特開 2017-29948 ワーク浮上搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2017-29948(P2017-29948A)

(43)【公開日】2017年2月9日

(54)【発明の名称】ワーク浮上搬送装置

(51)【国際特許分類】

   B05C 13/02 20060101AFI20170120BHJP

   B65G 51/03 20060101ALI20170120BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20170120BHJP

   B65G 49/06 20060101ALI20170120BHJP

   H01L 21/027 20060101ALI20170120BHJP

【ＦＩ】

   B05C13/02

   B65G51/03 A

   H01L21/68 A

   B65G49/06 Z

   H01L21/30 562

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】15

(21)【出願番号】特願2015-154577(P2015-154577)

(22)【出願日】2015年8月4日

(71)【出願人】

【識別番号】000103644

【氏名又は名称】オイレス工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100111372

【弁理士】

【氏名又は名称】津野 孝

(74)【代理人】

【識別番号】100168538

【弁理士】

【氏名又は名称】加藤 来

(74)【代理人】

【識別番号】100186495

【弁理士】

【氏名又は名称】平林 岳治

(74)【代理人】

【識別番号】100191640

【弁理士】

【氏名又は名称】星 睦

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 彰彦

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 光

(72)【発明者】

【氏名】角田 耕一

(72)【発明者】

【氏名】金井 仁志

【テーマコード（参考）】

4F042

5F131

5F146

【Ｆターム（参考）】

4F042AA06

4F042AB00

4F042DF10

4F042DF28

4F042DF30

4F042DF34

5F131AA03

5F131AA32

5F131BA12

5F131CA06

5F131CA08

5F131DA02

5F131DC14

5F131DC15

5F131EA06

5F131EB43

5F146CD01

5F146CD07

(57)【要約】      （修正有）

【課題】ワークの幅方向側端部位における所定の浮上量を確保してワーク幅方向の全域に亘ってワークの平坦度を維持し、ワークの幅方向に亘って均一なコーティング処理を施すワーク浮上搬送装置を提供すること。
【解決手段】搬送路におけるコーティング処理領域の幅方向側端部位Ａ２ａｂに配置されてワークＷの幅方向側端部位Ｗｂに対面する噴射口１２１および吸引口１２３の分布密度が、搬送路におけるコーティング処理領域の幅方向中央部位Ａ２ａａに配置されてワークＷの幅方向中央部位Ｗａに対面する噴射口１２１および吸引口１２３の分布密度より密になっていることを特徴とするワーク浮上搬送装置。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワークを搬送させる搬送路が、該搬送路とワークとの間に圧縮空気を噴射する複数の噴射口を備えてワークを浮上させる搬入領域と、該搬入領域より下流側の搬送路とワークとの間に圧縮空気を噴射する複数の噴射口および空気を吸引する複数の吸引口を備えて浮上状態のワークにコーティング処理を施すコーティング処理領域と、該コーティング処理領域より下流側の搬送路とワークとの間に圧縮空気を噴射する複数の噴射口を備えてワークを浮上させる搬出領域とで構成され、浮上した状態のワークの平坦度を維持してワークを搬送するワーク浮上搬送装置であって、
前記搬送路におけるコーティング処理領域の幅方向側端部位に配置されてワークの幅方向側端部位に対面する噴射口および吸引口の分布密度が、前記搬送路におけるコーティング処理領域の幅方向中央部位に配置されてワークの幅方向中央部位に対面する噴射口および吸引口の分布密度より密になっていることを特徴とするワーク浮上搬送装置。

【請求項2】

前記搬送路が、第１浮上量でワークを浮上させる搬入領域と、前記第１浮上量よりも小さい第２浮上量でワークを浮上させるコーティング処理領域と、前記第２浮上量より大きい第３浮上量でワークを浮上させる搬出領域とで構成されていることを特徴とする請求項１記載のワーク浮上搬送装置。

【請求項3】

前記コーティング処理領域の幅方向側端部位における噴射口数と吸引口数との比率が、前記コーティング処理領域の幅方向中央部位における噴射口数と吸引口数との比率と同じに設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のワーク浮上搬送装置。

【請求項4】

前記搬出領域の幅方向側端部位に配置されてワークの幅方向側端部位に対面する噴射口の分布密度が、前記搬出領域の幅方向中央部位に配置されてワークの幅方向中央部位に対面する噴射口の分布密度より密になっていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載のワーク浮上搬送装置。

【請求項5】

前記コーティング処理領域の幅方向中央部位における噴射口および吸引口が、市松模様状に交互に配置され、
該市松模様状の縦横２配列方向のうちの搬送方向に近い配列方向が、前記搬送方向に対して幅方向１ピッチ以内で傾いていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載のワーク浮上搬送装置。

【請求項6】

前記搬出領域の幅方向中央部位における噴射口が、格子状に配列され、
該格子状の配列方向が、前記搬送方向に対して傾いていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１つに記載のワーク浮上搬送装置。

【請求項7】

前記搬送路とワークとの間に圧縮空気を噴射する複数の噴射口を備えてワークを浮上させる搬入側調整領域が、前記搬入領域とコーティング処理領域との間に配置され、
前記搬入側調整領域の幅方向側端部位に配置されてワークの幅方向側端部位に対面する噴射口の分布密度が、前記搬入側調整領域の幅方向中央部位に配置されてワークの幅方向中央部位に対面する噴射口の分布密度より密になっていることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１つに記載のワーク浮上搬送装置。

