特開2018-156929(P2018-156929A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2018-156929プラズマ発生用のアンテナ、それを備えるプラズマ処理装置及びアンテナ構造
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  • 特開2018156929-プラズマ発生用のアンテナ、それを備えるプラズマ処理装置及びアンテナ構造 図000013
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