発明の名称 積層膜、電子デバイス基板、電子デバイス及び積層膜の製造方法
出願人 TDK株式会社 (識別番号 3067)
特許公開件数ランキング 57 位(440件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 62 位(398件)(共同出願を含む)
公報番号 特開-2017-212300
公報発行日 2017年11月30
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2017-212300
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