【実施例】
【0014】
図1から
図7において、本例のカムフォロア1は、磁性体からなると共に円筒状の内周面2で規定された円柱状の中空部3を有した転動体4と、内周面2に対して外周面5で円環状の隙間6をもって転動体4の中空部3に配されている軸体7と、軸体7に対してラジアル方向Aに関して転動体4を静圧気体によって非接触的に支持すると共に軸体7に支持された静圧気体軸受手段8と、軸体7に対してスラスト方向である軸方向Bに関して転動体4を磁力によって非接触的に支持すると共に軸体7に支持された磁性軸受手段9と、軸体7を片持ち支持する支持手段10とを具備している。
【0015】
静圧気体軸受手段8及び磁性軸受手段9により軸体7の軸心14を中心として方向Rに関して回転自在な円筒状の転動体4は、内周面2に加えて、円筒状の外周面15と、軸方向Bにおいて円環状の端面16及び17とを有しており、内周面2は、軸方向Bにおける一方の端面16から軸方向Bにおける他方の端面17に至るまで同一の径(転動体4の内径)rを有している。
【0016】
円柱状の軸体7は、外周面5を有していると共に中空部3に配された本体21と、軸方向Bにおいて端面16側の中空部3から転動体4の外部に突出していると共に本体21の軸方向Bの一端に一体形成された一端部22と、軸方向Bにおいて端面17側の中空部3から突出していると共に本体21の軸方向Bの他端に一体形成された他端部23と、一端部22に一体形成された鍔部24とを具備している。
【0017】
静圧気体軸受手段8は、内周面2に対して環状の軸受隙間31をもって対面している円筒状のラジアル軸受面32を有していると共に隙間6において軸体7、即ち、本体21に固着されている円筒状の軸受体33と、ラジアル軸受面32から軸受隙間31に供給すべき気体を給気する気体給気機構34と、気体給気機構34の気体の漏出を防止すべく、外周面5に形成された一対の円環状溝に配されたシールリング35及び36とを具備している。
【0018】
軸受体33は、内周面41で外周面5に密接して本体21に支持されていると共に円筒状空所42を有する円筒状の本体43と、本体43の外周面44に内周面45で接合、固着されていると共にラジアル軸受面32となる外周面を有した多孔質体としての円筒状の多孔質金属焼結層46と、円筒状空所42を封止すべく本体43の軸方向Bの一端部の円筒状空所42に嵌合された蓋部材47とを具備しており、多孔質金属焼結層46は、その全表面の無秩序な多数の部位で開口すると共に無秩序に互いに連通する多数の細孔を内部に有している。
【0019】
気体給気機構34は、軸受体33に形成されていると共に多孔質金属焼結層46の内周面45に気体を給気する給気通路51と、軸体7に形成されていると共に給気通路51に気体を供給する供給通路52とを具備している。
【0020】
給気通路51は、円筒状空所42と、外周面44で開口すると共に本体43に形成された複数の環状凹所56と、一方では円筒状空所42に、他方では環状凹所56に夫々開口していると共に本体43に形成された複数の貫通孔57とを具備しており、供給通路52は、一端部22の軸方向Bの一端面61で開口していると共に本体21及び一端部22に軸方向Bに伸びて設けられた孔62と、一方では孔62に、他方では外周面5で夫々開口していると共にラジアル方向Aに伸びて本体21に形成された複数の貫通孔63と、一方では対応の貫通孔63に連通するように内周面41で、他方では円筒状空所42に夫々開口していると共に本体43に形成された複数の貫通孔64とを具備している。
【0021】
斯かる気体給気機構34では、一端面61において孔62に供給された気体(圧縮気体)は、軸方向Bにおいてシールリング35及び36間に配された貫通孔63及び64を介して円筒状空所42に供給され、円筒状空所42に供給された気体は、複数の貫通孔57を介して複数の環状凹所56に流入され、複数の環状凹所56に流入された気体は、多孔質金属焼結層46の内周面45に供給され、内周面45に供給された気体は、多孔質金属焼結層46の多数の細孔を介して軸受隙間31に供給されるようになっている。
