特開2018-154906チャンバーの扉開閉機構

発明の名称　チャンバーの扉開閉機構

出願人　長州産業株式会社　（識別番号 591097632）

　　　　特許公開件数ランキング 30110 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24267 位（0件）（共同出願を含む）

出願人　東レエンジニアリング株式会社　（識別番号 219314）

　　　　特許公開件数ランキング 300 位（102件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 718 位（31件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2018-154906

公報発行日　2018年10月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2018-154906

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