特開2017-71053テーパ状側壁を有する連続突出部を伴う研磨表面を有する研磨パッド

発明の名称　テーパ状側壁を有する連続突出部を伴う研磨表面を有する研磨パッド

出願人　ネクスプラナー　コーポレイション　（識別番号 507279244）

　　　　特許公開件数ランキング 7991 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 6565 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2017-71053

公報発行日　2017年4月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2017-71053

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