特開2018-115631(P2018-115631A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2018-115631真空ポンプ装置、及び該真空ポンプ装置に用いられるポンプ本体ユニット、制御ユニット、並びにスペーサ
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