特開2017-73548VLSI装置用の最適波長光子放射顕微鏡 [関連出願の参照] 本出願は、2015年10月5日に出願された米国仮出願第62/237,399号の優先権利益を主張し、そのすべての内容が本明細書に参考として援用される。[政府許認可権] 本発明は、空軍研究所(AFRL)の契約番号FA8650−11−C−7105を介した、アメリカ合衆国国家情報長官官房(ODNI)、情報先端研究プロジェクト活動(IARPA)による支援事業に基づくものである。本明細書に含まれるアイデア及び結果は、本発明者らのアイデア及び結果であり、ODNI、IARPA、AFRL又は米国政府の公式承認を必ずしも有するものとして解釈されるべきでない。