特開 2017-216265 シート貼付装置および貼付方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2017-216265(P2017-216265A)

(43)【公開日】2017年12月7日

(54)【発明の名称】シート貼付装置および貼付方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20171110BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】10

(21)【出願番号】特願2016-107027(P2016-107027)

(22)【出願日】2016年5月30日

(71)【出願人】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100082762

【弁理士】

【氏名又は名称】杉浦 正知

(74)【代理人】

【識別番号】100123973

【弁理士】

【氏名又は名称】杉浦 拓真

(72)【発明者】

【氏名】杉下 芳昭

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131AA03

5F131AA21

5F131AA22

5F131AA23

5F131BA53

5F131DA33

5F131DA42

5F131DB51

5F131EA07

5F131EA22

5F131EB01

5F131EC32

5F131EC33

5F131EC34

5F131EC35

5F131EC37

5F131EC55

5F131EC62

5F131EC63

5F131EC68

5F131EC69

5F131EC72

5F131HA44

5F131JA16

5F131JA40

5F131KA12

5F131KA14

5F131KA44

5F131KA72

5F131KB05

5F131KB12

5F131KB30

5F131KB32

(57)【要約】

【課題】設備の大型化を防止することができるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。
【解決手段】帯状の剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２０と、繰出手段２０で繰り出された原反ＲＳにおける剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段３０と、剥離手段３０で剥離された接着シートＡＳを被着体ＷＦに押圧して貼付する押圧手段４０とを備え、接着シートＡＳが剥離された剥離シートＲＬによって被着体ＷＦの被着面ＷＦ１から塵埃ＤＵを除去する塵埃除去手段５０を備えている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出された原反における剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で剥離された前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記接着シートが剥離された剥離シートによって前記被着体の被着面から塵埃を除去する塵埃除去手段を備えていることを特徴とするシート貼付装置。

【請求項2】

前記塵埃除去手段は、前記接着シートが剥離された剥離シートを前記被着面に離間接近させる接離手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。

【請求項3】

前記剥離シートへの塵埃の付着を促進させる付着媒体を当該剥離シートに付与する付着媒体付与手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。

【請求項4】

前記塵埃除去手段は、前記剥離シートに付着した塵埃を当該剥離シートから除去する塵埃回収手段を備えていることを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載のシート貼付装置。

【請求項5】

帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記繰出工程で繰り出された原反における剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離工程と、
前記剥離工程で剥離された前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを有し、
前記接着シートが剥離された剥離シートによって前記被着体の被着面から塵埃を除去する塵埃除去工程を有することを特徴とするシート貼付方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート貼付装置および貼付方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、被着体に接着シートを貼付する前段で、当該被着体の被着面上から塵、埃、汚れ等の塵埃を除去する除塵装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００９−１４０９８２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載された従来の装置は、シート貼付装置とは別の位置に設けられるので、設備が大型化するという不都合がある。

【0005】

本発明の目的は、設備の大型化を防止することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記繰出手段で繰り出された原反における剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記剥離手段で剥離された前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記接着シートが剥離された剥離シートによって前記被着体の被着面から塵埃を除去する塵埃除去手段を備えていることを特徴とする。

【0007】

この際、本発明のシート貼付装置では、前記塵埃除去手段は、前記接着シートが剥離された剥離シートを前記被着面に離間接近させる接離手段を備えていることを特徴とすることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置では、前記剥離シートへの塵埃の付着を促進させる付着媒体を当該剥離シートに付与する付着媒体付与手段を備えていることが好ましい。
さらに、本発明のシート貼付装置では、前記塵埃除去手段は、前記剥離シートに付着した塵埃を当該剥離シートから除去する塵埃回収手段を備えていることが好ましい。

【0008】

一方、本発明のシート貼付方法は、帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出工程と、前記繰出工程で繰り出された原反における剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離工程と、前記剥離工程で剥離された前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを有し、前記接着シートが剥離された剥離シートによって前記被着体の被着面から塵埃を除去する塵埃除去工程を有することを特徴とする。