【0022】
磁性軸受手段9は、内周面2の径よりも小径の円環状の外周面71で転動体4の軸方向Bの一方の端部72の内周面2に対して円環状の隙間73をもってラジアル方向Aにおいて対面していると共に円環状の内周面74で外周面5に密接して、中空部3に配されている軸体7の軸方向Bの一方の端部75に装着されている一対の円環状の磁性体76と、外周面71の径よりも小径の円環状の外周面77で端部72の内周面2に対して円環状の隙間78をもってラジアル方向Aにおいて対面していると共に軸方向Bにおいて一対の磁性体76間に介在されて、軸方向Bの端面の夫々では当該一対の磁性体76の軸方向Bの端面の夫々に、円環状の内周面79では外周面5に夫々密接して端部75に装着されている円環状の永久磁石80と、外周面71の径と同径の外周面91で転動体4の軸方向Bの他方の端部92の内周面2に対して円環状の隙間93をもってラジアル方向Aにおいて対面していると共に円環状の内周面94で外周面5に密接して、中空部3に配されている軸体7の軸方向Bの他方の端部95に装着されている一対の円環状の磁性体96と、外周面77の径と同径の円環状の外周面97で端部92の内周面2に対して円環状の隙間98をもってラジアル方向Aにおいて対面していると共に軸方向Bにおいて一対の磁性体96間に介在されて、軸方向Bの端面の夫々では当該一対の磁性体96の軸方向Bの端面の夫々に、円環状の内周面99では外周面5に夫々密接して端部95に装着されている円環状の永久磁石100と、外周面77の径よりも小径の円環状の外周面101を有していると共に軸方向Bにおける一方の磁性体76及び蓋部材47間において、軸方向Bの端面の夫々では当該磁性体76及び蓋部材47の軸方向Bの端面の夫々に、円環状の内周面102では外周面5に夫々密接して、端部75に装着されている非磁性の円環状体103と、外周面101の径と同径の外周面111を有していると共に軸方向Bにおける一方の磁性体96及び本体43の底部112間において、軸方向Bの端面の夫々では当該磁性体96及び底部112の軸方向Bの端面の夫々に、円環状の内周面113では外周面5に夫々密接して、端部95に装着されている非磁性の円環状体114とを具備している。
【0023】
永久磁石80と永久磁石100と、端部75の一対の磁性体76と端部95の一対の磁性体96とは同一に形成されていると共に一対の磁性体76のうちで軸方向Bの端面115で鍔部24に密接した一方の磁性体76は、当該端面115が端面16に対してラジアル方向Aに関して面一となり、同じく一対の磁性体96のうちで軸方向Bの端面117でナット118に密接した一方の磁性体96は、当該端面117が端面17に対してラジアル方向Aに関して面一となるように、夫々設けられており、軸方向Bにおいて磁極(N極及びS極)を有している永久磁石80及び100の夫々により磁性軸受手段9は、端部72及び92側の夫々で磁束121を生じさせており、而して、端部72では、永久磁石80の磁力に基づいて端部72と一対の磁性体76とが、そして、端部92では、永久磁石100の磁力に基づいて端部92と一対の磁性体96とが夫々ラジアル方向Aにおいて互いに引き合う力を均等に生じさせるようになっている。
【0024】
本例では、内周面2が端面16から端面17に至るまで同一の径rを有している結果、一対の磁性体76の外周面71が対面する端部72の内周面2は、永久磁石80の外周面77が対面する端部72の内周面2の径rと同一の径rを有しており、一対の磁性体96の外周面91が対面する端部92の内周面2は、永久磁石100の外周面97が対面する端部92の内周面2の径rと同一の径rを有している。
【0025】
