特開 2017-37945 収納容器の蓋体及び収納容器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2017-37945(P2017-37945A)

(43)【公開日】2017年2月16日

(54)【発明の名称】収納容器の蓋体及び収納容器

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20170127BHJP

   B65D 55/02 20060101ALI20170127BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 T

   B65D55/02

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】25

(21)【出願番号】特願2015-157782(P2015-157782)

(22)【出願日】2015年8月7日

(71)【出願人】

【識別番号】000002059

【氏名又は名称】シンフォニアテクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001841

【氏名又は名称】特許業務法人梶・須原特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】河合 俊宏

(72)【発明者】

【氏名】谷山 育志

(72)【発明者】

【氏名】小宮 宗一

(72)【発明者】

【氏名】重田 貴司

【テーマコード（参考）】

3E084

5F131

【Ｆターム（参考）】

3E084CA03

3E084DA03

3E084GB23

5F131AA02

5F131CA01

5F131CA15

5F131GA14

5F131GA83

5F131GA84

5F131GA88

5F131GA92

5F131HA29

5F131JA04

5F131JA08

5F131JA15

5F131JA16

5F131JA20

5F131JA24

5F131JA26

5F131JA27

5F131JA33

(57)【要約】

【課題】蓋体の内部空間から酸素及び水分等が漏出することを抑止する。
【解決手段】ＦＯＵＰ１は容器本体２と蓋体３とを有している。蓋体３の内部空間Ｓｃには錠装置４が配置されている。蓋体３の第１蓋部２０には、枠２Ａの第１右溝２ｐに対向する位置に第１右貫通孔２０ｐが形成されている。第１右貫通孔２０ｐには、上ロックプレート４１の上端部４１ａが配置されている。上端部４１ａと第１蓋部２０の内周面（第１右貫通孔２０ｐの周面）との間には、シール部材８０が配置されている。蓋体３の第２蓋部３０には、本体右開口３１が形成されている。本体右開口３１には、ディスク板４０が配置されている。ディスク板４０と第２蓋部３０の内周面（本体右開口３１の周面）との間には、シール部材５０が配置されている。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

収納容器の容器本体の枠に囲まれた前面開口部に配置される蓋体であり、
内部空間を有し、前記枠に形成された溝に対向する位置に貫通孔が形成された本体部と、
前記本体部の内部空間に配置され、前記貫通孔を通過して前記溝内に移動可能な先端部を有する移動体と、
前記本体部に形成された本体開口に配置され、前記移動体を移動させる駆動部材と、
前記移動体と前記貫通孔の周面との間に配置された第１シール部材と、
前記駆動部材と前記本体開口の周面との間に配置された第２シール部材とを備えていることを特徴とする収納容器の蓋体。

【請求項2】

前記本体部は、前記貫通孔が形成された第１蓋部と、前記本体開口が形成された第２蓋部とを有し、
前記第１蓋部と前記第２蓋部との間に第３シール部材が配置されていることを特徴とする請求項１に記載の収納容器の蓋体。

【請求項3】

前記移動体、前記本体部に形成された前記貫通孔及び前記第１シール部材が、前記駆動部材の両側に配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の収納容器の蓋体。

【請求項4】

前記駆動部材は磁性体を有しており、
非接触駆動部材を前記駆動部材に近付けることにより、前記駆動部材が回転することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の収納容器の蓋体。

【請求項5】

請求項１〜４のいずれか１項に記載の蓋体と、前記蓋体が配置される前面開口部が形成された容器本体とを備えていることを特徴とする収納容器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ウェーハが収納される収納容器と、収納容器の蓋体に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、基板としてのウェーハに対し種々の処理工程が施されることにより半導体の製造がなされてきている。近年では素子の高集積化や回路の微細化がますます進められており、ウェーハ表面へのパーティクルや水分の付着が生じないように、ウェーハ周辺を高いクリーン度に維持することが求められている。さらに、ウェーハ表面が酸化するなど表面の性状が変化することがないよう、ウェーハ周辺を不活性ガスである窒素雰囲気としたり、真空状態としたりすることも行われている。

【0003】

こうしたウェーハ周辺の雰囲気を適切に維持するために、ウェーハは、ＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）と呼ばれる密閉式の格納ポッドの内部に入れて管理される。さらに、ウェーハに処理を行う処理装置と、ＦＯＵＰとの間でウェーハの受け渡しを行うために、ＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）が利用されている（特許文献１参照）。ＥＦＥＭは、筐体の内部で略閉止されたウェーハ搬送室を構成するとともに、その対向壁面の一方にＦＯＵＰとの間でのインターフェース部として機能するロードポート（Load Port）を備えるとともに、他方に処理装置の一部であるロードロック室が接続される。ウェーハ搬送室内には、ウェーハを搬送するためのウェーハ搬送装置が設けられており、このウェーハ搬送装置を用いて、ロードポートに接続されるＦＯＵＰとロードロック室との間でウェーハの出し入れが行われる。現在、実用化されているウェーハ搬送室では（以下、「大気ＥＦＥＭ」）、通常、工場内のクリーンルーム内の大気を、搬送室上部に配置したファンフィルタユニットにより清浄化し、搬送室上部から下部へ吹き流す、いわゆるダウンフローを常に流している。

【0004】

近年、ウェーハの品質を向上させるため、ＦＯＵＰ内に不活性ガスを充填した状態で、ＦＯＵＰ内のウェーハを、ウェーハ搬送装置（ロボット）を使用してウェーハ搬送室に搬送している。さらに、ウェーハの最先端プロセスにおいては、ダウンフローとして用いている清浄な大気に含まれる酸素や水分などですら、ウェーハの性状を変化させるおそれがあることから、特許文献１のように、不活性ガスを循環させるＥＦＥＭ（以下、不活性ガスＥＦＥＭ）の実用化が求められている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１４―１１２６３１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

従来の「大気ＥＦＥＭ」では、ロードポート上に載置されたＦＯＵＰから、ＥＦＥＭ、処理装置に至るウェーハ搬送経路において、ＦＯＵＰ内のみを不活性ガス環境にしておけばよかった。このため、ＦＯＵＰの構造の密閉性は、単に、ＦＯＵＰ内に外気が入らないようにＦＯＵＰ（本体）とＦＯＵＰの蓋部との間など、外気が出入りする経路の密閉性を担保すればよかった。

【0007】

しかしながら、「不活性ガスＥＦＥＭ」においては、ＦＯＵＰおよびＥＦＥＭ内に要求される酸素濃度がＰＰＭオーダー、湿度が数％以下を維持することが求められる。そこで、上記ＦＯＵＰを「不活性ガスＥＦＥＭ」に使用して実験を試みたところ、ロードポートとＦＯＵＰとの間をシール部材でシールした状態でＦＯＵＰの蓋のラッチを解除してドア部を開放した際、特にＦＯＵＰ内の酸素濃度、および湿度が一時的に増加する現象が確認された。この現象は、従来の大気ＥＦＥＭではそもそも問題とならないレベルである。しかし、特に最先端プロセスに用いられる不活性ガスＥＦＥＭではウェーハ表面が酸化・腐食するなど性状が変化し、ウェーハの品質が低下するおそれがある。

【0008】

この原因について本発明者らが調べたところ、ＦＯＵＰの蓋体に形成された内部空間から酸素、水分およびパーティクルなどウェーハの性状を変化させる不純物が漏出することが原因であることがわかった。

【0009】

そこで、本発明の目的は、ＦＯＵＰの蓋体を開放した際に、蓋体の内部空間から酸素や水分等が漏出することを抑止することができるＦＯＵＰ蓋体を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の収納容器の蓋体は、収納容器の容器本体の枠に囲まれた前面開口部に配置される蓋体であり、内部空間を有し、前記枠に形成された溝に対向する位置に貫通孔が形成された本体部と、前記本体部の内部空間に配置され、前記貫通孔を通過して前記溝内に移動可能な先端部を有する移動体と、前記本体部に形成された本体開口に配置され、前記移動体を移動させる駆動部材と、前記移動体と前記貫通孔の周面との間に配置された第１シール部材と、前記駆動部材と前記本体開口の周面との間に配置された第２シール部材とを備えている。

【0011】

収納容器（ＦＯＵＰ）の蓋体には、移動体が出入りする貫通孔と、移動体を駆動する駆動部材が配置される本体開口とが形成されている。本発明者らは、上記貫通孔の周面と移動体との隙間、及び本体開口周面と駆動部材との隙間から酸素や水分等が漏出するという知見を得た。上記構成では、貫通孔周面と移動体との間に第１シール部材を配置してこれらを密閉するとともに、本体開口周面と駆動部材との間に第２シール部材を配置してこれらを密閉している。これにより、蓋体の内部空間から酸素や水分等が漏出することを抑止できるため、ウェーハの品質を従来より向上させることができる。