【発明の効果】

【0009】

以上のような本発明によれば、接着シートが剥離された剥離シートによって被着体の被着面から塵埃を除去するので、シート貼付装置の別の位置に除塵装置を設ける必要がなく、設備の大型化を防止することができる。

【0010】

この際、接離手段を備えれば、剥離シートを被着面に近付けて確実に塵埃を除去することができる。
また、付着媒体付与手段を備えれば、効率よく塵埃を剥離シートに付着させて除去することができる。
さらに、塵埃回収手段を備えれば、剥離シートに付着した塵埃が当該剥離シートから剥がれて浮遊したり拡散したりして、雰囲気が汚染されることを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。

【図2】（Ａ）〜（Ｃ）は、図１のシート貼付装置の動作説明図。

【図3】（Ａ）、（Ｂ）は、シート貼付装置の変形例を示す部分側面図。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。

【0013】

図１において、シート貼付装置１０は、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２０と、繰出手段２０で繰り出された原反ＲＳにおける剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板３０と、剥離板３０で剥離された接着シートＡＳを被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ４０と、接着シートＡＳが剥離された剥離シートＲＬによってウエハＷＦの被着面ＷＦ１から塵埃ＤＵ（図２参照）を除去する塵埃除去手段５０と、剥離シートＲＬへの塵埃ＤＵの付着を促進させる付着媒体を当該剥離シートＲＬに付与する付着媒体付与手段６０とを備え、ウエハＷＦを支持して搬送する搬送手段７０の上方に配置されている。なお、本実施形態の場合、剥離シートＲＬにおける接着シートＡＳが仮着された一方の面が除塵面ＲＬ１となる。

【0014】

繰出手段２０は、原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ２２と、駆動機器としての回動モータ２３Ａによって駆動され、ピンチローラ２４との間に剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ２３と、図示しない駆動機器によって駆動され、剥離シートＲＬに所定の張力を付与して当該剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２５とを備えている。

【0015】

塵埃除去手段５０は、剥離板３０と、接着シートＡＳが剥離された剥離シートＲＬを被着面ＷＦ１に離間接近させる接離手段であって、その出力軸５１Ａで剥離板３０を支持する駆動機器としての回動モータ５１とを備えている。

【0016】

付着媒体付与手段６０は、剥離板３０の先端部３０Ａに設けられ、クーロン力で塵埃ＤＵを引き付けるために、付着媒体としての電荷を剥離シートＲＬに付与する電荷付与装置６１と、塵埃ＤＵの電荷を測定する電荷測定器６２と、塵埃ＤＵの電位を測定する電位測定器６３とを備えている。

【0017】

搬送手段７０は、駆動機器としてのリニアモータ７１のスライダ７１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを支持可能な支持面７２Ａを有する支持テーブル７２を備えている。

【0018】

以上のシート貼付装置１０の動作を説明する。
先ず、図１中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置１０に対し、作業者が原反ＲＳを同図に示すようにセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、繰出手段２０が回動モータ２３Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して図１に示すように、先頭の接着シートＡＳの先端が剥離板３０の先端部３０Ａで剥離シートＲＬから所定長さ剥離されたことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段に検知されると、回動モータ２３Ａの駆動を停止し、スタンバイ状態となる。

【0019】

そして、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段によって、ウエハＷＦが支持面７２Ａ上に載置されると、搬送手段７０が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦを吸着保持した後、リニアモータ７１を駆動し、支持テーブル７２を左方へ移動させる。このとき、ウエハＷＦが電荷測定器６２および電位測定器６３の下方を通過すると、図２（Ａ）に示すように、電荷測定器６２および電位測定器６３がウエハＷＦの被着面ＷＦ１上に付着している塵埃ＤＵの電荷および電位を測定する。次いで、ウエハＷＦの左端部が所定の位置に到達したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２０が回動モータ２３Ａを駆動し、ウエハＷＦの左方への搬送速度と接着シートＡＳの左方への繰出速度とが同じ速度となるように原反ＲＳを繰り出す。

