成としてもよい。

【0026】

後述するが、チャンバ３０の内部３０ａ（図３参照）にセットされたワークＷに向けてノズル２２から液状樹脂Ｒが吐出される。このため、樹脂供給装置１０では、上チャンバ部３１に吐出部２０が設けられるよう構成される。具体的には、樹脂供給装置１０では、チャンバ３０の外部でシリンジ２１が保持された状態で、上チャンバ部３１を貫通してノズル２２がチャンバ３０の内部３０ａに設けられるよう構成される。そこで、樹脂供給装置１０は、吐出保持部３４と、シール部３５、３６（例えばＯリング）とを備える。吐出保持部３４は、ノズル２２を貫通させた状態でシリンジ２１を保持するものである。また、吐出保持部３４は、上チャンバ部３１が有する貫通突起部３１ａを覆うように貫通突起部３１ａの開口の蓋部として設けられる。シール部３５は、シリンジ２１と吐出保持部３４との間をシールしている。シール部３６は、上チャンバ部３１の貫通突起部３１ａと吐出保持部３４との間をシールしている。これにより、チャンバ３０が閉じて形成された内部３０ａにノズル２２が設けられる。

【0027】

また、樹脂供給装置１０は、ノズル２２から吐出される液状樹脂Ｒの重量を計測する重量計４０を備える。重量計４０は、ワークＷがセットされるようチャンバ３０の内部３０ａに設けられる。この場合、図１に示すように下チャンバ部３２には、表面３２ａから窪む窪み部３２ｂを設けることができる。窪み部３２ｂには重量計４０が固定された状態で設けられる。この重量計４０では、ワークＷがセットされた状態で、ワークＷに吐出される液状樹脂Ｒの重量が計測される。これによれば、チャンバ３０の内部３０ａにおいて、ワークＷに供給される液状樹脂Ｒの重量を重量計４０が安定的に計測することができ、正確に計測することができる。なお、重量計４０が制御部１１と電気的に接続され、制御部１１によって重量計４０の計測データが処理される。

【0028】

また、樹脂供給装置１０は、チャンバ３０の内部３０ａを真空引きして真空状態（あるいは減圧状態）とさせる真空部４１（例えば真空ポンプ）を備える。真空部４１は、チャンバ３０の内部３０ａが閉鎖状態において、下チャンバ部３２に形成されたエア路４２を介して内部３０ａを真空引きして真空状態を形成する。このようなチャンバ３０内で樹脂供給することができるので、樹脂内におけるエアの抱え込みなどの不具合を防止することができる。なお、真空部４１が制御部１１と電気的に接続され、制御部１１によって真空部４１が制御される。

【0029】

また、樹脂供給装置１０は、チャンバ３０の開閉を行うチャンバ駆動部５０を備える。チャンバ駆動部５０は、下チャンバ部３２に対して上チャンバ部３１をＺ軸に沿う方向に進退動させる（近づけたり、遠ざけたりさせる）ことで、チャンバ３０の開閉を行う。チャンバ駆動部５０は、保持部５１と、第１レール５２と、第１スライダ５３と、第１モータ５４と、を備える。

【0030】

チャンバ駆動部５０では、保持部５１が柱状に構成され、下チャンバ部３２の表面３２ａ上に起立するよう設けられる。この保持部５１には上下方向（Ｚ軸に沿う方向、鉛直方向）に延びる第１レール５２が設けられる。この第１レール５２上をスライド可能に第１スライダ５３が設けられる。この第１スライダ５３は第１モータ５４の駆動によって第１レール５２上をスライドする。そして、本実施形態では、第１スライダ５３に上チャンバ部３１が設けられ、第１スライダ５３が上下方向にスライドすることで、下チャンバ部３２に対して上チャンバ部３１が進退動（上下動）するよう構成される。なお、第１モータ５４が制御部１１と電気的に接続され、制御部１１によってチャンバ駆動部５０が制御される。なお、以下の説明において、チャンバ駆動部５０の他にも複数の駆動部を同様の構成で形成する例について説明するが、これらは図示するような構成のみならず、リンク構造を用いた多間接ロボットなど任意の移動構造を備えたものとすることが可能である。

【0031】

また、樹脂供給装置１０は、ノズル２２を往復動させるノズル昇降駆動部７０を備える。ノズル昇降駆動部７０は、チャンバ３０の内部３０ａで吐出部２０のノズル２２を昇降方向において往復動させる。ノズル昇降駆動部７０は、第２レール７２と、第２スライダ７３と、第２モータ７４と、を備える。

