特開2017-48455(P2017-48455A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2017-48455マグネトロンスパッタリングにより垂直記録媒体の層を形成するためのスパッタターゲット
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  • 特開2017048455-マグネトロンスパッタリングにより垂直記録媒体の層を形成するためのスパッタターゲット 図000003
  • 特開2017048455-マグネトロンスパッタリングにより垂直記録媒体の層を形成するためのスパッタターゲット 図000004
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