発明の名称 半導体製造工程用フィルム
出願人 ダイヤプラスフィルム株式会社 (識別番号 503048338)
特許公開件数ランキング 3283 位(5件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 4228 位(3件)(共同出願を含む)
公報番号 特開-2017-84983
公報発行日 2017年5月18
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2017-84983
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