【0032】

ノズル昇降駆動部７０では、第２レール７２が上下方向に延び、上チャンバ部３１と共にチャンバ駆動部５０の第１スライダ５３に設けられる。すなわち、第１スライダ５３に対して第２レール７２および上チャンバ部３１は一緒に保持される。この第２レール７２上をスライド可能に第２スライダ７３が設けられる。この第２スライダ７３は第２モータ７４の駆動によって第２レール７２上をスライドする。この第２スライダ７３には吐出保持部３４が設けられる。本実施形態では、第２スライダ７３が上下方向にスライドすることで、吐出保持部３４を介して吐出部２０のノズル２２を往復動（昇降）させる。後述するが、液状樹脂Ｒを吐出したノズル２２を往復動させることで、液状樹脂Ｒを液切りすることができる。なお、第２モータ７４が制御部１１と電気的に接続され、制御部１１によってノズル昇降駆動部７０が制御される。

【0033】

ここで、液状樹脂Ｒの液切りとは、液状樹脂Ｒをノズル２２から下方に吐出してワークＷに供給するときに、粘度の高い液状樹脂Ｒがその自重によってノズル２２から切り離されず引き伸ばされた状態（ドローリング状態）となった場合に、ノズル２２から切り離すことをいう。以下の実施形態においては、液状樹脂Ｒを吐出し終わったノズル２２を昇降することでワークＷとの距離の伸縮を繰り返し、ノズル２２から切り離す方法を想定している。ただし、液切りの手法としてはこれに限らず、ノズル２２の先端から物理的に切り取るような手法でもよい。

【0034】

また、樹脂供給装置１０の吐出部２０は、プランジャ２３を往復動させる吐出駆動部８０を備える。吐出駆動部８０は、第３レール８２と、第３スライダ８３と、第３モータ８４と、を備える。

【0035】

吐出駆動部８０では、第３レール８２が上下方向に延び、第２スライダ７３に設けられる。この第３レール８２上をスライド可能に第３スライダ８３が設けられる。この第３スライダ８３は第３モータ８４の駆動によって第３レール８２上をスライドする。この第３スライダ８３にプランジャ２３が設けられ、第３スライダ８３が上下方向にスライドすることでプランジャ２３を往復動させる。本実施形態では、シリンジ２１内にプランジャ２３が挿入されており、シリンジ２１内で貯留されている液状樹脂Ｒをプランジャ２３が押圧することで、シリンジ２１の先端に設けられたノズル２２から液状樹脂Ｒが吐出される。なお、第３モータ８４が制御部１１と電気的に接続され、制御部１１によって吐出部２０の吐出駆動部８０が制御される。

【0036】

樹脂供給装置１０では、吐出部２０からの液状樹脂Ｒの吐出が停止され、真空部４１による真空引きが停止された状態において、制御部１１によって、チャンバ３０の内部３０ａでノズル２２を往復動させるようノズル昇降駆動部７０が制御される。これによれば、チャンバ３０の内部３０ａにおいて、吐出された液状樹脂Ｒを液切りしてワークＷから切り離すことができる。閉鎖された空間内（内部３０ａ）で液切りが行われることによりホコリなどの巻き込みなどを防止することができる。

【0037】

次に、本発明の実施形態に係る樹脂供給装置１０の動作方法、すなわち、樹脂供給方法について説明する。

【0038】

図１に示す樹脂供給装置１０は、ワークＷが供給される前の状態である。ここでは、チャンバ３０は開いている。また、シリンジ２１のノズル２２はピンチバルブ２４によって閉じられており、プランジャ２３は上方で待機している。このようにチャンバ３０が開いている状態で、搬送装置（例えばローダ）によってワークＷが搬送されて、図２に示すように、樹脂供給装置１０にワークＷが供給される。本実施形態では、重量計４０にワークＷがセットされる。