【0012】

また、上記構成において、前記本体部は、前記貫通孔が形成された第１蓋部と、前記本体開口が形成された第２蓋部とを有し、前記第１蓋部と前記第２蓋部との間に第３シール部材が配置されていることが好ましい。

【0013】

上記構成では、本体部を構成する第１蓋部と第２蓋部との間に第３シール部材が配置されている。これにより第１蓋部と第２蓋部が密封されるため、第１蓋部と第２蓋部との間に形成された蓋体の内部空間から酸素や水分等が漏出することを抑止できる。これにより、ウェーハの品質をより向上させることができる。また、蓋体を製造する際、第１蓋部の貫通孔に移動体の先端部を配置し、第２蓋部の本体開口に駆動部材配置した状態で、第１蓋部と第２蓋部を、第３シール部材を介して対向させるとよいため、蓋体を簡易に組み立てることができる。

【0014】

また、上記構成において、前記移動体、前記本体部に形成された前記貫通孔及び前記第１シール部材が、前記駆動部材の両側に配置されていることが好ましい。

【0015】

上記構成では、蓋体において駆動部材の両側に移動体が出入りする貫通孔が形成されており、駆動部材の両側において貫通孔周面と移動体との間に第１シール部材を配置してこれらの間を密封している。これにより、駆動部材の両側において、蓋体の内部空間から酸素や水分等が漏出することを確実に抑止できる。

【0016】

また、上記構成において、前記駆動部材は磁性体を有しており、非接触駆動部材を前記駆動部材に近付けることにより、前記駆動部材が回転することが好ましい。

【0017】

上記構成では、非接触駆動部材を駆動部材に近付けると駆動部材が回転することにより蓋体を解錠又は施錠することができ、蓋体を解錠させる過程及び蓋体を施錠させる過程において、非接触駆動部材と駆動部材とが擦れ合わない。したがって非接触駆動部材と駆動部材とが擦れ合うことで発生するパーティクルが生じないため、ウェーハの品質をより向上させることができる。

【0018】

本発明の収納容器は、上述した蓋体と、前記蓋体が配置される前面開口部が形成された容器本体とを備えていることが好ましい。

【0019】

上記構成では、蓋体の内部空間から酸素や水分等が漏出することを抑止できるため、ウェーハの品質を従来より向上させることができる。

【発明の効果】

【0020】

本発明では、蓋体の内部空間から酸素や水分等が漏出することを抑止できる。これにより、ウェーハの品質を従来より向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】ＦＯＵＰの斜視図である。

【図2】（ａ）はＦＯＵＰの断面図（図１のIIa−IIa線に沿った断面図）であり、（ｂ）は（ａ）の一点鎖線で囲んだ部分の拡大図である。

【図3】（ａ）はＦＯＵＰの本体右開口周辺の断面図（図２(ａ)のIII−III線に沿った断面図）であり、（ｂ）はＦＯＵＰの本体左開口周辺の断面図である。

【図4】ＦＯＵＰの正面図において、一部（図中の左部）を断面で示した図である。

【図5】（ａ）は図２（ａ）のVa−Va線に沿った断面図であり、（ｂ）は図２（ａ）のVb−Vb線に沿った断面図である。

【図6】ＦＯＵＰの蓋体とＥＦＥＭのドア部の斜視図である。

【図7】（ａ）及び（ｂ）は鍵部材を解錠する過程における平行リンク機構及びその周辺の動作を示す模式図である。

【図8】（ａ）及び（ｂ）は鍵部材を解錠する過程におけるディスク板及びその周辺の動作を示す模式図である。

【図9】（ａ）及び（ｂ）は鍵部材を解錠する過程における上ロックプレート及び下ロックプレートの動作を示す断面図である。

【図10】（ａ）は第２実施形態のＦＯＵＰの断面図であり、（ｂ）は（ａ）の一点鎖線で囲んだ部分の拡大図である。

【図11】変形例１のＦＯＵＰの断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しつつ説明する。

【0023】

〔第１実施形態〕
ＦＯＵＰ（収納容器）１は、図１に示すように、容器本体２と蓋体３とを備えている。容器本体２の前面部には、枠２Ａと、枠２Ａに囲まれた前面開口部２ａとが形成されている。前面開口部２ａには、蓋体３が配置されている。枠２Ａと蓋体３との間には、図２に示すように、シール部材１０が配置されている。シール部材１０により、枠２Ａと蓋体３とが密封される。シール部材１０には、例えばＯリングを用いることができる。

【0024】

蓋体３は、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、容器本体２の内部空間Ｓｆに対向して配置される第１蓋部２０と、第１蓋部２０に対向して配置された第２蓋部３０とを有している。第１蓋部２０及び第２蓋部３０は蓋体３の本体部を構成し、第１蓋部２０及び第２蓋部３０により蓋体３に内部空間Ｓｃが形成されている（図２(ｂ)）。第１蓋部２０と第２蓋部３０はシール部材（第３シール部材）１１を介して当接している。シール部材１１は、図２（ｂ）に示すように、第１蓋部２０の縁部２０ｘの内側において周回し、第１蓋部２０と第２蓋部３０との間に配置されている。シール部材１１により、第１蓋部２０と第２蓋部３０とが密封されている。シール部材１１には、Ｏリング等を用いることができる。

【0025】

第１蓋部２０の縁部２０ｘは、第１蓋部２０の前面部に形成され、外側に拡径している。縁部２０ｘに囲まれた開口には、第２蓋部３０が配置されている。縁部２０ｘは、容器本体２の枠２Ａの前面部に形成された溝２ｘに配置されている。縁部２０ｘと枠２Ａとの間には、容器本体２と蓋体３とを密封するシール部材１０が配置されている。シール部材１０は、縁部２０ｘに沿って周回するように配置されている。また、シール部材１０は、後述する錠装置４の上ロックプレート（移動体）４１及び下ロックプレート（移動体）４２の前方に配置されている。ＦＯＵＰ１を前方からみたとき、蓋体３の前面には、第１蓋部２０の縁部２０ｘと第２蓋部３０が露出している。

【0026】

第１蓋部２０と第２蓋部３０との間の空間（内部空間）Ｓｃには、錠装置４が配置されている。錠装置４は、図１に示すように、蓋体３の中央を挟んで左右両側に配置されている。錠装置４は、円板状のディスク板（駆動部材）４０と、ディスク板４０の上下両側に配置された上ロックプレート（移動体）４１及び下ロックプレート（移動体）４２とを有している。

【0027】

ディスク板４０は、蓋体３に形成された本体右開口（本体開口）３１及び本体左開口（本体開口）３２に配置されている。本体右開口３１及び本体左開口３２は、蓋体３の第２蓋部３０に形成され（図２(ａ)参照）、第２蓋部３０の中央付近の高さにおいて左右両側に形成されている。

【0028】

本体右開口３１側では、図３（ａ）に示すように、ディスク板４０と第２蓋部３０の内側面（本体右開口３１の周面）との間に、シール部材（第２シール部材）５０が配置されている（図２(ａ)）。また、本体左開口３２側でも、図３（ｂ）に示すように、ディスク板４０と第２蓋部３０の内側面（本体左開口３２の周面）との間に、シール部材６０が配置されている。シール部材５０及びシール部材６０により、第２蓋部３０とディスク板４０との間が密封される。シール部材５０及びシール部材６０には、例えばＯリングを用いることができる。

【0029】

図４には、図中右側にＦＯＵＰ１の正面図を示し、左側にＦＯＵＰ１の断面図を示している。ディスク板４０には、上溝カム４０ａ及び下溝カム４０ｂが周方向に形成されている。上溝カム４０ａは、ディスク板４０の中心の上方から図中の右回りに約９０°に亘って形成されている。下溝カム４０ｂは、ディスク板４０の中心の下方から図中の右回りに約９０°に亘って形成されている。上溝カム４０ａの径及び下溝カム４０ｂの径は右回りに進むほど小さい。

【0030】

上溝カム４０ａには、上連結ピン４３が配置されている。上連結ピン４３は、上ロックプレート４１の下端部に取り付けられている。下溝カム４０ｂには、下連結ピン４４が配置されている。下連結ピン４４は、下ロックプレート４２の上端部に取り付けられている。