【0020】

そして、図２（Ｂ）に示すように、接着シートＡＳの左端部が押圧ローラ４０によってウエハＷＦの左端部に押圧されて貼付されると、塵埃除去手段５０が回動モータ５１を駆動し、剥離板３０の先端部３０Ａを下降させ、同図中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳが剥離された剥離シートＲＬを被着面ＷＦ１に所定の押圧力で接触させる。このとき、付着媒体付与手段６０が電荷付与装置６１を駆動し、電荷測定器６２の測定結果を基にして、除塵面ＲＬ１が塵埃ＤＵの電荷と逆の極性となるように、当該剥離シートＲＬに電荷を付与する。これは例えば、塵埃ＤＵが正電荷を帯びていると電荷測定器６２によって測定された場合、電荷付与装置６１は、除塵面ＲＬ１が負電荷を帯びるように当該剥離シートＲＬに電荷を付与する一方、塵埃ＤＵが負電荷を帯びていると電荷測定器６２によって測定された場合、電荷付与装置６１は、除塵面ＲＬ１が正電荷を帯びるように当該剥離シートＲＬに電荷を付与する。なお、電荷付与装置６１が付与する電位は、電位測定器６３の測定結果を基にして、極性が逆の同じ電位とするとよい。これにより、塵埃ＤＵは、クーロン力によって除塵面ＲＬ１に引き付けられ、被着面ＷＦ１から除去されやすくなる。

【0021】

その後も支持テーブル７２の左方への移動が続行されると、図２（Ｃ）に示すように、被着面ＷＦ１上に付着していた塵埃ＤＵは、剥離シートＲＬに付着して当該剥離シートＲＬと共に回収ローラ２５方向に巻き取られ、塵埃ＤＵが除去された被着面ＷＦ１に接着シートＡＳが押圧ローラ４０によって押圧されて貼付される。次いで、被着面ＷＦ１に接着シートＡＳ全体が貼付され、次の接着シートＡＳの先端が剥離板３０の先端部３０Ａで剥離シートＲＬから所定長さ剥離されたことが図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２０が回動モータ２３Ａの駆動を停止し、再びスタンバイ状態となる。また、接着シートＡＳ全体が貼付されたウエハＷＦが押圧ローラ４０の左方所定位置に到達したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段に検知されると、搬送手段７０がリニアモータ７１および図示しない減圧手段の駆動を停止する。その後、図示しない搬送手段が、接着シートＡＳが貼付されたウエハＷＦを次の工程に搬送した後、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0022】

以上のような実施形態によれば、接着シートＡＳが剥離された剥離シートＲＬによってウエハＷＦの被着面ＷＦ１から塵埃ＤＵを除去するので、シート貼付装置１０の別の位置に除塵装置を別途設ける必要がなく、設備の大型化を防止することができる。

【0023】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出すことが可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程も同様でありその説明は省略する）。

【0024】

繰出手段２０は、剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に複数の閉ループ状の切込が形成されることで、その内側が接着シートＡＳとされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートＲＬに仮着された原反が採用された場合、切断手段により、接着シート基材を所定形状に切断してその内側を接着シートＡＳとしてもよいし、接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する際、原反ＲＳに所定の張力が付与されるように回動モータ２３Ａのトルク制御を行ってもよいし、支持ローラ２１やガイドローラ２２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳや剥離シートＲＬを支持したり案内したりしてもよいし、駆動ローラ２３とピンチローラ２４とで剥離シートＲＬを挟み込むことなく原反ＲＳに繰出力を付与する構成でもよいし、原反ＲＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離シートＲＬを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよい。

【0025】

押圧手段は、押圧ローラ４０をウエハＷＦに離間接近させる押圧手段接離手段としての駆動機器を設け、ウエハＷＦにストレスがかかったり損傷したりすることを防止するようにしてもよく、このような押圧手段接離手段としては、駆動機器以外に手動で押圧ローラ４０を移動させるものでもよい。

