特開2017-97242ケース、フォトマスクブランクスの輸送方法

発明の名称　ケース、フォトマスクブランクスの輸送方法

出願人　アルバック成膜株式会社　（識別番号 101710）

　　　　特許公開件数ランキング 14682 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12559 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2017-97242

公報発行日　2017年6月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2017-97242

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