【0031】

容器本体２の枠２Ａには、上枠部に第１右溝２ｐ及び第１左溝２ｑが形成され、下枠に第２右溝２ｒ及び第２左溝２ｓが形成されている。枠２Ａに対向して配置された蓋体３には、第１右溝２ｐに対向する位置に第１右貫通孔２０ｐが形成され、第１左溝２ｑに対向する位置に第１左貫通孔２０ｑが形成され、第２右溝２ｒに対向する位置に第２右貫通孔２０ｒが形成され、第２左溝２ｓに対向する位置に第２左貫通孔２０ｓが形成されている。第１右貫通孔２０ｐ、第１左貫通孔２０ｑ、第２右貫通孔２０ｒ、及び第２左貫通孔２０ｓは、蓋体３の第１蓋部２０に形成されている（図２(ａ)及び図２(ｂ)参照）。

【0032】

錠装置４の施錠時は、図４の右側において、上ロックプレート４１の上端部（先端部）４１ａが第１右貫通孔２０ｐ及び第１右溝２ｐに配置され、下ロックプレート４２の下端部（先端部）４２ａが第２右貫通孔２０ｒ及び第２右溝２ｒに配置されている（図２(ａ)及び図２(ｂ)参照）。図４の左側では、上ロックプレート４１の上端部（先端部）４１ａが第１左貫通孔２０ｑ及び第１左溝２ｑに配置され、下ロックプレート４２の下端部（先端部）１３２ａが第２左貫通孔２０ｓ及び第２左溝２ｓに配置されている。

【0033】

図４の右側において、蓋体３の第１右貫通孔２０ｐでは、上ロックプレート４１の上端部４１ａと蓋体３（第１蓋部２０）の内周面（第１右貫通孔２０ｐの周面）との間に、シール部材（第１シール部材）８０が配置されている（図２(ａ)及び図２(ｂ)参照）。シール部材８０により、図５（ａ）に示すように、第１蓋部２０と上ロックプレート４１の上端部４１ａとが密封される。

【0034】

図４に戻って、蓋体３の第２右貫通孔２０ｒでは、下ロックプレート４２の下端部４２ａと蓋体３（第１蓋部２０）の内周面（第２右貫通孔２０ｒの周面）との間には、シール部材（第１シール部材）９０が配置されている（図２(ａ)参照）。シール部材９０により、図５（ｂ）に示すように、第１蓋部２０と下ロックプレート４２の下端部４２ａとが密封される。シール部材８０及びシール部材９０には、例えばＯリングを用いることができる。

【0035】

また、図４の左側においても、上ロックプレート４１の上端部４１ａと蓋体３（第１蓋部２０）の内周面（第１左貫通孔２０ｑの周面）との間に図示しないシール部材（第１シール部）が配置され、下ロックプレート４２の下端部４２ａと蓋体３（第１蓋部２０）の内周面（第２左貫通孔２０ｓの周面）との間に図示しないシール部材（第１シール部材）が配置されている。

【0036】

上記構成により、蓋体３の第１蓋部２０と上ロックプレート４１の上端部４１ａとが密封され、蓋体３の第１蓋部２０と下ロックプレート４２の下端部４２ａとが密封されている。

【0037】

図６に示すように、ＦＯＵＰ１は、蓋体３がＥＦＥＭのドア部１００に対向するように配置される。蓋体３の本体右開口３１及び本体左開口３２からは、ディスク板４０に形成された錠穴４０Ａがみえる。錠穴４０Ａは、ＦＯＵＰ１を前方からみたとき、長方形に形成され、錠装置４の施錠時に横長状に配置される。図４では、錠装置４の施錠時を図示している。錠穴４０Ａには、ＥＦＥＭのドア部１００から後方に突出した右鍵部材１０１及び左鍵部材１０２が嵌まる。

【0038】

ドア部１００の前面部には、右鍵部材１０１及び左鍵部材１０２に接続された平行リンク機構１２０と、平行リンク機構１２０の下方に流体圧シリンダ１３０及びロッド１４０とが配置されている。ロッド１４０は、流体圧シリンダ１３０内を軸方向に移動する。流体圧シリンダ１３０に供給する流体として、窒素、大気等を用いることが好ましい。

【0039】

右鍵部材１０１及び左鍵部材１０２は、先端部に、錠穴４０Ａよりやや小さい直方体状の鍵部を有している。

【0040】

平行リンク機構１２０は、右リンク板１２１と、左リンク板１２２と、右リンク板１２１及び左リンク板１２２をほぼ平行な状態で連結した連結板１２３とを有している。右リンク板１２１は、右回転軸１１１を介して右鍵部材１０１に接続されている。左リンク板１２２は、左回転軸１１２を介して左鍵部材１０２に接続されている。

【0041】

流体圧シリンダ１３０及びロッド１４０は、左右方向に平行に配置されている。流体圧シリンダ１３０の後端部は、支点ピン１３１によってドア部１００に固定されている。ロッド１４０の先端部は、連結ブロック１４１によって連結板１２３に接続されている。

【0042】

ロッド１４０が流体圧シリンダ１３０内を軸方向に移動することにより、連結板１２３が左右方向に平行な状態を維持しながら回転するとともに、右リンク板１２１及び左リンク板１２２が右回転軸１１１及び左回転軸１１２を中心に回転する。これに伴い、右鍵部材１０１及び左鍵部材１０２が回転する。

【0043】

ここで、右鍵部材１０１及び左鍵部材１０２により錠装置４を解錠する過程を、図７〜図９を参照しつつ説明する。図７（ａ）、図８（ａ）及び図９（ａ）は施錠時の状態を示し、図７（ｂ）、図８（ｂ）及び図９（ｂ）は解錠時の状態を示している。

【0044】

施錠時は、図７（ａ）に示すように、ロッド１４０が流体圧シリンダ１３０内に配置されている。右鍵部材１０１及び左鍵部材１０２は横長状に配置されている。また、図８（ａ）に示すように、錠装置４では、上連結ピン４３が、上溝カム４０ａの径が最も大きい部分（半径Ｒの部分）に配置され、下連結ピン４４が、下溝カム４０ｂの径が最も大きい部分に配置されている。

【0045】

解錠するときは、図９（ａ）に示すように、ＦＯＵＰ１の蓋体３に右鍵部材１０１を嵌める。そして、図７（ａ）に示す状態から流体圧シリンダ１３０に空気を供給すると、図７（ｂ）に示すように、ロッド１４０が流体圧シリンダ１３０から押し出される。これに伴い、連結板１２３が回転するとともに、右リンク板１２１及び左リンク板１２２が図中左回転する。これに連動して右鍵部材１０１及び左鍵部材１０２が回転する。これにより、右鍵部材１０１及び左鍵部材１０２が縦長状に配置される。

【0046】

右鍵部材１０１及び左鍵部材１０２の回転にともなって、図２２（ｂ）に示すように、ディスク板４０が図中左回転し、上連結ピン４３は上溝カム４０ａの径が最も小さい部分（半径Ｒ₁の部分）に配置されるとともに、下連結ピン４４は下溝カム４０ｂの径が最も小さい部分に配置される。これに伴い、上ロックプレート４１が下方へ移動し、下ロックプレート４２が上方へ移動する。

【0047】

これにより、図９（ａ）に示すように、上ロックプレート４１の上端部４１ａが容器本体２の第１右溝２ｐに配置されないようになるとともに、下ロックプレート４２の下端部４２ａが容器本体２の第２右溝２ｒに配置されないようになる。これにより、錠装置４が解錠される。

【0048】

錠装置４を施錠するときは、図７（ｂ）に示す状態から流体圧シリンダ１３０内の空気を排気する。これにより、各部材が上述した動作と逆の動作を行う。これにより、図９（ａ）に示すように、上ロックプレート４１の上端部４１ａが第１右溝２ｐに配置されるとともに、下ロックプレート４２の下端部４２ａが第２右溝２ｒに配置されて錠装置４が施錠される。