【0039】

続いて、図３に示すように、閉鎖状態となるようにチャンバ３０の内部３０ａを形成し、チャンバ３０の内部３０ａに対して真空引きを開始する。ここでは、制御部１１によって真空部４１およびチャンバ駆動部５０が制御される。具体的には、チャンバ駆動部５０の第１モータ５４の駆動により、上チャンバ部３１が設けられる第１スライダ５３が第１レール５２上を下降していくことで、シール部３３を介して上チャンバ部３１と下チャンバ部３２とが接するような状態となる。これにより、閉鎖状態となったチャンバ３０の内部３０ａが形成される。そして、真空部４１の駆動により、ワークＷがセットされたチャンバ３０の内部３０ａを真空状態とする。なお、この真空状態とする動作の前に、又は、並行して、チャンバ３０の内部の温度を所定の値となるように温度調節部を制御するのが好ましい。この場合、装置全体でなくチャンバ３０だけを所定の温度にすればよいため、速やかに温度調整が行える。

【0040】

続いて、図４に示すように、真空状態のチャンバ３０の内部３０ａでノズル２２からワークＷへ液状樹脂Ｒを吐出する。ここでは、制御部１１によって吐出部２０（吐出駆動部８０）および真空部４１が制御される。具体的には、真空部４１の駆動によりチャンバ３０の内部３０ａを引き続き真空状態とする。そして、吐出部２０の第３モータ８４の駆動により、プランジャ２３が設けられる第３スライダ８３が第３レール８２上を下降していく。この場合、プランジャ２３がシリンジ２１内の液状樹脂Ｒを押圧し、図示しない駆動機構によりピンチバルブ２４を開放することでノズル２２から液状樹脂Ｒを吐出する。

【0041】

この際、チャンバ３０の内部３０ａに設けられた重量計４０によって液状樹脂Ｒの重量を計測しながら、液状樹脂Ｒが吐出される。制御部１１は、重量計４０の計測データを処理し、例えば液状樹脂Ｒの重量が所定値に達した場合に、液状樹脂Ｒの吐出を停止させることができる。また、上述したように温度調節部によりチャンバ３０の内部３０ａが所定の温度となっていれば、液状樹脂Ｒの吐出や重量の計測を正確に行うことができ、液状樹脂Ｒをより適切に供給することができる。

【0042】

続いて、液状樹脂Ｒの吐出を停止し、チャンバ３０の内部３０ａの真空引きを停止した後、図５および図６に示すように、チャンバ３０の内部３０ａでノズル２２を往復動させる。ここでは、制御部１１によって吐出部２０、真空部４１およびノズル昇降駆動部７０が制御される。具体的には、吐出部２０の第３モータ８４の停止によりプランジャ２３の下動を停止すると共にピンチバルブ２４が閉じられてノズル２２より液状樹脂Ｒの吐出を停止する。次いで、真空部４１による真空引きの停止によりチャンバ３０の内部３０ａの真空状態を解除する。これにより、例えばワークＷ上に供給された液状樹脂Ｒの下方において、液状樹脂Ｒの充填ができていない空間がある場合（換言すればエアの抱え込みが発生する場合）に、その隙間に対して液状樹脂Ｒを周囲の雰囲気の圧力で充填することが可能となる。

【0043】

次いで、ノズル昇降駆動部７０の第２モータ７４の駆動により吐出部２０のノズル２２を上動させる（図５参照）。次いで、ノズル昇降駆動部７０の第２モータ７４の駆動により吐出部２０のノズル２２を下動させる（図６参照）。そして、吐出部２０のノズル２２の往復動（昇降）を所定回繰り返す液切り動作が行われる。チャンバ３０の内部３０ａの真空状態を解除しているが、チャンバ３０の閉塞状態を維持しながら、吐出保持部３４を昇降させることができる。

【0044】

本実施形態では、ノズル２２の往復動作は、チャンバ３０を閉じて内部３０ａが形成されたままの状態（閉鎖状態）で行われる。上チャンバ部３１を動かさずに、上チャンバ部３１の貫通突起部３１ａをガイド部として用いて吐出保持部３４が往復動されることで、閉鎖された空間を維持しながら吐出保持部３４で保持されるノズル２２が往復動される。このように、閉塞された内部３０ａで液状樹脂Ｒの液切りが行われる。これに対し、例えば、上チャンバ部３１ごと昇降させることで、ノズル２２を昇降させて液切り動作を行うことも可能である。しかし、このような動作を行うには昇降させる構成部材が大きくなる。また、上チャンバ部３１が上下動することで、ワークＷ周囲の雰囲気が流動することになり、周囲に粉塵が存在するときには液状樹脂Ｒに付着してしまう可能性も考えられる。このような理由から、本実施形態に示すように上チャンバ部３１と吐出保持部３４との間にシール部３６を設け、ノズル２２を有するシリンジ２１を昇降させる構成とするのが好ましい。このように、エアの抱え込みを解消しながら粉塵の付着を防止することができる。図７に示す樹脂供給装置１０は、液状樹脂Ｒが液切りされた状態である。