【請求項8】

前記搬送路とワークとの間に圧縮空気を噴射する複数の噴射口を備えてワークを浮上させる搬出側調整領域が、前記コーティング処理領域と搬出領域との間に配置され、
前記搬出側調整領域の幅方向側端部位に配置されてワークの幅方向側端部位に対面する噴射口の分布密度が、前記搬出側調整領域の幅方向中央部位に配置されてワークの幅方向中央部位に対面する噴射口の分布密度より密になっていることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１つに記載のワーク浮上搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ワークとこのワークの搬送路との間に介在させた圧縮空気で浮上させてワークを搬送するワーク浮上搬送装置であって、特に、太陽電池用フラットパネルや携帯電話、液晶テレビ、パソコン用液晶モニターなどに用いるディスプレイ用ガラス基板等のワークを平坦度維持して浮上搬送するワーク浮上搬送装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、ワーク浮上搬送装置として、搬入領域と塗布領域と搬出領域とから構成されてワークとしての基板を空気圧の力で浮上させるステージと、このステージ上に浮上している基板を保持して搬入領域から搬出領域まで搬送する基板搬送部と、塗布領域を通過する基板に対して処理液を吐出するノズルを有した処理液供給部とを備え、基板とステージとの間に圧縮空気を噴出する噴出口および基板とステージとの間の圧縮空気を吸引する吸引口が、塗布領域において搬送方向および幅方向に一定の間隔で配置してあることにより、一定の分布密度で多数配置されている基板処理装置が知られている（例えば、特許文献１）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許５２２１５０８号公報（特に、請求項１、段落００４１、図６参照）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、上述した従来の基板処理装置は、噴出口および吸引口が塗布領域において一定の分布密度で混在して多数配置された構造であったため、塗布領域においてステージと基板との間の圧縮空気がステージの両側方域から基板の外側へ逃げて塗布領域の幅方向側端部位と対向する基板の幅方向側端部位が、塗布領域の幅方向中央部位と対向する基板の幅方向中央部位よりも下がって基板の平坦度が低下し、基板の幅方向に亘って均一な塗布処理を施すことができないという問題があった。

【0005】

そこで、本発明は、前述したような従来技術の問題を解決するものであって、すなわち、本発明の目的は、ワークの幅方向側端部位における所定の浮上量を確保してワーク幅方向の全域に亘ってワークの平坦度を維持し、ワークの幅方向に亘って均一なコーティング処理を施すワーク浮上搬送装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本請求項１に係る発明は、ワークを搬送させる搬送路が、該搬送路とワークとの間に圧縮空気を噴射する複数の噴射口を備えてワークを浮上させる搬入領域と、該搬入領域より下流側の搬送路とワークとの間に圧縮空気を噴射する複数の噴射口および空気を吸引する複数の吸引口を備えて浮上状態のワークにコーティング処理を施すコーティング処理領域と、該コーティング処理領域より下流側の搬送路とワークとの間に圧縮空気を噴射する複数の噴射口を備えてワークを浮上させる搬出領域とで構成され、浮上した状態のワークの平坦度を維持してワークを搬送するワーク浮上搬送装置であって、前記搬送路におけるコーティング処理領域の幅方向側端部位に配置されてワークの幅方向側端部位に対面する噴射口および吸引口の分布密度が、前記搬送路におけるコーティング処理領域の幅方向中央部位に配置されてワークの幅方向中央部位に対面する噴射口および吸引口の分布密度より密になっていることにより、前述した課題を解決するものである。

【0007】

本請求項２に係る発明は、請求項１に記載されたワーク浮上搬送装置の構成に加えて、前記搬送路が、第１浮上量でワークを浮上させる搬入領域と、前記第１浮上量よりも小さい第２浮上量でワークを浮上させるコーティング処理領域と、前記第２浮上量より大きい第３浮上量でワークを浮上させる搬出領域とで構成されていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。

【0008】

本請求項３に係る発明は、請求項１または請求項２に記載されたワーク浮上搬送装置の構成に加えて、前記コーティング処理領域の幅方向側端部位における噴射口数と吸引口数との比率が、前記コーティング処理領域の幅方向中央部位における噴射口数と吸引口数との比率と同じに設けられていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。

【0009】

本請求項４に係る発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載されたワーク浮上搬送装置の構成に加えて、前記搬出領域の幅方向側端部位に配置されてワークの幅方向側端部位に対面する噴射口の分布密度が、前記搬出領域の幅方向中央部位に配置されてワークの幅方向中央部位に対面する噴射口の分布密度より密になっていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。

【0010】

本請求項５に係る発明は、請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載されたワーク浮上搬送装置の構成に加えて、前記コーティング処理領域の幅方向中央部位における噴射口および吸引口が、市松模様状に交互に配置され、該市松模様状の縦横２配列方向のうちの搬送方向に近い配列方向が、前記搬送方向に対して幅方向１ピッチ以内で傾いていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。

【0011】

本請求項６に係る発明は、請求項１乃至請求項５のいずれか１つに記載されたワーク浮上搬送装置の構成に加えて、前記搬出領域の幅方向中央部位における噴射口が、格子状に配列され、該格子状の配列方向が、前記搬送方向に対して傾いていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。

【0012】

本請求項７に係る発明は、請求項１乃至請求項６のいずれか１つに記載されたワーク浮上搬送装置の構成に加えて、前記搬送路とワークとの間に圧縮空気を噴射する複数の噴射口を備えてワークを浮上させる搬入側調整領域が、前記搬入領域とコーティング処理領域との間に配置され、前記搬入側調整領域の幅方向側端部位に配置されてワークの幅方向側端部位に対面する噴射口の分布密度が、前記搬入側調整領域の幅方向中央部位に配置されてワークの幅方向中央部位に対面する噴射口の分布密度より密になっていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。