【0049】

以上に述べたように、本実施形態によると以下の効果を奏する。
ＦＯＵＰ１の蓋体３において、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、上ロックプレート４１の上端部４１ａと第１蓋部２０の内周面（第１右貫通孔２０ｐの周面）との間にシール部材（第１シール部材）８０が配置され、下ロックプレート４２の下端部４２ａと第１蓋部２０の内周面（第２右貫通孔２０ｒの周面）との間にシール部材（第１シール部材）９０が配置されている。また、ディスク板４０と第２蓋部３０の内周面（本体右開口３１の周面）との間に、シール部材５０が配置されている。
さらに、ＦＯＵＰ１の蓋体３の左側においても、上ロックプレート４１の上端部４１ａと第１蓋部２０の内周面（第１左貫通孔２０ｑの周面）との間にシール部材（第１シール部材）が配置され、下ロックプレート４２の下端部４２ａと第１蓋部２０の内周面（第２左貫通孔２０ｓの周面）との間にシール部材（第１シール部材）が配置されている。また、ディスク板４０と第２蓋部３０の内周面（本体右開口３１の周面）との間に、シール部材６０が配置されている（図３(ｂ)参照）。
これにより蓋体３の第１蓋部２０と錠装置４とが密封されるとともに、蓋体３の第２蓋部３０と錠装置４とが密封されるため、蓋体３の内部空間Ｓｆから酸素や水分等が漏出することを抑止できる。したがって、ウェーハの品質を従来より向上させることができる。
例えば最先端プロセスへの実用化が望まれている不活性ガスＥＦＥＭ（不活性ガスを循環させるＥＦＥＭ）では、ＰＰＭオーダーで存在する酸素や数％以下の湿度でも、ウェーハ表面が酸化・腐食するなどして性状が変化するおそれがあるが、本実施形態の蓋体３を有するＦＯＵＰ１を用いると、常時、蓋体３の内部空間Ｓｆから酸素や水分等が漏出すること抑止できる。したがって、従来問題となっていた蓋体３を開放した際にも、酸素や水分等が漏出すること抑止できる。よって、高品質のウェーハを製造することができる。

【0050】

また、蓋体３の本体部を構成する第１蓋部２０と第２蓋部３０との間にシール部材（第３シール部材）１１が配置されていることにより、第１蓋部２０と第２蓋部３０が密封されるため、第１蓋部２０と第２蓋部３０との間に形成された内部空間Ｓｆから酸素や水分等が漏出することを抑止できる。これによりウェーハの品質をより向上させることができる。
また、蓋体３を組み立てる際、第１蓋部２０の貫通孔（２０ｐ,２０ｑ,２０ｒ,２０ｓ）に上ロックプレート４１の上端部４１ａ及び下ロックプレート４２の下端部４２ａを配置し、第２蓋部３０の本体右開口３１及び本体左開口３２にディスク板４０を配置した状態で、第１蓋部２０と第２蓋部３０を、シール部材１１を介して対向させるとよいため、蓋体３を簡易に組み立てることができる。

【0051】

また、ディスク板４０の上下両側で、図２（ａ）に示すようにロックプレート（上ロックプレート４１、下ロックプレート４２）と第１蓋部２０の内周面（第１右貫通孔２０ｐの周面、第２右貫通孔２０ｒの周面）との間に第１シール部材（シール部材８０,９０）を配置し、ロックプレートと第１蓋部２０を密封している。これにより、ディスク板４０の上下両側において、蓋体３の内部空間Ｓｆから酸素や水分等が漏出することを確実に抑止できる。

【0052】

〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態について、図１０を参照しつつ説明する。第２実施形態において第１実施形態と異なる点は、容器本体２０２と蓋体２０３とを密封するシール部材２１０の位置である。なお、上述した第１実施形態と同一の構成については同一の符号を用い、その説明を適宜省略する。

【0053】

ＦＯＵＰ２０１は、容器本体２０２と蓋体２０３とを備えている。蓋体２０３は、容器本体２０２の内部空間Ｓｆに対向して配置された第１蓋部２０と、第１蓋部２０に対向して配置された第２蓋部２３０とを有している。第２蓋部２３０は、第１蓋部２０の前方に配置され、第１蓋部２０の先端面とシール部材（第３シール部材）１１を介して当接している。第１蓋部２０と第２蓋部２３０は、容器本体２０２の枠２０２Ａの内側面に沿って配置されている。

【0054】

第１蓋部２０と容器本体２０２との間には、これらを密封するシール部材２１０が配置されている。シール部材２１０は、錠装置４の上ロックプレート（移動体）４１及び下ロックプレート（移動体）１３２の後方に配置されている。

【0055】

上記構成から、第２実施形態でも、第１実施形態と同様に、蓋体２０３の内部空間Ｓｆから酸素や水分等が漏出することを抑止できる。これにより、ウェーハの品質を従来より向上させることができる。

【0056】

〔変形例１〕
次に、本発明の第２実施形態の変形例について、図１１を参照しつつ説明する。変形例において第２実施形態と異なる点は、i)錠装置４の構成と、ii)錠装置４を解錠及び施錠する鍵部材４００の構成である。なお、上述した第２実施形態と同一の構成については同一の符号を用い、その説明を適宜省略する。

【0057】

ディスク板４０の錠穴４０Ａには、Ｎ極とＳ極とを有する磁石３００が配置されている。錠装置４の施錠時は、例えば、Ｎ極が上に配置され、Ｓ極が下に配置される。

【0058】

鍵部材（非接触駆動部材）４００は、Ｎ極とＳ極とを有する磁石である。

【0059】

鍵部材４００のＮ極とＳ極を磁石３００のＮ極とＳ極に対向させながら、鍵部材４００を磁石３００に近付けると、磁石３００のＮ極と鍵部材４００のＮ極が反発するとともに、磁石３００のＳ極と鍵部材４００のＳ極が反発することにより、ディスク板４０が回転し、錠装置４が解錠する。また、磁石３００は、Ｎ極とＳ極が左右方向に並んで配置された状態となる。

【0060】

錠装置４を施錠するときは、鍵部材４００のＮ極とＳ極を磁石３００のＮ極とＳ極に対向させながら、鍵部材４００を磁石３００に近付ける。これにより、磁石３００のＮ極と鍵部材４００のＮ極が反発するとともに、磁石３００のＳ極と鍵部材４００のＳ極が反発することにより、ディスク板４０が回転して錠装置４が施錠される。

【0061】

変形例１でも、第２実施形態と同様に、蓋体２０３の内部空間Ｓｆから酸素や水分等が漏出することを抑止できる。これにより、ウェーハの品質を従来より向上させることができる。

【0062】

また、鍵部材４００と錠装置４とを接触させることなく、錠装置４を解錠及び施錠できるため、鍵部材４００と錠装置４とが擦れ合うことにより発生するパーティクルが生じない。したがって、ウェーハの品質をより向上させることができる。

【0063】

なお、変形例１では磁石３００及び鍵部材４００にＮ極とＳ極を有する磁石を用いたが、磁石に限られず、酸化鉄・酸化クロム・コバルト・フェライト等の磁性体を用いてもよい。

【0064】

以上、本発明の実施形態について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、これらの実施形態に限定されるものでないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれる。

【0065】

例えば、第１実施形態では、第１蓋部２０と第２蓋部３０の間にシール部材１１が配置されているが、シール部材１１の代わりに、第１蓋部２０と第２蓋部３０を溶接していてもよい。また、第１蓋部２０と第２蓋部３０が１つの部材から構成されていてもよい。上記構成によっても、蓋体３の内部空間から酸素や水分等が漏出することを抑止できる。第２実施形態及び変形例１でも同様である。

【0066】

また、第１実施形態では、第１蓋部２０及び第２蓋部３０の一方（第１蓋部２０）に、ロックプレートが配置される貫通孔（第１右貫通孔２０ｐ、第１左貫通孔２０ｑ、第２右貫通孔２０ｒ及び第２左貫通孔２０ｓ）が形成され、他方にディスク板４０が配置される本体開口（本体右開口３１及び本体左開口３２）が形成されているが、第１蓋部２０及び第２蓋部３０の一方に貫通孔と本体開口の両方が形成されていてもよい。第２実施形態及び変形例１でも同様である。

【0067】

さらに、第１実施形態では、ディスク板４０の上下両側で、ロックプレート（上ロックプレート４１、下ロックプレート４２）と第１蓋部２０の内周面（第１右貫通孔２０ｐの周面、第２右貫通孔２０ｒの周面）との間に第１シール部材（シール部材８０,９０）を配置し、ロックプレートと第１蓋部２０を密封しているが（図２(ａ)参照）、ディスク板４０の一方側だけに、ロックプレートが配置され、ロックプレートと第１蓋部２０とが第１シール部材によって密封されていてもよい。

【0068】

また、第１実施形態及び第２実施形態では、錠装置４を解錠及び施錠する際、鍵部材（右鍵部材１０１、左鍵部材１０２）をディスク板４０の錠穴４０Ａに嵌めて鍵部材を回転させることにより、鍵部材がディスク板４０に接触する接触構造について説明したが、第１実施形態及び第２実施形態の蓋体は、変形例１のように、錠装置４を解錠及び施錠する際、非接触駆動部材をディスク板４０に近付けるとディスク板４０が回転するような構造、つまり、錠装置４を解錠及び施錠する際、非接触駆動部材がディスク板４０に接触しない非接触構造を備えていてもよい。
さらに、変形例１では、錠装置４を解錠及び施錠する際、鍵部材（非接触駆動部材）４００がディスク板４０に接触しない非接触構造について説明したが、変形例１の蓋体は、第１実施形態及び第２実施形態のように、錠装置４を解錠及び施錠する際、鍵部材（右鍵部材１０１、左鍵部材１０２）がディスク板４０に接触する接触構造を備えていてもよい。
このように、鍵部材によって錠装置４を解錠及び施錠する際に鍵部材が錠装置４に接触する接触構造と錠装置４に接触しない非接触構造との両方の構造を蓋体が備えていると、非接触駆動部材を有するロードポートと非接触駆動部材をしないロードポートのいずれにも対応できるため、使用できる環境の自由度が増す。