【0045】

続いて、制御部１１によってチャンバ駆動部５０が制御され、図８に示すように、チャンバ３０を開いて、液状樹脂Ｒが供給されたワークＷを大気開放させる。ここでも、液状樹脂Ｒの周囲から大気圧が加えられることで、ワークＷ上における液状樹脂Ｒの充填が促進される。例えば、ワークＷとして基板やウェハ上にチップ部材がフリップチップ接続により搭載されているときには、チップと基板等を接続する多数のバンプの間に液状樹脂Ｒを充填することができる。また、フリップチップ接続を行わない場合にも、ワークＷにおいて基板等の上に搭載されたチップの側面と基板等の平面とで構成される角部分における空間には液状樹脂Ｒが十分に行き渡らない（充填されない）部分が生じる可能性が考えられる。そのような部分（空間）を含むように液状樹脂Ｒが供給されることで、エアを抱き込んだ状態となることも考えられる。しかしながら、真空状態（減圧雰囲気下）で供給された液状樹脂Ｒの周囲から大気圧が加えられることで、このようなエアの抱え込み（液状樹脂Ｒのない領域）を潰し込むことができる。

【0046】

具体的には、チャンバ駆動部５０の第１モータ５４の駆動により、上チャンバ部３１が設けられる第１スライダ５３が第１レール５２上を上昇していくことで、上チャンバ部３１と下チャンバ部３２とが離れてチャンバ３０が開いた状態となる。その後、搬送装置（例えばローダ）によって液状樹脂Ｒが供給されたワークＷが取り出されて搬送される。

【0047】

次いで、例えばモールド装置内に本実施形態における樹脂供給装置１０と図示しないモールド金型を設け、このモールド金型においてワークＷ上に供給された液状樹脂Ｒが減圧雰囲気下において加熱加圧されて所定の形状に樹脂封止される。これによれば、エアの抱え込みによるボイドや未充填を防止した高品質な樹脂封止をすることができる。この場合、上述したようにエアの抱え込みなどの不具合を防止しながら液状樹脂ＲをワークＷに供給しているので、未充填を防止した樹脂封止を行うことができる。なお、本実施形態では、被供給物としてワークＷに適用した場合について説明したが、ワークＷとは別にモールド金型に供給されるリリースフィルムを被供給物として液状樹脂Ｒを供給することもできる。

【0048】

（実施形態２）
本発明の実施形態２に係る樹脂供給装置１０Ａについて、図９〜図１７を参照して説明する。図９〜図１５は、樹脂供給動作に係る樹脂供給装置１０Ａを説明するための図である。図１６および図１７は、それぞれ液状樹脂が供給された被供給物であるワークＷの平面図および側面図である。本実施形態では、前記実施形態１に係るチャンバ駆動部５０の構成と相違するため、以下ではこの点を中心に説明する。

【0049】

本実施形態に係る樹脂供給装置１０Ａは、平面方向における任意の位置でチャンバ３０を構成し開閉を行うチャンバ駆動部５０Ａを備える。すなわち、チャンバ駆動部５０Ａは、シリンジ２１（ノズル２２）を含む上チャンバ部３１を図９におけるＸ方向又はＹ方向に移動可能に構成される。また、チャンバ駆動部５０Ａは、下チャンバ部３２に対して上チャンバ部３１を進退動させることで、チャンバ３０の開閉を行う。このような構造により、チャンバ３０を構成した状態（例えば減圧した状態）で、ワークＷに対してシリンジ２１のノズル２２部分をＸＹ方向における任意の位置に移動可能に構成される。