【0026】

塵埃除去手段５０は、図１中二点鎖線で示すように、粘着ローラや別の接着シート等の転着手段や、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段等によって、剥離シートＲＬに付着した塵埃ＤＵを当該剥離シートＲＬから除去する塵埃回収手段５２を備えていてもよい。
接離手段は、図３（Ａ）に示すように、駆動機器としての直動モータ５３Ａの出力軸５３Ｂに支持されたブラケット５３Ｃに回転可能に支持されたローラ５３を採用し、当該ローラ５３で剥離シートＲＬを被着面ＷＦ１に離間接近させてもよいし、このようなローラ５３に代えてシャフト部材を採用してもよいし、図３（Ｂ）に示すように、剥離板３０の内部に形成された通気口３０Ｂに空気やガス等の気体を吹き付ける加圧ポンプやタービン等の気体吹付手段５４を採用し、吹き付けた気体で剥離シートＲＬを被着面ＷＦ１に離間接近させてもよいし、例えば、図３（Ａ）や図３（Ｂ）に示すような装置において、接着シートＡＳが剥離された位置から、ローラ５３や気体で被着面ＷＦ１に剥離シートＲＬを離間接近させる位置までの間で、当該剥離シートＲＬを半回転捻じ曲げるようにしておき、当該剥離シートＲＬにおける接着シートＡＳが仮着された面の反対側の面である他方の面を除塵面としてもよいし、剥離板３０の先端部３０Ａに駆動機器を設け、剥離板３０全体を移動させることなく、剥離板３０の先端部３０Ａのみを被着面ＷＦ１に離間接近させてもよく、接離手段が剥離シートＲＬを被着面ＷＦ１に接触させる所定の押圧力を、例えば、ウエハＷＦが破損しない程度としたり、被着面ＷＦ１に傷が入らない程度としたり、ウエハＷＦおよび剥離シートＲＬの少なくとも一方の特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件や、その他の要因等を考慮して作業者が任意に決定してもよいし、剥離シートＲＬを被着面ＷＦ１に接触させてもよいし、接触させなくてもよいし、当該接離手段がなくてもよく、このように接離手段がない場合、除塵面ＲＬ１が被着面ＷＦ１に当接するように予め設定しておいたり、除塵面ＲＬ１と被着面ＷＦ１との間に除去したい塵埃ＤＵの大きさ以下の僅かな隙間があくように予め設定しておいたり、付着媒体の力で塵埃ＤＵを浮上させることができる範囲で除塵面ＲＬ１と被着面ＷＦ１との間に隙間があくように予め設定しておいたりしておき、剥離シートＲＬとウエハＷＦとを相対移動させて被着面ＷＦ１から塵埃ＤＵを除去するように構成してもよい。

【0027】

付着媒体付与手段６０は、塵埃ＤＵに正電荷または負電荷を帯びさせる塵埃用電荷付与装置を設け、塵埃ＤＵが電荷を帯びていても帯びていなくても、当該塵埃ＤＵに正電荷または負電荷を付与し、電荷付与装置６１が前記実施形態と同様に、除塵面ＲＬ１が塵埃ＤＵの電荷と逆の極性となるように、当該剥離シートＲＬに電荷を付与するように構成したり、除塵面ＲＬ１が電荷を帯びていても帯びていなくても、当該除塵面ＲＬ１に正電荷または負電荷を付与し、塵埃用電荷付与装置が当該除塵面ＲＬ１の電荷と逆の極性となるように、塵埃ＤＵに電荷を付与するように構成したりしてもよく、電荷を付与する順番は、塵埃ＤＵと除塵面ＲＬ１とのどちらが先でもよいし同時でもよい。また、電荷測定器６２および電位測定器６３の少なくとも一方は、なくてもよいし、それらを一体のもので構成してもよい。
付着媒体付与手段６０は、電荷付与装置６１や塵埃用電荷付与装置として電圧印可式、自己放電式等のコロナ放電タイプや、Ｘ線方式、α線方式、紫外線方式等の電離放射線タイプのもの等何でもよいし、前記実施形態で示した付番６１のものを電荷測定器として除塵面ＲＬ１の電荷を測定し、付番６２のものを塵埃用電荷付与装置として被着面ＷＦ１上に付着している塵埃ＤＵが除塵面ＲＬ１の電荷と逆の極性となるように、当該塵埃ＤＵに電荷を付与するように構成してもよいし、電荷付与装置６１や塵埃用電荷付与装置が剥離シートＲＬや塵埃ＤＵに付与する電位は、電位測定器６３が測定した電位に対して極性が逆の同じ電位としてもよいし、極性が逆の異なる電位としてもよいし、電荷付与装置６１を剥離板３０の外部に設けたり、電荷付与装置６１を剥離板３０の内部と外部との両方に設けたりしてもよいし、例えば、剥離シートＲＬが紙や多孔質材等の通気性のある部材で構成されている場合、剥離シートＲＬを介して塵埃ＤＵを当該剥離シートＲＬに吸い付けて付着させる塵埃吸引手段を剥離板３０等に設けてもよく、この場合、付着媒体は吸引される空気となる。
付着媒体付与手段６０が付与する付着媒体は、接着剤、粘着剤、溶剤、水分、油分、液体等であってもよく、例えば、溶剤、水分、油分または液体を付着させた剥離シートＲＬを雑巾のように被着面ＷＦ１に擦り付けて塵埃ＤＵを除去してもよく、除塵面ＲＬ１に接着剤、粘着剤、溶剤、水分、油分または液体等を塗布したり積層させたりしてもよいし、塵埃ＤＵが汚れや着色等の場合、付着媒体を溶剤、水分、油分または液体とすると効率的に当該塵埃ＤＵを除去することができるし、付着媒体として剥離シートＲＬに無数の小さな穴や凹凸を形成したり、除塵面ＲＬ１を荒らして粗面としたりすることで、穴や凹凸の凹部や粗面に塵埃ＤＵを入り込ませたり、凸部や粗面に塵埃ＤＵを引っ掛けたりして当該塵埃ＤＵを除去するようにしてもよい。