【0013】

本請求項８に係る発明は、請求項１乃至請求項７のいずれか１つに記載されたワーク浮上搬送装置の構成に加えて、前記搬送路とワークとの間に圧縮空気を噴射する複数の噴射口を備えてワークを浮上させる搬出側調整領域が、前記コーティング処理領域と搬出領域との間に配置され、前記搬出側調整領域の幅方向側端部位に配置されてワークの幅方向側端部位に対面する噴射口の分布密度が、前記搬出側調整領域の幅方向中央部位に配置されてワークの幅方向中央部位に対面する噴射口の分布密度より密になっていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。

【発明の効果】

【0014】

本発明のワーク浮上搬送装置は、ワークとワークの搬送路との間に圧縮空気を噴射する複数の噴射口と、搬送路とワークとの間から空気を吸引する複数の吸引口とを備えていることにより、ワークと搬送路との間に圧縮空気を介在させてワークを浮上させて搬送することができるばかりでなく、以下のような特有の効果を奏することができる。

【0015】

本請求項１に係る発明のワーク浮上搬送装置によれば、搬送路におけるコーティング処理領域の幅方向側端部位に配置されてワークの幅方向側端部位に対面する噴射口および吸引口の分布密度が、搬送路におけるコーティング処理領域の幅方向中央部位に配置されてワークの幅方向中央部位に対面する噴射口および吸引口の分布密度より密になっていることにより、ワークに作用する噴射口からの噴射力および吸引口からの吸引力がワークの幅方向側端部位で幅方向中央部位よりも大きく、そして、きめ細かに作用してワークの幅方向側端部位の浮上量が安定してワークの幅方向側端部位の沈み込みが阻止されるため、ワークの幅方向側端部位における所定の浮上量が確保され、ワーク幅方向の全域に亘ってワークの平坦度を維持し、ワークの幅方向に亘って均一なコーティング処理を施すことができる。

【0016】

本請求項２に係る発明のワーク浮上搬送装置によれば、請求項１に係る発明が奏する効果に加えて、搬送路が、第１浮上量でワークを浮上させる搬入領域と、第１浮上量よりも小さい第２浮上量でワークを浮上させるコーティング処理領域と、第２浮上量より大きい第３浮上量でワークを浮上させる搬出領域とで構成されていることにより、コーティング処理領域におけるワークの浮上量が安定するため、コーティング処理領域において精度よくコーティング処理を施すことができる。

【0017】

本請求項３に係る発明のワーク浮上搬送装置によれば、請求項１または請求項２に係る発明が奏する効果に加えて、コーティング処理領域の幅方向側端部位における噴射口数と吸引口数との比率が、コーティング処理領域の幅方向中央部位における噴射口数と吸引口数との比率と同じに設けられていることにより、ワークに作用する噴射力と吸引力とのバランスがコーティング処理領域の幅方向側端部位とコーティング処理領域の幅方向中央部位とにおいて同じ状態で噴射力および吸引力がワーク中央部位よりもワーク幅方向側端部位で大きく作用するため、ワークの幅方向側端部位の浮上量とワークの幅方向中央部位の浮上量との差を抑制することができる。

【0018】

本請求項４に係る発明のワーク浮上搬送装置によれば、請求項１乃至請求項３のいずれか１つに係る発明が奏する効果に加えて、搬出領域の幅方向側端部位に配置されてワークの幅方向側端部位に対面する噴射口の分布密度が、搬出領域の幅方向中央部位に配置されてワークの幅方向中央部位に対面する噴射口の分布密度より密になっていることにより、搬出領域においてワークに作用する噴射口からの噴射力がワークの幅方向中央部位よりも下がろうとするワークの幅方向側端部位でワークの幅方向中央部位よりも大きくきめ細かに作用するため、搬出領域においてワークの幅方向側端部位の浮上量とワークの幅方向中央部位の浮上量との差を小さくまたは無にしてワークの平坦度を向上させた状態でコーティング層が変形することなくコーティング層を固化させながらコーティング処理後のワークを搬送することができる。

【0019】

本請求項５に係る発明のワーク浮上搬送装置によれば、請求項１乃至請求項４のいずれか１つに係る発明が奏する効果に加えて、コーティング処理領域の幅方向中央部位における噴射口および吸引口が、市松模様状に交互に配置され、この市松模様状の縦横２配列方向のうちの搬送方向に近い配列方向が、搬送方向に対して幅方向１ピッチ以内で傾いていることにより、コーティング処理領域の幅方向側端部位の噴射口および吸引口の分布密度とコーティング処理領域の幅方向中央部位の噴射口および吸引口の分布密度との大小関係を維持したまま、噴射口の配置分布が幅方向に分散されてワークが受ける給気温度エネルギーの分布も幅方向に分散されるため、コーティング処理されたときの塗布ムラや乾燥ムラを幅方向において小さくまたは無にしてコーティング層の状態を幅方向で略均一にすることができる。

【0020】

本請求項６に係る発明のワーク浮上搬送装置によれば、請求項１乃至請求項５のいずれか１つに係る発明が奏する効果に加えて、搬出領域の幅方向中央部位における噴射口が、格子状に配列され、この格子状の配列方向が、搬送方向に対して傾いていることにより、搬出領域において噴射口の配置分布が幅方向に分散されてワークが受ける給気温度エネルギーの分布も幅方向に分散されるため、コーティング処理された後の乾燥ムラを幅方向において小さくまたは無にしてコーティング層の厚みなどを幅方向で略均一にすることができる。