【0050】

具体的には、チャンバ駆動部５０Ａは、保持部５１と、第１レール５２と、第１スライダ５３と、第１モータ５４と、上ベース部６０と、第４レール６１と、第４スライダ６２と、第４モータ６３と、第５レール６４と、第５スライダ６５と、第５モータ６６と、を備える。また、チャンバ駆動部５０Ａでは、上ベース部６０が動かないように装置筐体に固定されている。この上ベース部６０の下面にはＹ軸に沿う方向に延びる第４レール６１が設けられる。この第４レール６１上をスライド可能に第４スライダ６２が設けられる。この第４スライダ６２は第４モータ６３の駆動によって第４レール６１上をスライドする。また、第４スライダ６２にはＸ軸に沿う方向に延びる第５レール６４が設けられる。この第５レール６４上をスライド可能に第５スライダ６５が設けられる。この第５スライダ６５は第５モータ６６の駆動によって第５レール６４上をスライドする。そして、この第５スライダ６５に保持部５１が吊り下げられるよう設けられる。

【0051】

この保持部５１には、Ｚ軸に沿う方向に延びる第１レール５２が設けられ、この第１レール５２上を第１モータ５４によってスライド可能に第１スライダ５３が設けられる。そして、第１スライダ５３上に上チャンバ部３１が設けられる。したがって、上チャンバ部３１はチャンバ駆動部５０Ａによって３軸（ＸＹＺ）に沿う方向に可動することができる。すなわち、チャンバ駆動部５０Ａは下チャンバ部３２に対して上チャンバ部３１を進退動（Ｚ軸に沿う方向へ移動）および平行移動（Ｘ軸およびＹ軸に沿う方向へ移動）をさせることができる。このため、樹脂供給装置１０Ａでは、チャンバ駆動部５０Ａによってチャンバ３０を閉じた状態としたまま上チャンバ部３１を平行移動させることができる。

【0052】

そして、前記実施形態１で説明したように上チャンバ部３１には吐出部２０が設けられる。このため、樹脂供給装置１０Ａでは、チャンバ３０を閉じた状態としたまま、吐出部２０を平行移動させながらノズル２２から液状樹脂Ｒを吐出させることができる。これによれば、前述の実施形態における効果のみならず、任意の吐出位置においてワークＷの表面内に液状樹脂Ｒを供給することができる（図１６および図１７参照）。

【0053】

次に、本発明の実施形態に係る樹脂供給装置１０Ａの動作方法、すなわち、樹脂供給方法について説明する。

【0054】

図９に示す樹脂供給装置１０は、チャンバ３０が開いた状態でワークＷが供給された後の状態である。ここでは、シリンジ２１のノズル２２はピンチバルブ２４によって閉じられており、プランジャ２３は上方で待機している。また、重量計４０にワークＷがセットされている。

【0055】

続いて、図１０に示すように、閉鎖状態となるようにチャンバ３０の内部３０ａを形成し、チャンバ３０の内部３０ａに対して真空引きを開始する。ここでは、制御部１１によって真空部４１およびチャンバ駆動部５０Ａが制御される。具体的には、チャンバ駆動部５０Ａの第１モータ５４の駆動により、上チャンバ部３１が設けられる第１スライダ５３が第１レール５２上を下降していくことで、シール部３３を介して上チャンバ部３１と下チャンバ部３２とが接するような状態となる。これにより、閉鎖状態となったチャンバ３０の内部３０ａが形成される。そして、真空部４１の駆動により、ワークＷがセットされたチャンバ３０の内部３０ａを真空状態とする。

【0056】

続いて、図１１に示すように、ノズル２２がワークＷの表面に対して所定位置（吐出開始位置）となるように下チャンバ部３２に対して上チャンバ部３１を平行移動させる。ここでは、制御部１１によって真空部４１およびチャンバ駆動部５０Ａが制御される。具体的には、真空部４１の駆動によりチャンバ３０の内部３０ａを引き続き真空状態とする。そして、チャンバ駆動部５０Ａの第４モータ６３または第５モータ６６の少なくとも一方の駆動により第４スライダ６２または第５スライダ６５の少なくとも一方がスライドし、上チャンバ部３１が下チャンバ部３２に対して平行移動する。これにより、ノズル２２がワークＷの表面に対して所定位置まで平行移動することができる。