【0028】

搬送手段７０は、ウエハＷＦを移動させずにまたは移動させつつ、シート貼付装置１０を移動させてウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付してもよいし、他の装置でウエハＷＦを移動させる場合は、なくてもよい。

【0029】

シート貼付装置１０は、天地反転して配置したり横向きに配置したりして、ウエハＷＦの下面や側面等に接着シートＡＳを貼付してもよいし、剥離シートＲＬが移動したり、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳが剥離されたりすることで自然に帯電した電荷や、剥離シートＲＬや塵埃ＤＵに付着した水分等で当該塵埃ＤＵを除塵面ＲＬ１に付着させて除去できれば、付着媒体付与手段６０を採用しなくてもよいし、このように付着媒体付与手段６０を採用しない場合、例えば、除塵面ＲＬ１を被着面ＷＦ１に当接させたり、除塵面ＲＬ１と被着面ＷＦ１との間に除去したい塵埃ＤＵの大きさ以下の僅かな隙間をあけたりしておき、剥離シートＲＬとウエハＷＦとを相対移動させて被着面ＷＦ１上から塵埃ＤＵをかき落とす（押し出す）ように構成してもよいし、接着シートＡＳや、当該接着シートＡＳの外周に位置していた不要シートＵＳが剥離された後に除塵面ＲＬ１上に残留した残留接着剤で塵埃ＤＵを除塵面ＲＬ１に付着させて除去してもよく、このような不要シートＵＳは、支持ローラ２１に支持される前（ロール状になる前）の段階で、剥離シートＲＬ上から剥離されていてもよいし、図１中二点鎖線で示すように、駆動機器としての回動モータ２６Ａによって駆動される巻取ローラ２６を設け、ガイドローラ２２の位置で折り返して巻き取ってもよい。

【0030】

本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とで構成されたもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、接着剤層の間に中間層を有するもの等、１層または２層以上のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。

【0031】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離手段や剥離部材が採用されている場合は、板状部材、丸棒、ローラ等で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断刃が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしたりしてもよい。

【符号の説明】

【0032】

１０…シート貼付装置
２０…繰出手段
３０…剥離手段
４０…押圧手段
５０…塵埃除去手段
５１…回動モータ（接離手段）
５２…塵埃回収手段
６０…付着媒体付与手段
ＡＳ…接着シート
ＤＵ…塵埃
ＲＬ…剥離シート
ＲＳ…原反
ＷＦ…ウエハ（被着体）
ＷＦ１…被着面

【図1】

【図2】

【図3】