【0021】

本請求項７に係る発明のワーク浮上搬送装置によれば、請求項１乃至請求項６のいずれか１つに係る発明が奏する効果に加えて、搬送路とワークとの間に圧縮空気を噴射する複数の噴射口を備えてワークを浮上させる搬入側調整領域が、搬入領域とコーティング処理領域との間に配置され、搬入側調整領域の幅方向側端部位に配置されてワークの幅方向側端部位に対面する噴射口の分布密度が、搬入側調整領域の幅方向中央部位に配置されてワークの幅方向中央部位に対面する噴射口の分布密度より密になっていることにより、搬入側調整領域においてワークに作用する噴射口からの噴射力がワークの幅方向中央部位よりも下がろうとするワークの幅方向側端部位でワークの幅方向中央部位よりも大きく、そして、きめ細かに作用するため、搬入側調整領域においてワークの幅方向側端部位の浮上量とワークの幅方向中央部位の浮上量との差を小さくまたは無にしてワークの平坦度を向上させることができる。

【0022】

本請求項８に係る発明のワーク浮上搬送装置によれば、請求項１乃至請求項７のいずれか１つに係る発明が奏する効果に加えて、搬送路とワークとの間に圧縮空気を噴射する複数の噴射口を備えてワークを浮上させる搬出側調整領域が、コーティング処理領域と搬出領域との間に配置され、搬出側調整領域の幅方向側端部位に配置されてワークの幅方向側端部位に対面する噴射口の分布密度が、搬出側調整領域の幅方向中央部位に配置されてワークの幅方向中央部位に対面する噴射口の分布密度より密になっていることにより、搬出側調整領域においてワークに作用する噴射口からの噴射力がワークの幅方向中央部位よりも下がろうとするワークの幅方向側端部位でワークの幅方向中央部位よりも大きく、そして、きめ細かに作用するため、搬出側調整領域においてワークの幅方向側端部位の浮上量とワークの幅方向中央部位の浮上量との差を小さくまたは無にしてワークの平坦度を向上させることができる。
さらに、ワークの平坦度を向上させた状態でコーティング層が変形することなくコーティング層を固化させながらコーティング処理後のワークを搬送することができる。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】本発明の実施例であるワーク浮上搬送装置を示す概略斜視図。

【図2】図１に示す符号２で視た平面図。

【図3】本発明の実施例である高精度浮上量領域プレートを示す平面図。

【図4】図３に示す符号４の箇所を示す拡大平面図。

【図5】（Ａ）はコーティング処理領域における本発明の効果を説明する搬送方向から視た概略断面図であり、（Ｂ）は比較例を示す概略断面図。

【図6】（Ａ）は搬出領域における本発明の効果を説明する搬送方向から視た概略断面図であり、（Ｂ）は比較例を示す概略断面図。

【発明を実施するための形態】

【0024】

本発明のワーク浮上搬送装置は、搬送路におけるコーティング処理領域の幅方向側端部位に配置されてワークの幅方向側端部位に対面する噴射口および吸引口の分布密度が、搬送路におけるコーティング処理領域の幅方向中央部位に配置されてワークの幅方向中央部位に対面する噴射口および吸引口の分布密度より密になっていることにより、ワークの幅方向側端部位における所定の浮上量が確保され、ワーク幅方向の全域に亘ってワークの平坦度を維持し、ワークの幅方向に亘って均一なコーティング処理を施すものであれば、その具体的な実施態様は、如何なるものであっても構わない。

【0025】

例えば、本発明における搬送路は、平坦であることが重要であり、この平坦な搬送路の加工精度が高ければ被搬送物のより安定した搬送状態が得られることは言うまでもない。
なお、本発明のワーク浮上搬送装置によって浮上搬送させるワークとしては、例えば、ガラス、プラスチック、金属などの素材からなる薄板状のものであり、特に好適なワークとしては、太陽電池用フラットパネルや携帯電話、液晶テレビ、パソコン用液晶モニターなどに用いる厚さ０．１乃至０．５ｍｍ程度のディスプレイ用ガラス基板である。

【実施例】

【0026】

以下に、本発明の実施例であるワーク浮上搬送装置について、図１乃至図６（Ｂ）に基づいて説明する。
ここで、図１は、本発明の実施例であるワーク浮上搬送装置を示す概略斜視図であり、図２は、図１に示す符号２で視た平面図であり、図３は、本発明の実施例である高精度浮上量領域プレートを示す平面図であり、図４は、図３に示す符号４の箇所を示す拡大平面図であり、図５（Ａ）は、コーティング処理領域における本発明の効果を説明する搬送方向から視た概略断面図であり、図５（Ｂ）は、比較例を示す概略断面図であり、図６（Ａ）は、搬出領域における本発明の効果を説明する搬送方向から視た概略断面図であり、図６（Ｂ）は、比較例を示す概略断面図である。

【0027】

本発明の実施例であるワーク浮上搬送装置１００は、図１および図２に示すように、ワークＷと、このワークＷの搬送路１００Ａとの間に介在する圧縮空気でワークＷを浮上させ、図示しない公知のワーク保持手段による搬送力で搬送するように構成されている。
例えば、ワーク保持手段は、搬送路上で浮上したワークＷの一部を吸引吸着して把持してワークＷを搬送方向下流側に搬送する。
なお、図１にワークＷの浮上方向Ｕ、幅方向Ｓ、搬送方向Ｃを示す。