【0057】

続いて、チャンバ３０が閉じた状態でワークＷに平行してノズル２２を移動させながら液状樹脂Ｒを吐出する。ここでは、制御部１１によって吐出部２０（吐出駆動部８０）、真空部４１、およびチャンバ駆動部５０Ａが制御される。ワークＷに対する液状樹脂Ｒの吐出（供給）は、ワークＷの表面全体に行うことができるが、本実施形態では、図１６および図１７に示すように、ワークＷの表面中央部（最大供給エリア９０）に対して行っている。例えば、図１６に示すように、渦巻き状または複数同心円状に液状樹脂Ｒを供給することができる。樹脂供給装置１０Ａでは、チャンバ３０の内部３０ａを構成する上チャンバ部３１と共にノズル２２を移動させる構成であるため、ワークＷの表面中央部に対して液状樹脂Ｒを供給することでチャンバサイズの大型化を防止することができる。また、チャンバサイズの大型化を防止することで、真空引きの時間を短くすることができる。また、渦巻き状または複数の同心円状に液状樹脂Ｒを供給することで、供給される液状樹脂Ｒの高さの低減を達成することができる。

【0058】

具体的には、真空部４１の駆動によりチャンバ３０の内部３０ａを引き続き真空状態とする。次いで、図１２に示すように、吐出部２０の第３モータ８４の駆動によりプランジャ２３を下降させて、シリンジ２１内の液状樹脂Ｒをノズル２２から吐出する。次いで、図１３に示すように、チャンバ駆動部５０Ａにより上チャンバ部３１を下チャンバ部３２に対して平行移動させながら、液状樹脂Ｒをノズル２２から吐出させる。最終的には、図１４に示すように、ワークＷの中心までノズル２２を平行移動させて、液状樹脂Ｒを吐出することで、ワークＷに渦巻き状に液状樹脂Ｒを供給することができる。この際、チャンバ３０の内部３０ａに設けられた重量計４０によって液状樹脂Ｒの重量を計測しながら、液状樹脂Ｒが吐出される。

【0059】

もちろん、ワークＷの全面に対して渦巻き状等で液状樹脂Ｒを供給して、ワークＷ上における樹脂の供給量を均一化させてもよい。この場合、上述した図に示すような有底筒状の上チャンバ部３１を平板状とし、平板状の下チャンバ部３２を有底筒状とすることができる。このような構造により構成されるチャンバでは、上述した構成と同様の効果を得られるうえ、ノズル２２の移動領域を大きくしても、チャンバサイズは大きくならないため、より好ましい。

【0060】

なお、ワークＷ上において液状樹脂Ｒを供給する形状については、上述したように渦巻き状や同心円状の他にも、任意の形状に供給することができる。例えば、ワークＷ上において多点状や格子状、さらに、複数線を並べた形状、若しくは、放射線状といった任意の形状に供給することができる。

【0061】

また、ワークＷ上において供給された液状樹脂Ｒの撮像する撮像装置を備えてもよい。この場合、例えば上チャンバ部３１に透光性を有する材質により構成された撮像用の窓部を設け、撮像部（カメラ）や照明部によりワークＷ上において供給された液状樹脂Ｒの形状を撮像し、供給状態の確認を行えるようにするのが好ましい。

【0062】

続いて、前記実施形態で図５および図６を参照して説明したように、液状樹脂Ｒの吐出を停止し、チャンバ３０の内部３０ａの真空引きを停止した後、チャンバ３０の内部３０ａでノズル２２を往復動させる。これにより、内部３０ａで液状樹脂Ｒの液切りを行うことができる。閉鎖された空間内（内部３０ａ）で液切りが行われることによりホコリなどの巻き込みなどを防止することができる。

【0063】

続いて、図１５に示すように、チャンバ３０を開いて、液状樹脂Ｒが供給されたワークＷを大気開放させる。ここでは、制御部１１によってチャンバ駆動部５０Ａが制御される。具体的には、チャンバ駆動部５０Ａの第１モータ５４の駆動により、上チャンバ部３１が設けられる第１スライダ５３が第１レール５２上を上昇していくことで、上チャンバ部３１と下チャンバ部３２とが離れてチャンバ３０が開いた状態となる。その後、搬送装置（例えばローダ）によって液状樹脂Ｒが供給されたワークＷが取り出されて搬送される。

【0064】

以上、本発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。

【0065】

例えば、ワークとして基板上にフリップチップ接続されたチップ部品を用いる場合、基板に液状樹脂を供給する際に、基板とチップ部品との間を減圧した状態とすることができる。このため、例えば圧縮成形において、その基板とチップ部品との間に樹脂が充填されやすくなり、いわゆるアンダーフィルを適切に行うことができる。