【符号の説明】

【0069】

１,２０１ ＦＯＵＰ（収容容器）
２,２０２ 容器本体
３,２０３ 蓋体
２ａ 前面開口部
２ｐ 第１右溝（溝）
２ｑ 第１左溝（溝）
２ｒ 第２右溝（溝）
２ｓ 第２左溝（溝）
２Ａ,２０２Ａ 枠
１１ シール部材（第３シール部材）
２０ 第１蓋部
２０ｐ 第１右貫通孔（貫通孔）
２０ｑ 第１左貫通孔（貫通孔）
２０ｒ 第２右貫通孔（貫通孔）
２０ｓ 第２左貫通孔（貫通孔）
３０,２３０ 第２蓋部
３１ 本体右開口（本体開口）
３２ 本体左開口（本体開口）
４０ ディスク板（駆動部材）
４１ 上ロックプレート（移動体）
４２ 下ロックプレート（移動体）
５０,６０ シール部材（第２シール部材）
８０,９０ シール部材（第１シール部材）
１００ ドア部
３００ 磁石
４００ 鍵部材（非接触駆動部材）
Ｓｆ ＦＯＵＰの内部空間
Ｓｃ 蓋体の内部空間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【手続補正書】

【提出日】2016年7月5日

【手続補正1】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ウェーハが収納される収納容器と、収納容器の蓋体に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、基板としてのウェーハに対し種々の処理工程が施されることにより半導体の製造がなされてきている。近年では素子の高集積化や回路の微細化がますます進められており、ウェーハ表面へのパーティクルや水分の付着が生じないように、ウェーハ周辺を高いクリーン度に維持することが求められている。さらに、ウェーハ表面が酸化するなど表面の性状が変化することがないよう、ウェーハ周辺を不活性ガスである窒素雰囲気としたり、真空状態としたりすることも行われている。

【0003】

こうしたウェーハ周辺の雰囲気を適切に維持するために、ウェーハは、ＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）と呼ばれる密閉式の格納ポッドの内部に入れて管理される。さらに、ウェーハに処理を行う処理装置と、ＦＯＵＰとの間でウェーハの受け渡しを行うために、ＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）が利用されている（特許文献１参照）。ＥＦＥＭは、筐体の内部で略閉止されたウェーハ搬送室を構成するとともに、その対向壁面の一方にＦＯＵＰとの間でのインターフェース部として機能するロードポート（Load Port）を備えるとともに、他方に処理装置の一部であるロードロック室が接続される。ウェーハ搬送室内には、ウェーハを搬送するためのウェーハ搬送装置が設けられており、このウェーハ搬送装置を用いて、ロードポートに接続されるＦＯＵＰとロードロック室との間でウェーハの出し入れが行われる。現在、実用化されているウェーハ搬送室では（以下、「大気ＥＦＥＭ」）、通常、工場内のクリーンルーム内の大気を、搬送室上部に配置したファンフィルタユニットにより清浄化し、搬送室上部から下部へ吹き流す、いわゆるダウンフローを常に流している。

【0004】

近年、ウェーハの品質を向上させるため、ＦＯＵＰ内に不活性ガスを充填した状態で、ＦＯＵＰ内のウェーハを、ウェーハ搬送装置（ロボット）を使用してウェーハ搬送室に搬送している。さらに、ウェーハの最先端プロセスにおいては、ダウンフローとして用いている清浄な大気に含まれる酸素や水分などですら、ウェーハの性状を変化させるおそれがあることから、特許文献１のように、不活性ガスを循環させるＥＦＥＭ（以下、不活性ガスＥＦＥＭ）の実用化が求められている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１４―１１２６３１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

従来の「大気ＥＦＥＭ」では、ロードポート上に載置されたＦＯＵＰから、ＥＦＥＭ、処理装置に至るウェーハ搬送経路において、ＦＯＵＰ内のみを不活性ガス環境にしておけばよかった。このため、ＦＯＵＰの構造の密閉性は、単に、ＦＯＵＰ内に外気が入らないようにＦＯＵＰ（本体）とＦＯＵＰの蓋部との間など、外気が出入りする経路の密閉性を担保すればよかった。

【0007】

しかしながら、「不活性ガスＥＦＥＭ」においては、ＦＯＵＰおよびＥＦＥＭ内に要求される酸素濃度がＰＰＭオーダー、湿度が数％以下を維持することが求められる。そこで、上記ＦＯＵＰを「不活性ガスＥＦＥＭ」に使用して実験を試みたところ、ロードポートとＦＯＵＰとの間をシール部材でシールした状態でＦＯＵＰの蓋のラッチを解除してドア部を開放した際、特にＦＯＵＰ内の酸素濃度、および湿度が一時的に増加する現象が確認された。この現象は、従来の大気ＥＦＥＭではそもそも問題とならないレベルである。しかし、特に最先端プロセスに用いられる不活性ガスＥＦＥＭではウェーハ表面が酸化・腐食するなど性状が変化し、ウェーハの品質が低下するおそれがある。

【0008】

この原因について本発明者らが調べたところ、ＦＯＵＰの蓋体に形成された内部空間から酸素、水分およびパーティクルなどウェーハの性状を変化させる不純物が漏出することが原因であることがわかった。

【0009】

そこで、本発明の目的は、ＦＯＵＰの蓋体を開放した際に、蓋体の内部空間から酸素や水分等が漏出することを抑止することができるＦＯＵＰ蓋体を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の収納容器の蓋体は、収納容器の容器本体の枠に囲まれた前面開口部に配置される蓋体であり、内部空間を有し、前記枠に形成された溝に対向する位置に貫通孔が形成された本体部と、前記本体部の内部空間に配置され、前記貫通孔を通過して前記溝内に移動可能な先端部を有する移動体と、前記本体部に形成された本体開口に配置され、前記移動体を移動させる駆動部材と、前記移動体と前記貫通孔の周面との間に配置された第１シール部材と、前記駆動部材と前記本体開口の周面との間に配置された第２シール部材とを備えている。

【0011】

収納容器（ＦＯＵＰ）の蓋体には、移動体が出入りする貫通孔と、移動体を駆動する駆動部材が配置される本体開口とが形成されている。本発明者らは、上記貫通孔の周面と移動体との隙間、及び本体開口周面と駆動部材との隙間から酸素や水分等が漏出するという知見を得た。上記構成では、貫通孔周面と移動体との間に第１シール部材を配置してこれらを密閉するとともに、本体開口周面と駆動部材との間に第２シール部材を配置してこれらを密閉している。これにより、蓋体の内部空間から酸素や水分等が漏出することを抑止できるため、ウェーハの品質を従来より向上させることができる。

【0012】

また、上記構成において、前記本体部は、前記貫通孔が形成された第１蓋部と、前記本体開口が形成された第２蓋部とを有し、前記第１蓋部と前記第２蓋部との間に第３シール部材が配置されていることが好ましい。

【0013】

上記構成では、本体部を構成する第１蓋部と第２蓋部との間に第３シール部材が配置されている。これにより第１蓋部と第２蓋部が密封されるため、第１蓋部と第２蓋部との間に形成された蓋体の内部空間から酸素や水分等が漏出することを抑止できる。これにより、ウェーハの品質をより向上させることができる。また、蓋体を製造する際、第１蓋部の貫通孔に移動体の先端部を配置し、第２蓋部の本体開口に駆動部材を配置した状態で、第１蓋部と第２蓋部を、第３シール部材を介して対向させるとよいため、蓋体を簡易に組み立てることができる。

【0014】

また、上記構成において、前記移動体、前記本体部に形成された前記貫通孔及び前記第１シール部材が、前記駆動部材の両側に配置されていることが好ましい。

【0015】

上記構成では、蓋体において駆動部材の両側に移動体が出入りする貫通孔が形成されており、駆動部材の両側において貫通孔周面と移動体との間に第１シール部材を配置してこれらの間を密封している。これにより、駆動部材の両側において、蓋体の内部空間から酸素や水分等が漏出することを確実に抑止できる。