支持手段10は、一端部22が挿通された貫通孔125を有した支持部材126と、一端部22に螺合されていると共に鍔部24と協働して支持部材126を挟持するナット127と、他端部23に螺合されていると共に鍔部24と協働して一対の磁性体76、永久磁石80、円環状体103、本体43、円環状体114、一対の磁性体96及び永久磁石100を挟持するナット118とを具備している。
【0026】
斯かるカムフォロア1では、供給通路52から給気通路51を介して多孔質金属焼結層46に給気されることによりラジアル軸受面32から軸受隙間31に気体が供給される一方、永久磁石80及び100から各対の磁性体76及び96を介して端部72及び端部92に、一対の磁性体76と端部72とを、そして、一対の磁性体96と端部92とを引き合う力が均等に発生され、而して、転動体4は、静圧気体軸受手段8により軸体7に対して非接触的にラジアル方向Aに関して支持される一方、磁性軸受手段9により軸体7に対して非接触的に軸方向Bに関して支持される結果、転動体4は、一対の磁性体76、永久磁石80、円環状体103、本体43、円環状体114、一対の磁性体96、永久磁石100、多孔質金属焼結層46及び軸体7に対して非接触にて方向Rに回転自在に支持される。
【0027】
そして、カムフォロア1によれば、例えば、軸体7と同心に配された転動体4にラジアル方向Aに関して軸心14に対して偏心力が作用した場合には、その偏心力に打ち勝つように軸受隙間31に気体が供給される一方、転動体4に軸方向Bにおいて
図8に示すように方向Cに関して変位力が作用した場合には、鍔部24に密接した一方の磁性体76の外周面71と端面16との間の磁束131が大きくなり、磁束131に基づいて軸方向Bに交差すると共に方向Cと反対の方向Dの分力をもった吸引力132が鍔部24に密接した一方の磁性体76と転動体4との間に生じる結果、軸体7に対して方向Cに関して変位した転動体4は、端面115が端面16に対してラジアル方向Aに関して面一となる位置に戻され、逆に、転動体4に軸方向Bにおいて
図9に示すように方向Cと反対の方向Dに関して変位力が作用した場合には、ナット118に密接した一方の磁性体96の外周面91と端面17との間の磁束141が大きくなり、磁束141に基づいて軸方向Bに交差すると共に方向Dと反対の方向Cの分力をもった吸引力142がナット118に密接した一方の磁性体96と転動体4との間に生じる結果、軸体7に対して方向Dに関して変位した転動体4は、端面117が端面17に対してラジアル方向Aに関して面一となる位置に戻され、而して、転動体4は、静圧気体軸受手段8及び磁性軸受手段9によって軸体7に対してラジアル方向A及び軸方向(スラスト方向)Bに関して非接触で支持されるようになっている結果、転動体4及び軸体7の回転摩擦を低減でき、転動体4の方向Rの高速回転を可能とし、しかも、耐用年数の長期化を図り得、その上、一対の外周面71が対面する端部72の内周面2は、外周面77が対面する内周面2の径と同一の径を有しており、外周面91が対面する内周面2は、外周面97が対面する内周面2の径と同一の径を有しているために、言い換えると、転動体4の内周面2に環状凹溝を形成する必要がないために、カムフォロア1は、転動体4を軽量化し得て高い回転応答性を有した転動体とし得る。
【0028】
本例でのカムフォロア1では、磁性軸受手段9は、一つの永久磁石80と一つの永久磁石100とを具備しているが、これに代えて、例えば軸方向B及び方向Rのうちの少なくとも一方に並んだ複数個の永久磁石80及び100のうちの少なくとも一方を具備していてもよく、軸体7もまた、一端部22で支持部材126に片持ちされているが、例えば、他端部23でも支持部材126で固定支持されて両持ち支持されていてもよく、加えて、カムフォロア1は、多孔質金属焼結層46を有した静圧気体軸受手段8を具備しているが、これに代えて、例えば、自成絞り型の静圧気体軸受手段を具備していてもよい。