【0028】

ワークＷの搬送路１００Ａは、搬入領域Ａ１と、この搬入領域Ａ１より下流側で浮上状態のワークＷにコーティング処理を施すコーティング処理領域Ａ２と、コーティング処理領域Ａ２より下流側の搬出領域Ａ３とで構成されている。
このうち、搬入領域Ａ１の搬送路１００Ａは、一例としてワークＷの搬送方向Ｃに対する幅方向Ｓに並べて配置された４本の搬入領域レール１１０で形成されている。
そして、搬入領域レール１１０には、ワークＷとの間に圧縮空気を噴射する複数の噴射口１１１と、大気と連通して搬送路１００ＡとワークＷとの間の圧縮空気を大気中へ開放する複数の大気排気穴１１２とが配置されている。

【0029】

搬送路１００Ａの搬送方向Ｃの中央部には、搬入領域Ａ１とコーティング処理領域Ａ２との間に配置される搬入側調整領域Ａ４、コーティング処理領域Ａ２およびコーティング処理領域Ａ２と搬出領域Ａ３との間に配置される搬出側調整領域Ａ５により搬送方向Ｃの上流側から下流側に向かって構成される高精度浮上量領域プレート１２０が設置されている。
高精度浮上量領域プレート１２０のコーティング処理領域Ａ２には、圧縮空気を噴射する複数の噴射口１２１と、圧縮空気を吸引する複数の吸引口１２３とが配置されている。
搬入側調整領域Ａ４および搬出側調整領域Ａ５には、複数の噴射口１２１と、複数の大気排気穴１２７とが配置されている。

【0030】

さらに、高精度浮上量領域プレート１２０の搬送方向下流側には、搬出領域Ａ３の搬送路１００Ａを形成する搬出領域プレート１３０が設置され、搬出領域プレート１３０には、複数の噴射口１３１と、複数の大気排気穴１３２とが配置されている。
搬入領域Ａ１では、第１浮上量でワークＷを浮上させ、コーティング処理領域Ａ２では、第１浮上量よりも小さい第２浮上量でワークＷを浮上させ、搬出領域Ａ３では、第２浮上量より大きい第３浮上量でワークＷを浮上させるように構成されている。

【0031】

なお、搬入側調整領域Ａ４では、ワークＷが搬送方向下流側へ進むことに従って、ワークＷの浮上量を第１浮上量から第２浮上量へ滑らかに変化させるように、複数の噴射口１２１と、複数の大気排気穴１２７とが配置されている。
同様に、搬出側調整領域Ａ５では、ワークＷが搬送方向下流側へ進むことに従って、ワークＷの浮上量を第２浮上量から第３浮上量へ滑らかに変化させるように、複数の噴射口１２１と、複数の大気排気穴１２７とが配置されている。
また、第３浮上量は、第１浮上量と同じでもよいし、異なる浮上量でもよい。

【0032】

そして、ワークＷが、搬入領域Ａ１からコーティング処理領域Ａ２を介して搬出領域Ａ３へ搬送される際、コーティング処理領域Ａ２に設置されたプロセスラインＰＬにおいて、図示しないコーティング手段によってワークＷの表面がコーティングされる。

【0033】

噴射口１２１は、噴射口１２１に給気圧を発生させる給気圧発生手段（図示せず）と連通されている。
また、吸引口１２３は、吸引口１２３に吸引圧を発生させる吸引圧発生手段（図示せず）と連通されている。

【0034】

図３に示すように、コーティング処理領域Ａ２は、プロセスラインＰＬの上流側第１列乃至下流側第１列を含むプロセスライン直下部分Ａ２ａ、プロセスラインＰＬの上流側第２列乃至第５列および下流側第２列乃至第５列を含むプロセスライン近傍部分Ａ２ｂ、プロセスラインＰＬの上流側第６列乃至第１７列および下流側第６列乃至第１７列を含むプロセスライン周辺部分Ａ２ｃから構成されている。
コーティング処理領域Ａ２のプロセスラインＰＬの上流側では、噴射口１２１および吸引口１２３が、市松模様状に交互に配置されている。

【0035】

また、コーティング処理領域Ａ２のプロセスラインＰＬの下流側でも、噴射口１２１および吸引口１２３が、市松模様状に交互に配置されている。
さらに、搬送方向Ｃにおける噴射口１２１および吸引口１２３の配置間隔が、プロセスライン直下部分Ａ２ａ、プロセスライン近傍部分Ａ２ｂ、プロセスライン周辺部分Ａ２ｃの順で広くなっている。
また、プロセスライン直下部分Ａ２ａ、プロセスライン近傍部分Ａ２ｂ、プロセスライン周辺部分Ａ２ｃのそれぞれにおいて、幅方向側端部位Ａ２ａｂ、Ａ２ｂｂ、Ａ２ｃｂにおける幅方向Ｓの噴射口１２１および吸引口１２３の配置間隔が、幅方向中央部位Ａ２ａａ、Ａ２ｂａ、Ａ２ｃａにおける幅方向Ｓの噴射口１２１および吸引口１２３の配置間隔より狭くなっている。

【0036】

具体的に、プロセスライン直下部分Ａ２ａの幅方向中央部位Ａ２ａａでは、幅方向Ｓにおいて、噴射口１２１および吸引口１２３が、所定間隔Ｌ１をあけて交互に配置され、搬送方向Ｃにおいて、噴射口１２１同士、吸引口１２３同士が、所定間隔Ｌ１より狭い所定間隔Ｌ２をあけて配置されている。
そして、プロセスライン直下部分Ａ２ａの幅方向側端部位Ａ２ａｂでは、幅方向Ｓにおいて、噴射口１２１および吸引口１２３が、所定間隔Ｌ１より狭く所定間隔Ｌ２より広い所定間隔Ｌ３をあけて配置され、搬送方向Ｃにおいて、噴射口１２１同士、吸引口１２３同士が、所定間隔Ｌ２をあけて配置されている。