【0016】

また、上記構成において、前記駆動部材は磁性体を有しており、非接触駆動部材を前記駆動部材に近付けることにより、前記駆動部材が回転することが好ましい。

【0017】

上記構成では、非接触駆動部材を駆動部材に近付けると駆動部材が回転することにより蓋体を解錠又は施錠することができ、蓋体を解錠させる過程及び蓋体を施錠させる過程において、非接触駆動部材と駆動部材とが擦れ合わない。したがって非接触駆動部材と駆動部材とが擦れ合うことで発生するパーティクルが生じないため、ウェーハの品質をより向上させることができる。

【0018】

本発明の収納容器は、上述した蓋体と、前記蓋体が配置される前面開口部が形成された容器本体とを備えていることが好ましい。

【0019】

上記構成では、蓋体の内部空間から酸素や水分等が漏出することを抑止できるため、ウェーハの品質を従来より向上させることができる。

【発明の効果】

【0020】

本発明では、蓋体の内部空間から酸素や水分等が漏出することを抑止できる。これにより、ウェーハの品質を従来より向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】ＦＯＵＰの斜視図である。

【図2】（ａ）はＦＯＵＰの断面図（図１のIIa−IIa線に沿った断面図）であり、（ｂ）は（ａ）の一点鎖線で囲んだ部分の拡大図である。

【図3】（ａ）はＦＯＵＰの本体右開口周辺の断面図（図２(ａ)のIII−III線に沿った断面図）であり、（ｂ）はＦＯＵＰの本体左開口周辺の断面図である。

【図4】ＦＯＵＰの正面図において、一部（図中の左部）を断面で示した図である。

【図5】（ａ）は図２（ａ）のVa−Va線に沿った断面図であり、（ｂ）は図２（ａ）のVb−Vb線に沿った断面図である。

【図6】ＦＯＵＰの蓋体とＥＦＥＭのドア部の斜視図である。

【図7】（ａ）及び（ｂ）は鍵部材を解錠する過程における平行リンク機構及びその周辺の動作を示す模式図である。

【図8】（ａ）及び（ｂ）は鍵部材を解錠する過程におけるディスク板及びその周辺の動作を示す模式図である。

【図9】（ａ）及び（ｂ）は鍵部材を解錠する過程における上ロックプレート及び下ロックプレートの動作を示す断面図である。

【図10】（ａ）は第２実施形態のＦＯＵＰの断面図であり、（ｂ）は（ａ）の一点鎖線で囲んだ部分の拡大図である。

【図11】変形例１のＦＯＵＰの断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しつつ説明する。

【0023】

〔第１実施形態〕
ＦＯＵＰ（収納容器）１は、図１に示すように、容器本体２と蓋体３とを備えている。容器本体２の前面部には、枠２Ａと、枠２Ａに囲まれた前面開口部２ａとが形成されている。前面開口部２ａには、蓋体３が配置されている。枠２Ａと蓋体３との間には、図２に示すように、シール部材１０が配置されている。シール部材１０により、枠２Ａと蓋体３とが密封される。シール部材１０には、例えばＯリングを用いることができる。

【0024】

蓋体３は、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、容器本体２の内部空間Ｓｆに対向して配置される第１蓋部２０と、第１蓋部２０に対向して配置された第２蓋部３０とを有している。第１蓋部２０及び第２蓋部３０は蓋体３の本体部を構成し、第１蓋部２０及び第２蓋部３０により蓋体３に内部空間Ｓｃが形成されている（図２(ｂ)）。第１蓋部２０と第２蓋部３０はシール部材（第３シール部材）１１を介して当接している。シール部材１１は、図２（ｂ）に示すように、第１蓋部２０の縁部２０ｘの内側において周回し、第１蓋部２０と第２蓋部３０との間に配置されている。シール部材１１により、第１蓋部２０と第２蓋部３０とが密封されている。シール部材１１には、Ｏリング等を用いることができる。

【0025】

第１蓋部２０の縁部２０ｘは、第１蓋部２０の前面部に形成され、外側に拡径している。縁部２０ｘに囲まれた開口には、第２蓋部３０が配置されている。縁部２０ｘは、容器本体２の枠２Ａの前面部に形成された溝２ｘに配置されている。縁部２０ｘと枠２Ａとの間には、容器本体２と蓋体３とを密封するシール部材１０が配置されている。シール部材１０は、縁部２０ｘに沿って周回するように配置されている。また、シール部材１０は、後述する錠装置４の上ロックプレート（移動体）４１及び下ロックプレート（移動体）４２の前方に配置されている。ＦＯＵＰ１を前方からみたとき、蓋体３の前面には、第１蓋部２０の縁部２０ｘと第２蓋部３０が露出している。

【0026】

第１蓋部２０と第２蓋部３０との間の空間（内部空間）Ｓｃには、錠装置４が配置されている。錠装置４は、図１に示すように、蓋体３の中央を挟んで左右両側に配置されている。錠装置４は、円板状のディスク板（駆動部材）４０と、ディスク板４０の上下両側に配置された上ロックプレート（移動体）４１及び下ロックプレート（移動体）４２とを有している。

【0027】

ディスク板４０は、蓋体３に形成された本体右開口（本体開口）３１及び本体左開口（本体開口）３２に配置されている。本体右開口３１及び本体左開口３２は、蓋体３の第２蓋部３０に形成され（図２(ａ)参照）、第２蓋部３０の中央付近の高さにおいて左右両側に形成されている。

【0028】

本体右開口３１側では、図３（ａ）に示すように、ディスク板４０と第２蓋部３０の内側面（本体右開口３１の周面）との間に、シール部材（第２シール部材）５０が配置されている（図２(ａ)）。また、本体左開口３２側でも、図３（ｂ）に示すように、ディスク板４０と第２蓋部３０の内側面（本体左開口３２の周面）との間に、シール部材６０が配置されている。シール部材５０及びシール部材６０により、第２蓋部３０とディスク板４０との間が密封される。シール部材５０及びシール部材６０には、例えばＯリングを用いることができる。

【0029】

図４には、図中右側にＦＯＵＰ１の正面図を示し、左側にＦＯＵＰ１の断面図を示している。ディスク板４０には、上溝カム４０ａ及び下溝カム４０ｂが周方向に形成されている。上溝カム４０ａは、ディスク板４０の中心の上方から図中の右回りに約９０°に亘って形成されている。下溝カム４０ｂは、ディスク板４０の中心の下方から図中の右回りに約９０°に亘って形成されている。上溝カム４０ａの径及び下溝カム４０ｂの径は右回りに進むほど小さい。

【0030】

上溝カム４０ａには、上連結ピン４３が配置されている。上連結ピン４３は、上ロックプレート４１の下端部に取り付けられている。下溝カム４０ｂには、下連結ピン４４が配置されている。下連結ピン４４は、下ロックプレート４２の上端部に取り付けられている。

【0031】

容器本体２の枠２Ａには、上枠部に第１右溝２ｐ及び第１左溝２ｑが形成され、下枠に第２右溝２ｒ及び第２左溝２ｓが形成されている。枠２Ａに対向して配置された蓋体３には、第１右溝２ｐに対向する位置に第１右貫通孔２０ｐが形成され、第１左溝２ｑに対向する位置に第１左貫通孔２０ｑが形成され、第２右溝２ｒに対向する位置に第２右貫通孔２０ｒが形成され、第２左溝２ｓに対向する位置に第２左貫通孔２０ｓが形成されている。第１右貫通孔２０ｐ、第１左貫通孔２０ｑ、第２右貫通孔２０ｒ、及び第２左貫通孔２０ｓは、蓋体３の第１蓋部２０に形成されている（図２(ａ)及び図２(ｂ)参照）。

【0032】

錠装置４の施錠時は、図４の右側において、上ロックプレート４１の上端部（先端部）４１ａが第１右貫通孔２０ｐ及び第１右溝２ｐに配置され、下ロックプレート４２の下端部（先端部）４２ａが第２右貫通孔２０ｒ及び第２右溝２ｒに配置されている（図２(ａ)及び図２(ｂ)参照）。図４の左側では、上ロックプレート４１の上端部（先端部）４１ａが第１左貫通孔２０ｑ及び第１左溝２ｑに配置され、下ロックプレート４２の下端部（先端部）１３２ａが第２左貫通孔２０ｓ及び第２左溝２ｓに配置されている。

【0033】

図４の右側において、蓋体３の第１右貫通孔２０ｐでは、上ロックプレート４１の上端部４１ａと蓋体３（第１蓋部２０）の内周面（第１右貫通孔２０ｐの周面）との間に、シール部材（第１シール部材）８０が配置されている（図２(ａ)及び図２(ｂ)参照）。シール部材８０により、図５（ａ）に示すように、第１蓋部２０と上ロックプレート４１の上端部４１ａとが密封される。

