【図1】監視システムの構成例を示す図である。

【図2】バッチプロセス監視装置のハードウェア構成例を示す図である。

【図3】第１のバッチプロセス監視装置の機能ブロック図である。

【図4】第１の異常判定設定データの一例を示す図である。

【図5】第１のバッチプロセス監視装置の処理の一例を示すフローチャートである。

【図6】正常なバッチの状態量、基準バッチ、指標、単調増加指標の一例を示す図である。

【図7】異常なバッチの状態量、基準バッチ、指標、単調増加指標の一例を示す図である。

【図8】閾値以上である時間の積算値を算出する場合の例を説明する図である。

【図9】閾値以上である時間及び値の積の積算値を算出する場合の例を説明する図である。

【図10】指標の絶対値の最大値を算出する場合の例を説明する図である。

【図11】連続プロセスとバッチプロセスについて説明する図である。

【図12】従来技術の、シューハートチャートに基づいて異常と判定するルールを説明する図である。

【図13】従来技術の、運用のバッチデータと基準バッチデータに基づいて異常と判定する処理について説明する図である。

【図14】第２のバッチプロセス監視装置の機能ブロック図である。

【図15】第２の異常判定設定データの一例を示す図である。

【図16】実績データの一例を示す図である。

【図17】精度データの一例を示す図である。

【図18】第２のバッチプロセス監視装置の監視処理の一例を示すフローチャートである。

【図19】各閾値の値に対する異常判定の精度を算出する処理の一例を示すフローチャートである。

【図20】異常判定の精度の算出するためのテーブルの一例を示す図である。

【図21】精度データの表示例の一例を示す図である。

【図22】精度データの表示例の一例を示す図である。