【0037】

また、プロセスライン近傍部分Ａ２ｂの幅方向中央部位Ａ２ｂａでは、幅方向Ｓにおいて、噴射口１２１および吸引口１２３が、所定間隔Ｌ１をあけて交互に配置され、搬送方向Ｃにおいて、噴射口１２１および吸引口１２３が、所定間隔Ｌ３をあけて交互に配置されている。
そして、プロセスライン近傍部分Ａ２ｂの幅方向側端部位Ａ２ｂｂでは、幅方向Ｓにおいて、噴射口１２１および吸引口１２３が、所定間隔Ｌ１より狭い所定間隔Ｌ３をあけて配置され、搬送方向Ｃにおいて、噴射口１２１および吸引口１２３が、所定間隔Ｌ３をあけて交互に配置されている。

【0038】

さらに、プロセスライン周辺部分Ａ２ｃの幅方向中央部位Ａ２ｃａでは、幅方向Ｓにおいて、噴射口１２１および吸引口１２３が、基本的に所定間隔Ｌ１をあけて交互に配置され、搬送方向Ｃにおいて、噴射口１２１および吸引口１２３が、所定間隔Ｌ１をあけて交互に配置されている。
そして、プロセスライン周辺部分Ａ２ｃの幅方向側端部位Ａ２ｃｂでは、幅方向Ｓにおいて、噴射口１２１および吸引口１２３が、所定間隔Ｌ１より狭い所定間隔Ｌ３をあけて配置され、搬送方向Ｃにおいて、噴射口１２１および吸引口１２３が、所定間隔Ｌ１をあけて交互に配置されている。

【0039】

つまり、コーティング処理領域Ａ２の幅方向側端部位Ａ２ａｂ、Ａ２ｂｂ、Ａ２ｃｂに配置された噴射口１２１および吸引口１２３の分布密度が、コーティング処理領域Ａ２の幅方向中央部位Ａ２ａａ、Ａ２ｂａ、Ａ２ｃａに配置された噴射口１２１および吸引口１２３の分布密度より密になっている。
さらに、コーティング処理領域Ａ２の幅方向中央部位Ａ２ａａ、Ａ２ｂａ、Ａ２ｃａは、ワークＷの幅方向中央部位Ｗａと対面し、コーティング処理領域Ａ２の幅方向側端部位Ａ２ａｂ、Ａ２ｂｂ、Ａ２ｃｂは、ワークＷの幅方向側端部位Ｗｂと対面する。
これにより、プロセスライン直下部分Ａ２ａの幅方向ＳのワークＷの浮上状態を示す図５（Ａ）のように、ワークＷに作用する噴射口１２１からの噴射力および吸引口１２３からの吸引力がワークＷの幅方向側端部位Ｗｂで幅方向中央部位Ｗａよりも大きく、そして、きめ細かに作用してワークＷの幅方向側端部位Ｗｂの浮上量が安定してワークＷの幅方向側端部位Ｗｂの沈み込みが阻止される。

【0040】

なお、参考までに、図５（Ｂ）に比較例として、プロセスライン直下部分Ａ２ａの幅方向側端部位Ａ２ａｂに配置された噴射口５２１および吸引口５２３の分布密度が、コーティング処理領域Ａ２の幅方向中央部位Ａ２ａａに配置された噴射口５２１および吸引口５２３の分布密度と同じであるものを示す。
図５（Ｂ）に示すように、比較例のプレート５２０には、幅方向Ｓにおいて、噴射口５２１および吸引口５２３が、所定間隔をあけて配置されている。
そして、プロセスライン直下部分Ａ２ａの幅方向側端部位Ａ２ａｂに配置された噴射口５２１および吸引口５２３の分布密度が、プロセスライン直下部分Ａ２ａの幅方向中央部位Ａ２ａａに配置された噴射口５２１および吸引口５２３の分布密度と同じになっている。

【0041】

図５（Ａ）と図５（Ｂ）とを比べて明らかなように、比較例の図５（Ｂ）では、プレート５２０とワークＷとの間の圧縮空気がプレート５２０の両側方域からワークＷの外側へ逃げてコーティング処理領域Ａ２の幅方向側端部位Ａ２ａｂと対向するワークＷの幅方向側端部位Ｗｂが、コーティング処理領域Ａ２の幅方向中央部位Ａ２ａａと対向するワークＷの幅方向中央部位Ｗａよりも下がってワークＷの平坦度が低下するが、本実施例の図５（Ａ）では、ワークＷの幅方向側端部位Ｗｂにおける所定の浮上量が確保され、ワーク幅方向の全域に亘ってワークＷの平坦度が維持される。
そのため、コーティング処理を施したときにコーティング層Ｗ１が均一の厚みで形成される。
さらに、コーティング層Ｗ１の平坦度も維持される。

【0042】

なお、図５（Ａ）において、コーティング処理領域Ａ２のプロセスライン直下部分Ａ２ａの幅方向Ｓについて図示したが、コーティング処理領域Ａ２のプロセスライン近傍部分Ａ２ｂ、プロセスライン周辺部分Ａ２ｃについても、コーティング処理領域Ａ２の幅方向側端部位Ａ２ｂｂ、Ａ２ｃｂに配置された噴射口１２１および吸引口１２３の分布密度が、コーティング処理領域Ａ２の幅方向中央部位Ａ２ｂａ、Ａ２ｃａに配置された噴射口１２１および吸引口１２３の分布密度より密になっているため、プロセスライン直下部分Ａ２ａと同様の作用効果が得られる。