【0034】

図４に戻って、蓋体３の第２右貫通孔２０ｒでは、下ロックプレート４２の下端部４２ａと蓋体３（第１蓋部２０）の内周面（第２右貫通孔２０ｒの周面）との間には、シール部材（第１シール部材）９０が配置されている（図２(ａ)参照）。シール部材９０により、図５（ｂ）に示すように、第１蓋部２０と下ロックプレート４２の下端部４２ａとが密封される。シール部材８０及びシール部材９０には、例えばＯリングを用いることができる。

【0035】

また、図４の左側においても、上ロックプレート４１の上端部４１ａと蓋体３（第１蓋部２０）の内周面（第１左貫通孔２０ｑの周面）との間に図示しないシール部材（第１シール部）が配置され、下ロックプレート４２の下端部４２ａと蓋体３（第１蓋部２０）の内周面（第２左貫通孔２０ｓの周面）との間に図示しないシール部材（第１シール部材）が配置されている。

【0036】

上記構成により、蓋体３の第１蓋部２０と上ロックプレート４１の上端部４１ａとが密封され、蓋体３の第１蓋部２０と下ロックプレート４２の下端部４２ａとが密封されている。

【0037】

図６に示すように、ＦＯＵＰ１は、蓋体３がＥＦＥＭのドア部１００に対向するように配置される。蓋体３の本体右開口３１及び本体左開口３２からは、ディスク板４０に形成された錠穴４０Ａがみえる。錠穴４０Ａは、ＦＯＵＰ１を前方からみたとき、長方形に形成され、錠装置４の施錠時に横長状に配置される。図４では、錠装置４の施錠時を図示している。錠穴４０Ａには、ＥＦＥＭのドア部１００から後方に突出した右鍵部材１０１及び左鍵部材１０２が嵌まる。

【0038】

ドア部１００の前面部には、右鍵部材１０１及び左鍵部材１０２に接続された平行リンク機構１２０と、平行リンク機構１２０の下方に流体圧シリンダ１３０及びロッド１４０とが配置されている。ロッド１４０は、流体圧シリンダ１３０内を軸方向に移動する。流体圧シリンダ１３０に供給する流体として、窒素、大気等を用いることが好ましい。

【0039】

右鍵部材１０１及び左鍵部材１０２は、先端部に、錠穴４０Ａよりやや小さい直方体状の鍵部を有している。

【0040】

平行リンク機構１２０は、右リンク板１２１と、左リンク板１２２と、右リンク板１２１及び左リンク板１２２をほぼ平行な状態で連結した連結板１２３とを有している。右リンク板１２１は、右回転軸１１１を介して右鍵部材１０１に接続されている。左リンク板１２２は、左回転軸１１２を介して左鍵部材１０２に接続されている。

【0041】

流体圧シリンダ１３０及びロッド１４０は、左右方向に平行に配置されている。流体圧シリンダ１３０の後端部は、支点ピン１３１によってドア部１００に固定されている。ロッド１４０の先端部は、連結ブロック１４１によって連結板１２３に接続されている。

【0042】

ロッド１４０が流体圧シリンダ１３０内を軸方向に移動することにより、連結板１２３が左右方向に平行な状態を維持しながら回転するとともに、右リンク板１２１及び左リンク板１２２が右回転軸１１１及び左回転軸１１２を中心に回転する。これに伴い、右鍵部材１０１及び左鍵部材１０２が回転する。

【0043】

ここで、右鍵部材１０１及び左鍵部材１０２により錠装置４を解錠する過程を、図７〜図９を参照しつつ説明する。図７（ａ）、図８（ａ）及び図９（ａ）は施錠時の状態を示し、図７（ｂ）、図８（ｂ）及び図９（ｂ）は解錠時の状態を示している。

【0044】

施錠時は、図７（ａ）に示すように、ロッド１４０が流体圧シリンダ１３０内に配置されている。右鍵部材１０１及び左鍵部材１０２は横長状に配置されている。また、図８（ａ）に示すように、錠装置４では、上連結ピン４３が、上溝カム４０ａの径が最も大きい部分（半径Ｒの部分）に配置され、下連結ピン４４が、下溝カム４０ｂの径が最も大きい部分に配置されている。

【0045】

解錠するときは、図９（ａ）に示すように、ＦＯＵＰ１の蓋体３に右鍵部材１０１を嵌める。そして、図７（ａ）に示す状態から流体圧シリンダ１３０に空気を供給すると、図７（ｂ）に示すように、ロッド１４０が流体圧シリンダ１３０から押し出される。これに伴い、連結板１２３が回転するとともに、右リンク板１２１及び左リンク板１２２が図中左回転する。これに連動して右鍵部材１０１及び左鍵部材１０２が回転する。これにより、右鍵部材１０１及び左鍵部材１０２が縦長状に配置される。

【0046】

右鍵部材１０１及び左鍵部材１０２の回転にともなって、図８（ｂ）に示すように、ディスク板４０が図中左回転し、上連結ピン４３は上溝カム４０ａの径が最も小さい部分（半径Ｒ₁の部分）に配置されるとともに、下連結ピン４４は下溝カム４０ｂの径が最も小さい部分に配置される。これに伴い、上ロックプレート４１が下方へ移動し、下ロックプレート４２が上方へ移動する。

【0047】

これにより、図９（ａ）に示すように、上ロックプレート４１の上端部４１ａが容器本体２の第１右溝２ｐに配置されないようになるとともに、下ロックプレート４２の下端部４２ａが容器本体２の第２右溝２ｒに配置されないようになる。これにより、錠装置４が解錠される。

【0048】

錠装置４を施錠するときは、図７（ｂ）に示す状態から流体圧シリンダ１３０内の空気を排気する。これにより、各部材が上述した動作と逆の動作を行う。これにより、図９（ａ）に示すように、上ロックプレート４１の上端部４１ａが第１右溝２ｐに配置されるとともに、下ロックプレート４２の下端部４２ａが第２右溝２ｒに配置されて錠装置４が施錠される。

【0049】

以上に述べたように、本実施形態によると以下の効果を奏する。
ＦＯＵＰ１の蓋体３において、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、上ロックプレート４１の上端部４１ａと第１蓋部２０の内周面（第１右貫通孔２０ｐの周面）との間にシール部材（第１シール部材）８０が配置され、下ロックプレート４２の下端部４２ａと第１蓋部２０の内周面（第２右貫通孔２０ｒの周面）との間にシール部材（第１シール部材）９０が配置されている。また、ディスク板４０と第２蓋部３０の内周面（本体右開口３１の周面）との間に、シール部材５０が配置されている。
さらに、ＦＯＵＰ１の蓋体３の左側においても、上ロックプレート４１の上端部４１ａと第１蓋部２０の内周面（第１左貫通孔２０ｑの周面）との間にシール部材（第１シール部材）が配置され、下ロックプレート４２の下端部４２ａと第１蓋部２０の内周面（第２左貫通孔２０ｓの周面）との間にシール部材（第１シール部材）が配置されている。また、ディスク板４０と第２蓋部３０の内周面（本体右開口３１の周面）との間に、シール部材６０が配置されている（図３(ｂ)参照）。
これにより蓋体３の第１蓋部２０と錠装置４とが密封されるとともに、蓋体３の第２蓋部３０と錠装置４とが密封されるため、蓋体３の内部空間Ｓｃから酸素や水分等が漏出することを抑止できる。したがって、ウェーハの品質を従来より向上させることができる。
例えば最先端プロセスへの実用化が望まれている不活性ガスＥＦＥＭ（不活性ガスを循環させるＥＦＥＭ）では、ＰＰＭオーダーで存在する酸素や数％以下の湿度でも、ウェーハ表面が酸化・腐食するなどして性状が変化するおそれがあるが、本実施形態の蓋体３を有するＦＯＵＰ１を用いると、常時、蓋体３の内部空間Ｓｃから酸素や水分等が漏出すること抑止できる。したがって、従来問題となっていた蓋体３を開放した際にも、酸素や水分等が漏出すること抑止できる。よって、高品質のウェーハを製造することができる。

【0050】

また、蓋体３の本体部を構成する第１蓋部２０と第２蓋部３０との間にシール部材（第３シール部材）１１が配置されていることにより、第１蓋部２０と第２蓋部３０が密封されるため、第１蓋部２０と第２蓋部３０との間に形成された内部空間Ｓｃから酸素や水分等が漏出することを抑止できる。これによりウェーハの品質をより向上させることができる。
また、蓋体３を組み立てる際、第１蓋部２０の貫通孔（２０ｐ,２０ｑ,２０ｒ,２０ｓ）に上ロックプレート４１の上端部４１ａ及び下ロックプレート４２の下端部４２ａを配置し、第２蓋部３０の本体右開口３１及び本体左開口３２にディスク板４０を配置した状態で、第１蓋部２０と第２蓋部３０を、シール部材１１を介して対向させるとよいため、蓋体３を簡易に組み立てることができる。