【0066】

また、上述した実施形態では真空状態（減圧雰囲気下）で液状樹脂Ｒを供給する例について説明したが、本発明はこれに限定されない。すなわち、上述した実施形態に示す樹脂供給装置によれば、チャンバの内部でノズルから被供給物へ液状樹脂を吐出（供給）した後で真空状態（減圧雰囲気下）としてエアを排出して、樹脂内におけるエアの抱え込みなどの不具合を防止することもできる。

【0067】

また、チャンバ３０の内部３０ａが高い真空度となるように減圧されることにより、シリンジ２１に貯留された液状樹脂Ｒがピンチバルブ２４でノズル２２を閉塞してもチャンバ３０の内部３０ａに吐出されてしまうような場合も考えられる。このような場合には、液状樹脂Ｒをシリンジ２１内に引き戻す構成とすることが好ましい。これにより、液状樹脂Ｒが意図せず吐出してしまうのを防止することができる。例えば、図１８に示すように、シリンジ２１内部において液状樹脂Ｒの無い空間（上側の空間）を減圧することでチャンバ３０における減圧によって液状樹脂Ｒを引き出そうとする力と均衡させることもできる。

【0068】

具体的には、図１８に示すように、プランジャシャフト２３ａとプランジャシール部２３ｂとを備えたプランジャ２３とすることができる。プランジャシャフト２３ａは、先端が拡径し、シリンジ２１に設けられたシリンジ蓋部２１ａを押圧し液状樹脂Ｒを吐出する。プランジャシール部２３ｂは、プランジャシャフト２３ａが中央に差し込まれる環状の構造を有しており、筒状のシリンジ本体２１ｂと組み合わされることで、シリンジ本体２１ｂ内においてシリンジ蓋部２１ａとの空間を所定の密閉空間とする。また、プランジャシール部２３ｂは、シリンジ本体２１ｂの縁部とのシール性を確保するためのシール２３ｂ１、プランジャシャフト２３ａとのシール性を維持するためのシール２３ｂ２、及び、シリンジ本体２１ｂの内部をエア吸引するための吸引路２３ｂ３を備える。これにより、シリンジ２１の内部において、シリンジ蓋部２１ａ、シリンジ本体２１ｂ、プランジャシャフト２３ａ、及び、プランジャシール部２３ｂにより環状の密閉空間が形成される。このような密閉空間が形成された状態において、プランジャシール部２３ｂに設けられた吸引路２３ｂ３を介し図示しない配管や真空ポンプによりエア吸引することで、この空間を減圧してシリンジ蓋部２１ａを引き戻し、液状樹脂Ｒをシリンジ２１内に戻す力を加えることができる。

【0069】

なお、シリンジ２１は、シリンジ本体２１ｂとシリンジ蓋部２１ａとで液状樹脂Ｒを貯留した状態で装置内に供給される。このため、例えば図１に示すような位置に未使用のシリンジ２１がセットされた状態において、プランジャ２３を下降させてプランジャシャフト２３ａの先端をシリンジ本体２１ｂに挿入する。また、この際にプランジャシール部２３ｂでシリンジ本体２１ｂの上端の開口部を閉塞させ、適宜な樹脂の吐出を行った後に液状樹脂Ｒをシリンジ２１内に戻す力を加えることができる。これによれば、液状樹脂Ｒの意図しない吐出を防止できるほか、意図しない吐出が無い場合でも液状樹脂Ｒをシリンジ２１内に戻す力を利用することで液切りすることもできる。

【0070】

また、液状樹脂Ｒをシリンジ２１内に引き戻す構成としては、上述したような減圧による方法のみならず、シリンジ蓋部２１ａを機械的に引き戻す構成とすることもできる。この場合、プランジャシャフト２３ａの先端をシリンジ蓋部２１ａに対して螺合や嵌合などにより任意に係合させる構成とすることで、プランジャシャフト２３ａでシリンジ蓋部２１ａを直接引き戻すこともできる。例えば、プランジャシャフト２３ａの先端を雄ねじを設けると共にシリンジ蓋部２１ａの主面に雌ねじを設けることで、これらを螺合させることができる。もちろん、任意に係合が可能であればこのような構成に限らず、プランジャシャフト２３ａの先端をＴ字状とし、シリンジ蓋部２１ａに適宜に設けた溝部に回転させて係合させるなどとしてもよい。

【符号の説明】

【0071】

２２ ノズル
３０ チャンバ
３０ａ 内部
Ｒ 液状樹脂
Ｗ ワーク（被供給物）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】