【0043】

また、本発明の実施例において、コーティング処理領域Ａ２それぞれの幅方向側端部位Ａ２ａｂ、Ａ２ｂｂ、Ａ２ｃｂにおける噴射口１２１の数と吸引口１２３の数との比率は、コーティング処理領域Ａ２それぞれの幅方向中央部位Ａ２ａａ、Ａ２ｂａ、Ａ２ｃａにおける噴射口１２１の数と吸引口１２３の数との比率と同じであることが好ましいが、同じでなくても適用可能である。
さらに、図３および図４に示すように、プロセスライン周辺部分Ａ２ｃの幅方向中央部位Ａ２ｃａにおける噴射口１２１および吸引口１２３が、市松模様状に交互に配置され、市松模様状の縦横２配列方向のうちの搬送方向Ｃに近い配列方向が、搬送方向Ｃに対して幅方向１ピッチである所定間隔Ｌ１以内で傾いている。

【0044】

これにより、プロセスライン周辺部分Ａ２ｃの幅方向側端部位Ａ２ｃｂの噴射口１２１および吸引口１２３の分布密度とプロセスライン周辺部分Ａ２ｃの幅方向中央部位Ａ２ｃａの噴射口１２１および吸引口１２３の分布密度との大小関係を維持したまま、噴射口１２１の配置分布が幅方向Ｓに分散されてワークＷが受ける給気温度エネルギーの分布も幅方向Ｓに分散される。
つまり、コーティング処理されたときの塗布ムラや乾燥ムラが幅方向Ｓにおいて小さくまたは無になってコーティング層Ｗ１の状態が幅方向Ｓで略均一になる。

【0045】

また、図３に示すように、搬入側調整領域Ａ４の幅方向側端部位Ａ４ｂの噴射口１２１の分布密度が、搬入側調整領域Ａ４の幅方向中央部位Ａ４ａの噴射口１２１の分布密度より密になっている。
これにより、搬入側調整領域Ａ４においてワークＷに作用する噴射口１２１からの噴射力がワークＷの幅方向中央部位Ｗａよりも下がろうとするワークＷの幅方向側端部位ＷｂでワークＷの幅方向中央部位Ｗａよりも大きくきめ細かに作用する。
つまり、搬入側調整領域Ａ４においてワークＷの幅方向側端部位Ｗｂの浮上量とワークＷの幅方向中央部位Ｗａの浮上量との差が小さくまたは無になってワークＷの平坦度が向上する。

【0046】

さらに、図３および図４に示すように、搬出側調整領域Ａ５についても、搬入側調整領域Ａ４と同様、幅方向側端部位Ａ５ｂの噴射口１２１の分布密度が、搬出側調整領域Ａ５の幅方向中央部位Ａ５ａの噴射口１２１の分布密度より密になっている。
これにより、ワークＷの平坦度が向上する。
さらに、ワークＷの平坦度を向上させた状態でコーティング層Ｗ１が変形することなくコーティング層Ｗ１を固化させながらコーティング処理後のワークＷが搬送される。

【0047】

また、図１および図２に示すように、搬出領域Ａ３の幅方向側端部位Ａ３ｂの噴射口１３１の分布密度が、搬出領域Ａ３の幅方向中央部位Ａ３ａの噴射口１３１の分布密度より密になっている。
さらに、搬出領域Ａ３の幅方向中央部位Ａ３ａは、ワークＷの幅方向中央部位Ｗａと対面し、搬出領域Ａ３の幅方向側端部位Ａ３ｂは、ワークＷの幅方向側端部位Ｗｂと対面する。

【0048】

これにより、図６（Ａ）に示すように、搬出領域Ａ３においてワークＷに作用する噴射口１３１からの噴射力がワークＷの幅方向中央部位Ｗａよりも下がろうとするワークＷの幅方向側端部位ＷｂでワークＷの幅方向中央部位Ｗａよりも大きくきめ細かに作用する。
つまり、搬出領域Ａ３においてワークＷの幅方向側端部位Ｗｂの浮上量とワークＷの幅方向中央部位Ｗａの浮上量との差が小さくまたは無になる。
さらに、ワークＷの平坦度を向上させた状態でコーティング層Ｗ１が変形することなくコーティング層Ｗ１を固化させながらコーティング処理後のワークＷが搬送される。

【0049】

なお、参考までに、図６（Ｂ）に比較例として、搬出領域Ａ３の幅方向側端部位Ａ３ｂに配置された噴射口５３１の分布密度が、搬出領域Ａ３の幅方向中央部位Ａ３ａに配置された噴射口５３１の分布密度と同じであるものを示す。
図６（Ｂ）に示すように、比較例のプレート５３０には、幅方向側端部位Ａ３ｂおよび幅方向中央部位Ａ３ａの幅方向Ｓにおいて、噴射口５３１が、所定間隔をあけて配置されている。
そして、搬出領域Ａ３の幅方向側端部位Ａ３ｂに配置された噴射口５３１の分布密度が、搬出領域Ａ３の幅方向中央部位Ａ３ａに配置された噴射口５３１の分布密度と同じになっている。