【0051】

また、ディスク板４０の上下両側で、図２（ａ）に示すようにロックプレート（上ロックプレート４１、下ロックプレート４２）と第１蓋部２０の内周面（第１右貫通孔２０ｐの周面、第２右貫通孔２０ｒの周面）との間に第１シール部材（シール部材８０,９０）を配置し、ロックプレートと第１蓋部２０を密封している。これにより、ディスク板４０の上下両側において、蓋体３の内部空間Ｓｃから酸素や水分等が漏出することを確実に抑止できる。

【0052】

〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態について、図１０を参照しつつ説明する。第２実施形態において第１実施形態と異なる点は、容器本体２０２と蓋体２０３とを密封するシール部材２１０の位置である。なお、上述した第１実施形態と同一の構成については同一の符号を用い、その説明を適宜省略する。

【0053】

ＦＯＵＰ２０１は、容器本体２０２と蓋体２０３とを備えている。蓋体２０３は、容器本体２０２の内部空間Ｓｆに対向して配置された第１蓋部２０と、第１蓋部２０に対向して配置された第２蓋部２３０とを有している。第２蓋部２３０は、第１蓋部２０の前方に配置され、第１蓋部２０の先端面とシール部材（第３シール部材）１１を介して当接している。第１蓋部２０と第２蓋部２３０は、容器本体２０２の枠２０２Ａの内側面に沿って配置されている。

【0054】

第１蓋部２０と容器本体２０２との間には、これらを密封するシール部材２１０が配置されている。シール部材２１０は、錠装置４の上ロックプレート（移動体）４１及び下ロックプレート（移動体）４２の後方に配置されている。

【0055】

上記構成から、第２実施形態でも、第１実施形態と同様に、蓋体２０３の内部空間Ｓｃから酸素や水分等が漏出することを抑止できる。これにより、ウェーハの品質を従来より向上させることができる。

【0056】

〔変形例１〕
次に、本発明の第２実施形態の変形例について、図１１を参照しつつ説明する。変形例において第２実施形態と異なる点は、i)錠装置４の構成と、ii)錠装置４を解錠及び施錠する鍵部材４００の構成である。なお、上述した第２実施形態と同一の構成については同一の符号を用い、その説明を適宜省略する。

【0057】

ディスク板４０の錠穴４０Ａには、Ｎ極とＳ極とを有する磁石３００が配置されている。錠装置４の施錠時は、例えば、Ｎ極が上に配置され、Ｓ極が下に配置される。

【0058】

鍵部材（非接触駆動部材）４００は、Ｎ極とＳ極とを有する磁石である。

【0059】

鍵部材４００のＮ極とＳ極を磁石３００のＮ極とＳ極に対向させながら、鍵部材４００を磁石３００に近付けると、磁石３００のＮ極と鍵部材４００のＮ極が反発するとともに、磁石３００のＳ極と鍵部材４００のＳ極が反発することにより、ディスク板４０が回転し、錠装置４が解錠する。また、磁石３００は、Ｎ極とＳ極が左右方向に並んで配置された状態となる。

【0060】

錠装置４を施錠するときは、鍵部材４００のＮ極とＳ極を磁石３００のＮ極とＳ極に対向させながら、鍵部材４００を磁石３００に近付ける。これにより、磁石３００のＮ極と鍵部材４００のＮ極が反発するとともに、磁石３００のＳ極と鍵部材４００のＳ極が反発することにより、ディスク板４０が回転して錠装置４が施錠される。

【0061】

変形例１でも、第２実施形態と同様に、蓋体２０３の内部空間Ｓｃから酸素や水分等が漏出することを抑止できる。これにより、ウェーハの品質を従来より向上させることができる。

【0062】

また、鍵部材４００と錠装置４とを接触させることなく、錠装置４を解錠及び施錠できるため、鍵部材４００と錠装置４とが擦れ合うことにより発生するパーティクルが生じない。したがって、ウェーハの品質をより向上させることができる。

【0063】

なお、変形例１では磁石３００及び鍵部材４００にＮ極とＳ極を有する磁石を用いたが、磁石に限られず、酸化鉄・酸化クロム・コバルト・フェライト等の磁性体を用いてもよい。

【0064】

以上、本発明の実施形態について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、これらの実施形態に限定されるものでないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれる。

【0065】

例えば、第１実施形態では、第１蓋部２０と第２蓋部３０の間にシール部材１１が配置されているが、シール部材１１の代わりに、第１蓋部２０と第２蓋部３０を溶接していてもよい。また、第１蓋部２０と第２蓋部３０が１つの部材から構成されていてもよい。上記構成によっても、蓋体３の内部空間から酸素や水分等が漏出することを抑止できる。第２実施形態及び変形例１でも同様である。

【0066】

また、第１実施形態では、第１蓋部２０及び第２蓋部３０の一方（第１蓋部２０）に、ロックプレートが配置される貫通孔（第１右貫通孔２０ｐ、第１左貫通孔２０ｑ、第２右貫通孔２０ｒ及び第２左貫通孔２０ｓ）が形成され、他方にディスク板４０が配置される本体開口（本体右開口３１及び本体左開口３２）が形成されているが、第１蓋部２０及び第２蓋部３０の一方に貫通孔と本体開口の両方が形成されていてもよい。第２実施形態及び変形例１でも同様である。

【0067】

さらに、第１実施形態では、ディスク板４０の上下両側で、ロックプレート（上ロックプレート４１、下ロックプレート４２）と第１蓋部２０の内周面（第１右貫通孔２０ｐの周面、第２右貫通孔２０ｒの周面）との間に第１シール部材（シール部材８０,９０）を配置し、ロックプレートと第１蓋部２０を密封しているが（図２(ａ)参照）、ディスク板４０の一方側だけに、ロックプレートが配置され、ロックプレートと第１蓋部２０とが第１シール部材によって密封されていてもよい。

【0068】

また、第１実施形態及び第２実施形態では、錠装置４を解錠及び施錠する際、鍵部材（右鍵部材１０１、左鍵部材１０２）をディスク板４０の錠穴４０Ａに嵌めて鍵部材を回転させることにより、鍵部材がディスク板４０に接触する接触構造について説明したが、第１実施形態及び第２実施形態の蓋体は、変形例１のように、錠装置４を解錠及び施錠する際、非接触駆動部材をディスク板４０に近付けるとディスク板４０が回転するような構造、つまり、錠装置４を解錠及び施錠する際、非接触駆動部材がディスク板４０に接触しない非接触構造を備えていてもよい。
さらに、変形例１では、錠装置４を解錠及び施錠する際、鍵部材（非接触駆動部材）４００がディスク板４０に接触しない非接触構造について説明したが、変形例１の蓋体は、第１実施形態及び第２実施形態のように、錠装置４を解錠及び施錠する際、鍵部材（右鍵部材１０１、左鍵部材１０２）がディスク板４０に接触する接触構造を備えていてもよい。
このように、鍵部材によって錠装置４を解錠及び施錠する際に鍵部材が錠装置４に接触する接触構造と錠装置４に接触しない非接触構造との両方の構造を蓋体が備えていると、非接触駆動部材を有するロードポートと非接触駆動部材を有さないロードポートのいずれにも対応できるため、使用できる環境の自由度が増す。

【符号の説明】

【0069】

１,２０１ ＦＯＵＰ（収容容器）
２,２０２ 容器本体
３,２０３ 蓋体
２ａ 前面開口部
２ｐ 第１右溝（溝）
２ｑ 第１左溝（溝）
２ｒ 第２右溝（溝）
２ｓ 第２左溝（溝）
２Ａ,２０２Ａ 枠
１１ シール部材（第３シール部材）
２０ 第１蓋部
２０ｐ 第１右貫通孔（貫通孔）
２０ｑ 第１左貫通孔（貫通孔）
２０ｒ 第２右貫通孔（貫通孔）
２０ｓ 第２左貫通孔（貫通孔）
３０,２３０ 第２蓋部
３１ 本体右開口（本体開口）
３２ 本体左開口（本体開口）
４０ ディスク板（駆動部材）
４１ 上ロックプレート（移動体）
４２ 下ロックプレート（移動体）
５０,６０ シール部材（第２シール部材）
８０,９０ シール部材（第１シール部材）
１００ ドア部
３００ 磁石
４００ 鍵部材（非接触駆動部材）
Ｓｆ ＦＯＵＰの内部空間
Ｓｃ 蓋体の内部空間