【0050】

図６（Ａ）と図６（Ｂ）とを比べて明らかなように、比較例の図６（Ｂ）では、プレート５３０とワークＷとの間の圧縮空気がプレート５３０の両側方域からワークＷの外側へ逃げて搬出領域Ａ３の幅方向側端部位Ａ３ｂと対向するワークＷの幅方向側端部位Ｗｂが、搬出領域Ａ３の幅方向中央部位Ａ３ａと対向するワークＷの幅方向中央部位Ｗａよりも下がってワークＷの平坦度が低下するが、本実施例の図６（Ａ）では、ワークＷの幅方向側端部位Ｗｂにおける所定の浮上量が確保され、ワーク幅方向の全域に亘ってワークＷの平坦度が維持される。
そのため、コーティング処理後にコーティング層Ｗ１が変形することがない。

【0051】

さらに、搬出領域Ａ３の幅方向中央部位Ａ３ａにおける噴射口１３１が、格子状に配列され、格子状の配列方向が、搬送方向Ｃに対して傾いている。
これにより、搬出領域Ａ３において噴射口１３１の配置分布が幅方向Ｓに分散されてワークＷが受ける給気温度エネルギーの分布も幅方向Ｓに分散される。
つまり、コーティング処理された後の乾燥ムラが幅方向Ｓにおいて小さくまたは無になってコーティング層Ｗ１の厚みなどが幅方向Ｓで略均一になる。

【0052】

このようにして得られた本発明の実施例であるワーク浮上搬送装置１００は、搬送路１００Ａにおけるコーティング処理領域Ａ２の幅方向側端部位Ａ２ａｂ、Ａ２ｂｂ、Ａ２ｃｂに配置された噴射口１２１および吸引口１２３の分布密度が、搬送路１００Ａにおけるコーティング処理領域Ａ２の幅方向中央部位Ａ２ａａ、Ａ２ｂａ、Ａ２ｃａに配置された噴射口１２１および吸引口１２３の分布密度より密になっていることにより、ワークＷの幅方向側端部位Ｗｂにおける所定の浮上量が確保され、ワーク幅方向の全域に亘ってワークＷの平坦度を維持し、ワークＷの幅方向に亘って均一なコーティング処理を施すことができる。

【0053】

さらに、コーティング処理領域Ａ２の幅方向側端部位Ａ２ａｂ、Ａ２ｂｂ、Ａ２ｃｂにおける噴射口１２１の数と吸引口１２３の数との比率が、コーティング処理領域Ａ２の幅方向中央部位Ａ２ａａ、Ａ２ｂａ、Ａ２ｃａにおける噴射口１２１の数と吸引口１２３の数との比率と同じに設けられていることにより、ワークＷの幅方向側端部位Ｗｂの浮上量とワークＷの幅方向中央部位Ｗａの浮上量との差を抑制することができる。

【0054】

また、コーティング処理領域Ａ２の幅方向中央部位Ａ２ｃａにおける噴射口１２１および吸引口１２３が、市松模様状に交互に配置され、この市松模様状の縦横２配列方向のうちの搬送方向Ｃに近い配列方向が、搬送方向Ｃに対して幅方向１ピッチ以内で傾いていることにより、コーティング処理されたときの塗布ムラや乾燥ムラを幅方向Ｓにおいて小さくまたは無にしてコーティング層Ｗ１の状態を幅方向Ｓで略均一にすることができるなど、その効果は甚大である。

【符号の説明】

【0055】

１００ ・・・ ワーク浮上搬送装置
１００Ａ・・・ 搬送路
１１０ ・・・ 搬入領域レール
１１１ ・・・ 噴射口
１１２ ・・・ 大気排気穴
１２０ ・・・ 高精度浮上量領域プレート
１２１ ・・・ 噴射口
１２３ ・・・ 吸引口
１２７ ・・・ 大気排気穴
１３０ ・・・ 搬出領域プレート
１３１ ・・・ 噴射口
１３２ ・・・ 大気排気穴
Ａ１ ・・・ 搬入領域
Ａ２ ・・・ コーティング処理領域
Ａ２ａ ・・・ プロセスライン直下部分
Ａ２ａａ・・・ （プロセスライン直下部分のさらに）幅方向中央部位
Ａ２ａｂ・・・ （プロセスライン直下部分のさらに）幅方向側端部位
Ａ２ｂ ・・・ プロセスライン近傍部分
Ａ２ｂａ・・・ （プロセスライン近傍部分のさらに）幅方向中央部位
Ａ２ｂｂ・・・ （プロセスライン近傍部分のさらに）幅方向側端部位
Ａ２ｃ ・・・ プロセスライン周辺部分
Ａ２ｃａ・・・ （プロセスライン周辺部分のさらに）幅方向中央部位
Ａ２ｃｂ・・・ （プロセスライン周辺部分のさらに）幅方向側端部位
Ａ３ ・・・ 搬出領域
Ａ３ａ ・・・ （搬出領域の）幅方向中央部位
Ａ３ｂ ・・・ （搬出領域の）幅方向側端部位）
Ａ４ ・・・ 搬入側調整領域
Ａ４ａ ・・・ （搬入側調整領域の）幅方向中央部位
Ａ４ｂ ・・・ （搬入側調整領域の）幅方向側端部位
Ａ５ ・・・ 搬出側調整領域
Ａ５ａ ・・・ （搬出側調整領域の）幅方向中央部位
Ａ５ｂ ・・・ （搬出側調整領域の）幅方向側端部位
Ｗ ・・・ ワーク
Ｗａ ・・・ （ワークの）幅方向中央部位
Ｗｂ ・・・ （ワークの）幅方向側端部位
Ｗ１ ・・・ コーティング層
ＰＬ ・・・ プロセスライン
Ｃ ・・・ 搬送方向
Ｓ ・・・ 幅方向
Ｕ ・・・ 浮上方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】